JPH06294691A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH06294691A JPH06294691A JP10492993A JP10492993A JPH06294691A JP H06294691 A JPH06294691 A JP H06294691A JP 10492993 A JP10492993 A JP 10492993A JP 10492993 A JP10492993 A JP 10492993A JP H06294691 A JPH06294691 A JP H06294691A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明に係る圧力センサは、制作が容易であ
り、測定精度が高い。 【構成】 本発明に係る圧力センサは、一方が開口し、
他方が閉じられた筒状のセンサケース１と、このセンサ
ケース１の前記開口部分に設けられると共に、測定対象
の流体の流入路６が形成され、前記センサケース１の蓋
となるベース２と、このベース２の前記流入路６から流
入する流体の圧力を受ける壁を構成するダイヤフラム３
と、このダイヤフラム３に貼着された歪ゲージ素子４
と、前記ダイヤフラム３に到来する流体を外部から遮断
すべく当該ダイヤフラム３における接合部分をシールす
る金属リング５とを備えさせて圧力センサを構成した。
り、測定精度が高い。 【構成】 本発明に係る圧力センサは、一方が開口し、
他方が閉じられた筒状のセンサケース１と、このセンサ
ケース１の前記開口部分に設けられると共に、測定対象
の流体の流入路６が形成され、前記センサケース１の蓋
となるベース２と、このベース２の前記流入路６から流
入する流体の圧力を受ける壁を構成するダイヤフラム３
と、このダイヤフラム３に貼着された歪ゲージ素子４
と、前記ダイヤフラム３に到来する流体を外部から遮断
すべく当該ダイヤフラム３における接合部分をシールす
る金属リング５とを備えさせて圧力センサを構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体の製造過程で
用いられる各種ガス等の流体の圧力測定に好適な圧力セ
ンサに関するものである。
用いられる各種ガス等の流体の圧力測定に好適な圧力セ
ンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の圧力センサとしては、特開昭６４
−７９６３２号に示されるように、ダイヤフラムを本体
部分に溶接し、このダイヤフラムが到来する流体により
変位することに応じて、電極面との距離が変化しコンデ
ンサ容量の変化となって現れる点を利用した、所謂、可
変キャパシタンス方式のタイプのものが知られている。
−７９６３２号に示されるように、ダイヤフラムを本体
部分に溶接し、このダイヤフラムが到来する流体により
変位することに応じて、電極面との距離が変化しコンデ
ンサ容量の変化となって現れる点を利用した、所謂、可
変キャパシタンス方式のタイプのものが知られている。
【０００３】この圧力センサによると、ダイヤフラムを
溶接しているために、溶接時の熱によりダイヤフラムに
歪みができ圧力に対する変位にヒステリシスが生じ、正
確な測定ができないという問題点があった。これを解決
するためには、熟練した高度な溶接技術が必要であり、
制作工数が多くなり煩わしいという問題が生じる。
溶接しているために、溶接時の熱によりダイヤフラムに
歪みができ圧力に対する変位にヒステリシスが生じ、正
確な測定ができないという問題点があった。これを解決
するためには、熟練した高度な溶接技術が必要であり、
制作工数が多くなり煩わしいという問題が生じる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】また、従来の圧力セン
サに用いられている歪ゲージ素子は、その基材にポリイ
ミド等の有機絶縁性材料を用いているため可撓性が強
く、ダイヤフラムに貼着して圧力測定に用いた場合には
図１２に示すように、圧力の低い範囲で線形性に乱れが
見られ高精度な測定を行い得ないという問題点があっ
た。
サに用いられている歪ゲージ素子は、その基材にポリイ
ミド等の有機絶縁性材料を用いているため可撓性が強
く、ダイヤフラムに貼着して圧力測定に用いた場合には
