RU2006143445A

RU2006143445A - Способ изготовления микро- и наномеханических компонентов, содержащий этап абляции с помощью фемтолазера

Info

Publication number: RU2006143445A
Application number: RU2006143445/02A
Authority: RU
Inventors: Ги СЕМОН (FR); Ги СЕМОН
Original assignee: Таг Хойер Са (Ch); Таг Хойер Са
Priority date: 2004-06-08
Filing date: 2005-06-08
Publication date: 2008-06-20
Also published as: WO2005123324A1; EP1753581A1; US20080095968A1; JP2008501534A; RU2371290C2

Abstract

1. Способ изготовления микромеханических или наномеханических компонентов, предназначенных для изготовления часов, отличающийся тем, что имеет этап реализуемой с помощью лазера абляции указанного приводного ремня или микроформы, используемой для производства указанного приводного ремня, указанная абляция осуществляется за счет лазера с импульсами длительностью менее 5·10с и с мощностью более 10Вт на поверхности взаимодействия «пучок-вещество».2. Способ по п.1, в котором, по меньшей мере, один размер компонента меньше или равен 2 мм или предпочтительно меньше чем 0,5 мм, этот размер пересчитывается и определяется как длина сегмента, который соединяет две наиболее удаленные точки компонента вдоль одного и того же направления.3. Способ по одному из пп.1 или 2, в котором указанный компонент содержит зубцы, глубина которых составляет менее 2 мм.4. Способ по п.1, содержащий следующие этапы: описание форм, подлежащих обработке, передача данных, соответствующих указанному описанию, на программное обеспечение обработки, причем указанное программное обеспечение обработки предпочтительно особо принимает во внимание интерполяции криволинейных поверхностей, определение угла падения пучка и положения обрабатываемого компонента по отношению к лазерному пучку в соответствии с материалом и глубиной обработки таким образом, чтобы оптимизировать условия абляции, введение данных в информационный процессор (17) контроля и/или управления перемещением, юстировка лазера с ультракороткими импульсами, имеющими длительность менее 5·10с и мощность более 10Вт на поверхности взаимодействия «пучок-вещество», начало программы обраб

Claims

1. Способ изготовления микромеханических или наномеханических компонентов, предназначенных для изготовления часов, отличающийся тем, что имеет этап реализуемой с помощью лазера абляции указанного приводного ремня или микроформы, используемой для производства указанного приводного ремня, указанная абляция осуществляется за счет лазера с импульсами длительностью менее 5·10^-13 с и с мощностью более 10¹² Вт на поверхности взаимодействия «пучок-вещество».

2. Способ по п.1, в котором, по меньшей мере, один размер компонента меньше или равен 2 мм или предпочтительно меньше чем 0,5 мм, этот размер пересчитывается и определяется как длина сегмента, который соединяет две наиболее удаленные точки компонента вдоль одного и того же направления.

3. Способ по одному из пп.1 или 2, в котором указанный компонент содержит зубцы, глубина которых составляет менее 2 мм.

4. Способ по п.1, содержащий следующие этапы: описание форм, подлежащих обработке, передача данных, соответствующих указанному описанию, на программное обеспечение обработки, причем указанное программное обеспечение обработки предпочтительно особо принимает во внимание интерполяции криволинейных поверхностей, определение угла падения пучка и положения обрабатываемого компонента по отношению к лазерному пучку в соответствии с материалом и глубиной обработки таким образом, чтобы оптимизировать условия абляции, введение данных в информационный процессор (17) контроля и/или управления перемещением, юстировка лазера с ультракороткими импульсами, имеющими длительность менее 5·10^-13 с и мощность более 10¹² Вт на поверхности взаимодействия «пучок-вещество», начало программы обработки и обработка компонента (10) с помощью импульсного лазера.

5. Способ по п.1, в котором градиент энергии лазерного пучка определяется так, что только интенсивность центральной зоны, сечение которой составляет менее 50% полного сечения пучка, больше, чем абляционный порог материала.

6. Способ по п.1, в котором абляция осуществляется только в фокальной плоскости лазерного пучка (16), причем способ включает этап перемещения указанной фокальной плоскости относительно указанного компонента в направлении, перпендикулярном указанному лазерному пучку.

7. Способ по п.1, в котором энергия и длительность импульсов выбираются в зависимости от материала компонента для обеспечения абляции нескольких мкм вещества, предпочтительно менее чем 10 мкм, на импульс.

8. Способ по п.1, использующий дифракционное устройство для лазерного пучка.

9. Способ по п.4, в котором указанное описание обрабатываемых форм осуществляется на основе геометрии, определяемой на плане системы автоматизированного проектирования (САПР) в трехмерных координатах, причем обработка шага определяется в соответствии с материалом и глубиной обработки так, чтобы можно было оптимизировать условия абляции, причем фокальная область располагается в зависимости от освещения с помощью оптической головки (15), оборудованной или нет дифракционным устройством.

10. Приводной ремень, предназначенный для изготовления часов, отличающийся тем, что он имеет зубцы, расположенные в пространстве в соответствии с шагом менее чем 2 мм, и/или глубина которых составляет менее 2 мм, и тем, что он производится в соответствии со способом по одному из пп.1-9.

11. Приводной ремень по п.10, отличающийся тем, что он имеет, по меньшей мере, одну кривую, например нерегулярную кривую, сформированную на плоскости, перпендикулярной элементу, по меньшей мере, с одним радиусом, большим 10^-9 м и меньшим чем 5 мм.