図１２に示すように、圧力の低い範囲で線形性に乱れが
見られ高精度な測定を行い得ないという問題点があっ
た。
【０００５】本発明は上記の従来の圧力センサの問題点
に鑑みてなされたもので、その目的は、制作が容易であ
り、しかも、高精度な圧力測定の可能な圧力センサを提
供することである。
に鑑みてなされたもので、その目的は、制作が容易であ
り、しかも、高精度な圧力測定の可能な圧力センサを提
供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで本発明では、測定
対象の流体の流入路が形成さたベースと、このベースの
前記流入路から流入する流体の圧力を受ける壁を構成す
るダイヤフラムと、このダイヤフラムに貼着された歪ゲ
ージ素子と、前記ダイヤフラムに到来する流体を外部か
ら遮断すべく当該ダイヤフラムにおける接合部分をシー
ルする金属リングとを備えさせて圧力センサを構成し
た。
対象の流体の流入路が形成さたベースと、このベースの
前記流入路から流入する流体の圧力を受ける壁を構成す
るダイヤフラムと、このダイヤフラムに貼着された歪ゲ
ージ素子と、前記ダイヤフラムに到来する流体を外部か
ら遮断すべく当該ダイヤフラムにおける接合部分をシー
ルする金属リングとを備えさせて圧力センサを構成し
た。
【０００７】更に本発明では、上記において、歪ゲージ
素子は、歪み特性及び復元特性が線形な材料の薄板を基
材とするように圧力センサを構成した。
素子は、歪み特性及び復元特性が線形な材料の薄板を基
材とするように圧力センサを構成した。
【０００８】更に本発明では、上記構成において歪ゲー
ジ素子は、絶縁性無機材料による薄板を基材とするよう
に圧力センサを構成した。
ジ素子は、絶縁性無機材料による薄板を基材とするよう
に圧力センサを構成した。
【０００９】更に本発明では、上記構成において、歪ゲ
ージ素子は、ダイヤフラムの薄肉部分よりもやや広い範
囲を覆う面積の薄板を基材とするように圧力センサを構
成した。
ージ素子は、ダイヤフラムの薄肉部分よりもやや広い範
囲を覆う面積の薄板を基材とするように圧力センサを構
成した。
【００１０】
【作用】上記構成の圧力センサによると、ダイヤフラム
における接合部分を金属リングによりシールするように
したので、溶接を要せずに、当該ダイヤフラムに到来す
る流体を外部から遮断するようにできる。つまり、溶接
によらずダイヤフラムを設けることができるので、ダイ
ヤフラムの変位部分が歪むことなく簡単な作業で取り付
け可能であり、高精度な測定を可能にする。更に、歪ゲ
ージ素子の基材を、歪み特性及び復元特性が線形な材料
の薄板とすることにより、ダイヤフラムが圧力に対して
非線形な特性があったとしても、歪ゲージ素子は、必ず
しも、ダイヤフラムの非線形的特性に追従することな
く、かつ、ダイヤフラムの変位に応じて線形性を持って
変位することから、高精度な測定を可能にする。また、
歪ゲージ素子の基材を、絶縁性無機材料による薄板とす
ることにより、この基材を歪み特性及び復元特性が線形
な材料の薄板とすることになり、上記と同様に高精度な
測定を可能にする。更に、歪ゲージ素子の基材を、ダイ
ヤフラムの薄肉部分よりもやや広い範囲を覆う面積の薄
板とすることにより、歪ゲージ素子の中央部と終縁部と
の変位を異ならせ、この中央部と終縁部に設けられた抵
抗の変化が出力を大きくするように働き、高精度な測定
を可能にする。
における接合部分を金属リングによりシールするように
したので、溶接を要せずに、当該ダイヤフラムに到来す
る流体を外部から遮断するようにできる。つまり、溶接
によらずダイヤフラムを設けることができるので、ダイ
ヤフラムの変位部分が歪むことなく簡単な作業で取り付
け可能であり、高精度な測定を可能にする。更に、歪ゲ
ージ素子の基材を、歪み特性及び復元特性が線形な材料
の薄板とすることにより、ダイヤフラムが圧力に対して
非線形な特性があったとしても、歪ゲージ素子は、必ず
しも、ダイヤフラムの非線形的特性に追従することな
く、かつ、ダイヤフラムの変位に応じて線形性を持って
変位することから、高精度な測定を可能にする。また、
歪ゲージ素子の基材を、絶縁性無機材料による薄板とす
ることにより、この基材を歪み特性及び復元特性が線形
な材料の薄板とすることになり、上記と同様に高精度な
測定を可能にする。更に、歪ゲージ素子の基材を、ダイ
ヤフラムの薄肉部分よりもやや広い範囲を覆う面積の薄
板とすることにより、歪ゲージ素子の中央部と終縁部と
の変位を異ならせ、この中央部と終縁部に設けられた抵
抗の変化が出力を大きくするように働き、高精度な測定
を可能にする。
【００１１】
【実施例】以下、添付の図面を参照して、本発明の実施
例を説明する。図１には本発明の実施例に係る圧力セン
サの断面図が示されており、図２にはその要部が示され
ている。センサケース１は、胴部１３が円筒状に形成さ
れ、一端側には円盤状の側板１４が圧入され、他端側は
開口となっている。この開口の部分には、一端方向に突
出した接続部７を有するベース２が圧入されている。接
続部７の外周部にはネジが形成され、流体源につながる
管に接続可能とされると共に、接続部７の側部側中央に
は流体が到来する穴である流路入口６Ａが形成されてい
る。この流路入口６Ａから真っ直ぐにに右方向に流路６
が形成されている。ベース２の側部の周端部付近にはネ
ジ１８が入れられる穴８が数箇所（６箇所）形成されて
いる。
例を説明する。図１には本発明の実施例に係る圧力セン
サの断面図が示されており、図２にはその要部が示され
ている。センサケース１は、胴部１３が円筒状に形成さ
れ、一端側には円盤状の側板１４が圧入され、他端側は
開口となっている。この開口の部分には、一端方向に突
出した接続部７を有するベース２が圧入されている。接
続部７の外周部にはネジが形成され、流体源につながる
管に接続可能とされると共に、接続部７の側部側中央に
は流体が到来する穴である流路入口６Ａが形成されてい
る。この流路入口６Ａから真っ直ぐにに右方向に流路６
が形成されている。ベース２の側部の周端部付近にはネ
ジ１８が入れられる穴８が数箇所（６箇所）形成されて
いる。
【００１２】ベース２の右側には、ダイヤフラム３が設
けられている。ダイヤフラム３は中央部に円形の薄肉部
３Ａを有し、端部が厚肉に形成されている。ダイヤフラ
ム３では、厚肉部の厚さの円盤状金属を削り出しによ
り、中央部に円形の薄肉部３Ａを得る。上記厚肉部分に
はベース２の穴８に対応して、ネジが形成されたネジ穴
１９が穿設されている。図３には、ダイヤフラム３の図
１の右方向から見た平面図が示されている。ベース２と
ダイヤフラム３との間には図３に平面図を示すリングガ
イド１７と、Ｏリング５とが介装されている。図４に示
されるように、リングガイド１７の平面中央部には、Ｏ
リング５の外径と同じ径の穴１７Ｂが形成され、残され
た環の部分には、ネジ１８が貫通する穴１７Ａが６箇所
に設けられている。上記のダイヤフラム３、リングガイ
ド１７、金属製のＯリング５、ベース２はネジ１８によ
って結合され、流路６とダイヤフラム３の薄肉部３Ａに
より構成される室は金属製のＯリング５により外部とシ
ールされる。なお、ベース２とダイヤフラム３の対向す
る面は鏡面仕上げされ、Ｏリング５によるシールが適切
になされる。
けられている。ダイヤフラム３は中央部に円形の薄肉部
３Ａを有し、端部が厚肉に形成されている。ダイヤフラ
ム３では、厚肉部の厚さの円盤状金属を削り出しによ
り、中央部に円形の薄肉部３Ａを得る。上記厚肉部分に
はベース２の穴８に対応して、ネジが形成されたネジ穴
１９が穿設されている。図３には、ダイヤフラム３の図
１の右方向から見た平面図が示されている。ベース２と
ダイヤフラム３との間には図３に平面図を示すリングガ
イド１７と、Ｏリング５とが介装されている。図４に示
されるように、リングガイド１７の平面中央部には、Ｏ
リング５の外径と同じ径の穴１７Ｂが形成され、残され
た環の部分には、ネジ１８が貫通する穴１７Ａが６箇所
に設けられている。上記のダイヤフラム３、リングガイ
ド１７、金属製のＯリング５、ベース２はネジ１８によ
って結合され、流路６とダイヤフラム３の薄肉部３Ａに
より構成される室は金属製のＯリング５により外部とシ
ールされる。なお、ベース２とダイヤフラム３の対向す
る面は鏡面仕上げされ、Ｏリング５によるシールが適切
になされる。
【００１３】ダイヤフラム３の平面的に形成された面
（流体と隔絶された面）には、歪ゲージ素子４が、例え
ば、無機接着剤によって貼着されている。この歪ゲージ
素子４は、ガラス製の円盤状の薄板に抵抗パターンを蒸
着したもので、図６に示すように、中央部のパターン４
１と、周縁部の２つのパターン４２、４３とから構成さ
れる。４４〜４９は電極部を示す。この電極部４４〜４
９の内、例えば、電極部４５、４８を図示せぬリード線
で接続し、また、電極部４６、４９を図示せぬリード線
で接続し、電極部４４、４７、４５（４８）からそれぞ
れリード線１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃを引き出す。リード
線１６Ａ〜１６Ｃは回路搭載板９の中央部の穴から回路
部へ導かれる。検出回路を図７に示す。この検出回路
は、抵抗Ｒ１（周縁部の２つのパターンに対応）と抵抗
Ｒ２（中央部のパターンに対応）とを直列に接続し、こ
れに直列接続された抵抗Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５を並列に接続
して、平衡ブリッジを構成し電流源５１から電流を流
す。平衡節点から差動増幅器５２へ信号を導くことによ
り、歪ゲージ素子４の歪みによる信号の差の電圧を得る
ことができ、これをケーブル１５を介して外部へ導く。
ケーブル１５には、電流源５１からの電流のラインも含
まれる。
（流体と隔絶された面）には、歪ゲージ素子４が、例え
ば、無機接着剤によって貼着されている。この歪ゲージ
素子４は、ガラス製の円盤状の薄板に抵抗パターンを蒸
着したもので、図６に示すように、中央部のパターン４
１と、周縁部の２つのパターン４２、４３とから構成さ
れる。４４〜４９は電極部を示す。この電極部４４〜４
９の内、例えば、電極部４５、４８を図示せぬリード線
で接続し、また、電極部４６、４９を図示せぬリード線
で接続し、電極部４４、４７、４５（４８）からそれぞ
れリード線１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃを引き出す。リード
線１６Ａ〜１６Ｃは回路搭載板９の中央部の穴から回路
部へ導かれる。検出回路を図７に示す。この検出回路
は、抵抗Ｒ１（周縁部の２つのパターンに対応）と抵抗
Ｒ２（中央部のパターンに対応）とを直列に接続し、こ
れに直列接続された抵抗Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５を並列に接続
して、平衡ブリッジを構成し電流源５１から電流を流
す。平衡節点から差動増幅器５２へ信号を導くことによ
り、歪ゲージ素子４の歪みによる信号の差の電圧を得る
ことができ、これをケーブル１５を介して外部へ導く。
ケーブル１５には、電流源５１からの電流のラインも含
まれる。
【００１４】上記の歪ゲージ素子４の基材の径は、ダイ
ヤフラム３の薄肉部３Ａの径よりやや大きく構成されて
いる。一方、回路搭載板９はダイヤフラム３のネジ穴１
９Ａに結合された図５に示されるネジ１２を２段に接続
したネジに、ネジ１１によって結合される。ネジ１２に
は、図５に示すように先端に雄ネジ１２Ａが形成され、
後端に雌ネジ１２Ｂ及びドライバ用の凹部が形成されて
いる。
ヤフラム３の薄肉部３Ａの径よりやや大きく構成されて
いる。一方、回路搭載板９はダイヤフラム３のネジ穴１
９Ａに結合された図５に示されるネジ１２を２段に接続
したネジに、ネジ１１によって結合される。ネジ１２に
は、図５に示すように先端に雄ネジ１２Ａが形成され、
後端に雌ネジ１２Ｂ及びドライバ用の凹部が形成されて
いる。
【００１５】上記のように構成された圧力センサには、
流路入口６Ａから流体が到来し、圧力によりダイヤフラ
ム３の薄肉部３Ａを歪ませる。これに応じて、歪ゲージ
素子４も歪みを生じ、抵抗パターンの中央部と周縁部と
に延び縮みの差が生じ、抵抗が変化する。この変化は圧
力に対応する。歪ゲージ素子４の基材を、ダイヤフラム
３の薄肉部３Ａよりもやや広い範囲を覆う面積の薄板と
することにより、歪ゲージ素子４の中央部と終縁部との
変位を異ならせる。つまり、中央部は広がり、終縁部が
収縮するように変位し、この中央部と終縁部とに設けら
れた抵抗の変化が出力を大きくするように働き、高精度
な測定を可能にする。抵抗の変化により図７の平衡回路
の平衡が崩れ、差動増幅器５２からは、圧力に応じた信
号レベルが出力される。
流路入口６Ａから流体が到来し、圧力によりダイヤフラ
ム３の薄肉部３Ａを歪ませる。これに応じて、歪ゲージ
素子４も歪みを生じ、抵抗パターンの中央部と周縁部と
に延び縮みの差が生じ、抵抗が変化する。この変化は圧
力に対応する。歪ゲージ素子４の基材を、ダイヤフラム
３の薄肉部３Ａよりもやや広い範囲を覆う面積の薄板と
することにより、歪ゲージ素子４の中央部と終縁部との
変位を異ならせる。つまり、中央部は広がり、終縁部が
収縮するように変位し、この中央部と終縁部とに設けら
れた抵抗の変化が出力を大きくするように働き、高精度
な測定を可能にする。抵抗の変化により図７の平衡回路
の平衡が崩れ、差動増幅器５２からは、圧力に応じた信
号レベルが出力される。
【００１６】上記のようにして構成した圧力センサによ
る線形性の試験結果を図１０に示す。この試験において
は、厚さ０．２ｍｍで、２０ｍｍの径の歪ゲージ素子４
を、径３５．６ｍｍ、薄肉部の径１６ｍｍ、同厚み０．
４ｍｍのダイヤフラムに貼着して、電流１０ｍＡで行っ
たものである。縦軸に、相対出力（フルスパン時１００
パーセント）をとり、横軸を流体の圧力としてある。こ
の図１０に明白なように、実施例に係る圧力センサは、
極めて高い線形性を示し、高精度な計測が可能となるこ
とが判る。これに対し、図１１には、円筒状の側部に薄
肉のダイヤフラムをスポット溶接により接合したダイヤ
フラムを用いた圧力センサの線形性が示される。この試
験においては、厚み０．４ｍｍの径３５．４ｍｍのダイ
ヤフラムを用いポリイミドの歪ゲージ素子を貼着し、電
流１０ｍＡで行ったものである。この例では、ほとんど
線形性が見られず実用に向かないことが判る。更に、上
記ポリイミドの歪ゲージ素子を本実施例のダイヤフラム
に貼着し、電流１０ｍＡ試験をで行った結果を図１２に
示す。この圧力センサでは、圧力の低い範囲で線形性に
乱れが見られ高精度な測定を行い得ないことが判る。
る線形性の試験結果を図１０に示す。この試験において
は、厚さ０．２ｍｍで、２０ｍｍの径の歪ゲージ素子４
を、径３５．６ｍｍ、薄肉部の径１６ｍｍ、同厚み０．
４ｍｍのダイヤフラムに貼着して、電流１０ｍＡで行っ
たものである。縦軸に、相対出力（フルスパン時１００
パーセント）をとり、横軸を流体の圧力としてある。こ
の図１０に明白なように、実施例に係る圧力センサは、
極めて高い線形性を示し、高精度な計測が可能となるこ
とが判る。これに対し、図１１には、円筒状の側部に薄
肉のダイヤフラムをスポット溶接により接合したダイヤ
フラムを用いた圧力センサの線形性が示される。この試
験においては、厚み０．４ｍｍの径３５．４ｍｍのダイ
ヤフラムを用いポリイミドの歪ゲージ素子を貼着し、電
流１０ｍＡで行ったものである。この例では、ほとんど
線形性が見られず実用に向かないことが判る。更に、上
記ポリイミドの歪ゲージ素子を本実施例のダイヤフラム
に貼着し、電流１０ｍＡ試験をで行った結果を図１２に
示す。この圧力センサでは、圧力の低い範囲で線形性に
乱れが見られ高精度な測定を行い得ないことが判る。
【００１７】図８には、本発明に係る実施例の良好な特
性がどの様にして得られるかの原理が示される。ダイヤ
フラム３が図のように歪むものとすると、歪ゲージ素子
４は基材がガラス故に、その弾性により、接着材１０を
介して、ダイヤフラム３に追随しながらもポリイミドに
比し独立した歪みを受けるものと考えられる。つまり、
歪ゲージ素子４の基材を歪み特性及び復元特性が線形な
材料とすることにより、ポリイミドに比しダイヤフラム
３が持つ非線形的な歪み特性の影響を必ずしも受けず、
自らの有する線形性ある歪み特性で変位するものと考え
られる。この種の材料としては、ガラス以外にセラミッ
ク等の絶縁性無機材料を挙げることができる。
性がどの様にして得られるかの原理が示される。ダイヤ
フラム３が図のように歪むものとすると、歪ゲージ素子
４は基材がガラス故に、その弾性により、接着材１０を
介して、ダイヤフラム３に追随しながらもポリイミドに
比し独立した歪みを受けるものと考えられる。つまり、
歪ゲージ素子４の基材を歪み特性及び復元特性が線形な
材料とすることにより、ポリイミドに比しダイヤフラム
３が持つ非線形的な歪み特性の影響を必ずしも受けず、
自らの有する線形性ある歪み特性で変位するものと考え
られる。この種の材料としては、ガラス以外にセラミッ
ク等の絶縁性無機材料を挙げることができる。
【００１８】図９本発明の他の実施例に係る圧力センサ
の要部が示されている。この例ではベース７０とダイヤ
フラム７１及び指示板７２の部分を示し、他は図１、図
２の実施例に等しい。ダイヤフラム７１は全体が薄板で
あり、Ｏリングによりシールされる。指示板７３は中央
部に穴を有し、ネジ穴７４が形成され、このネジ穴に植
設するネジにより、ダイヤフラム７１とリングガイド１
７、Ｏリング５とを締め付け、流路６とダイヤフラム７
１とにより構成される室は金属製のＯリング５により外
部とシールされる。係る実施例によっても、図１に示し
た実施例と同様の効果を得ることができる。
の要部が示されている。この例ではベース７０とダイヤ
フラム７１及び指示板７２の部分を示し、他は図１、図
２の実施例に等しい。ダイヤフラム７１は全体が薄板で
あり、Ｏリングによりシールされる。指示板７３は中央
部に穴を有し、ネジ穴７４が形成され、このネジ穴に植
設するネジにより、ダイヤフラム７１とリングガイド１
７、Ｏリング５とを締め付け、流路６とダイヤフラム７
１とにより構成される室は金属製のＯリング５により外
部とシールされる。係る実施例によっても、図１に示し
た実施例と同様の効果を得ることができる。
【００１９】この図９の実施例からも明白なように、本
発明に係る圧力センサは、流路を有するベースとダイヤ
フラムとを接続し、この接続部分を金属製のリングによ
りシールして構成できる。このため、この基本的な構成
の圧力センサを他の装置、例えば、マスフローチャート
コントローラに組み込んで流体の監視制御装置とするこ
とができる。
発明に係る圧力センサは、流路を有するベースとダイヤ
フラムとを接続し、この接続部分を金属製のリングによ
りシールして構成できる。このため、この基本的な構成
の圧力センサを他の装置、例えば、マスフローチャート
コントローラに組み込んで流体の監視制御装置とするこ
とができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ダ
イヤフラムにおける接合部分を金属リングによりシール
するようにしたので、溶接を要せずに、当該ダイヤフラ
ムに到来する流体を外部から遮断するようにできる。つ
まり、溶接によらずダイヤフラムを設けることができる
ので、ダイヤフラムの変位部分が歪むことなく簡単な作
業で取り付け可能であり、高精度な測定を可能にする効
果がある。また、溶接部分がないことから錆びる可能性
を低くし、内部が汚れても容易に分解して洗浄すること
ができ保守の観点からも優れた効果がある。
イヤフラムにおける接合部分を金属リングによりシール
するようにしたので、溶接を要せずに、当該ダイヤフラ
ムに到来する流体を外部から遮断するようにできる。つ
まり、溶接によらずダイヤフラムを設けることができる
ので、ダイヤフラムの変位部分が歪むことなく簡単な作
業で取り付け可能であり、高精度な測定を可能にする効
果がある。また、溶接部分がないことから錆びる可能性
を低くし、内部が汚れても容易に分解して洗浄すること
ができ保守の観点からも優れた効果がある。
【図１】本発明の実施例の構成図。
【図２】本発明の実施例の要部詳細構成図。
【図３】本発明の実施例の要部の平面図。
【図４】本発明の実施例の要部の平面図。
【図５】本発明の実施例の要部の斜視図。
【図６】本発明の実施例の要部の平面図。
【図７】本発明の実施例の検出回路の構成図。
【図８】本発明の実施例の作用を説明する図。
【図９】本発明の他の実施例の要部構成図。
【図１０】本発明による線形性を示す図。
【図１１】従来例による線形性を示す図。
【図１２】従来例による線形性を示す図。
１ センサケース ２ ベース ３ ダイヤフラム ４ 歪ゲー
ジ素子 ５ Ｏリング ６ 流路
ジ素子 ５ Ｏリング ６ 流路
Claims (5)
- 【請求項１】 測定対象の流体の流入路が形成さたベー
スと、 このベースの前記流入路から流入する流体の圧力を受け
る壁を構成するダイヤフラムと、 このダイヤフラムに貼着された歪ゲージ素子と、 前記ダイヤフラムに到来する流体を外部から遮断すべく
当該ダイヤフラムにおける接合部分をシールする金属リ
ングとを備え、 前記流入路から到来する流体の圧力を前記ダイヤフラム
の変位に応動する前記歪ゲージ素子の抵抗変化として検
出することを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】 一方が開口し、他方が閉じられた筒状の
センサケースと、 このセンサケースの前記開口部分に設けられると共に、
測定対象の流体の流入路が形成され、前記センサケース
の蓋となるベースと、 このベースの前記流入路から流入する流体の圧力を受け
る壁を構成するダイヤフラムと、 このダイヤフラムに貼着された歪ゲージ素子と、 前記ダイヤフラムに到来する流体を外部から遮断すべく
当該ダイヤフラムにおける接合部分をシールする金属リ
ングとを備え、 前記流入路から到来する流体の圧力を前記ダイヤフラム
の変位に応動する前記歪ゲージ素子の抵抗変化として検
出することを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項３】 歪ゲージ素子は、歪み特性及び復元特性
が線形な材料の薄板を基材とすることを特徴とする請求
項１または請求項２記載の圧力センサ。 - 【請求項４】 歪ゲージ素子は、絶縁性無機材料による
薄板を基材とすることを特徴とする請求項１乃至請求項
３のいずれか１項に記載の圧力センサ。 - 【請求項５】 歪ゲージ素子は、ダイヤフラムの薄肉部
分よりもやや広い範囲を覆う面積の薄板を基材とするこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に
記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10492993A JPH06294691A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10492993A JPH06294691A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06294691A true JPH06294691A (ja) | 1994-10-21 |
Family
ID=14393792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10492993A Pending JPH06294691A (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06294691A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6782754B1 (en) | 2000-07-07 | 2004-08-31 | Rosemount, Inc. | Pressure transmitter for clean environments |
| US7347099B2 (en) | 2004-07-16 | 2008-03-25 | Rosemount Inc. | Pressure transducer with external heater |
| US7679033B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-03-16 | Rosemount Inc. | Process field device temperature control |
| US7779698B2 (en) | 2007-11-08 | 2010-08-24 | Rosemount Inc. | Pressure sensor |
-
1993
- 1993-04-08 JP JP10492993A patent/JPH06294691A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6782754B1 (en) | 2000-07-07 | 2004-08-31 | Rosemount, Inc. | Pressure transmitter for clean environments |
| US7347099B2 (en) | 2004-07-16 | 2008-03-25 | Rosemount Inc. | Pressure transducer with external heater |
| US7679033B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-03-16 | Rosemount Inc. | Process field device temperature control |
| US7779698B2 (en) | 2007-11-08 | 2010-08-24 | Rosemount Inc. | Pressure sensor |
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