RU2006139027A - Способ и устройство для определения плотности и размерных характеристик объекта и их применение для проверки таблеток ядерного топлива в процессе производства - Google Patents
Способ и устройство для определения плотности и размерных характеристик объекта и их применение для проверки таблеток ядерного топлива в процессе производства Download PDFInfo
- Publication number
- RU2006139027A RU2006139027A RU2006139027/28A RU2006139027A RU2006139027A RU 2006139027 A RU2006139027 A RU 2006139027A RU 2006139027/28 A RU2006139027/28 A RU 2006139027/28A RU 2006139027 A RU2006139027 A RU 2006139027A RU 2006139027 A RU2006139027 A RU 2006139027A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- infrared
- objects
- stage
- edim
- determining
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 22
- 239000003758 nuclear fuel Substances 0.000 title claims 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 claims abstract 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 5
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 3
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000005251 gamma ray Effects 0.000 claims 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N9/00—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity
- G01N9/24—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity by observing the transmission of wave or particle radiation through the material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0093—Radioactive materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Claims (33)
1. Устройство для автоматического определения плотности объекта (100), принадлежащего к партии объектов, отличающееся тем, что оно включает в себя:
прибор (2) для определения значимого размера указанного объекта (100);
прибор (30) для определения интенсивности (I) фотонного пучка, ослабленной за счет прохождения сквозь указанный объект (100);
прибор (200) для сбора, обработки и анализа данных;
средства транспортировки (70, 72, 80, 82, 84, 86, 88) объекта (100) к прибору (2) для определения значимого размера (х) и в направлении прибора (30) для определения ослабленной интенсивности пучка фотонов,
первое средство регулировки положения (74, 76, 78) объекта (100) относительно прибора (30) для определения ослабленной интенсивности пучка фотонов, и
второе средство регулировки положения (90, 92,. 94, 96, 98) объекта (100) относительно прибора (30) для определения ослабленной интенсивности пучка фотонов,
и тем, что первое и второе средства регулировки положения способны перемещать объект (100) с точностью порядка одного микрометра относительно опорной пластины (150), на которой смонтированы элементы, входящие в состав устройства,
и тем, что положение объекта (100) относительно прибора (30) для определения ослабленной интенсивности (I) пучка фотонов регулируется в зависимости от значимого размера (х) указанного объекта (100).
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что прибор (200) для сбора, обработки и анализа данных включает в себя компьютер 170, на котором установлено специализированное программное обеспечение, выполняющее ряд инструкций и вычислительных алгоритмов, используемых в автоматической процедуре определения плотности объекта (100).
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что прибор (200) для сбора, обработки и анализа данных дает относительное изменение (Δρ/ρ) плотности (ρ) объекта (100) относительно известной плотности, по меньшей мере, одного объекта стандартной плотности emas, принадлежащего к той же самой партии объектов (100).
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что прибор (2) для определения значимого размера х объекта (100), включает в себя:
первый узел (4, 6) инфракрасного облучения, состоящий из первого инфракрасного излучателя (4) и первого инфракрасного приемника (6),
второй узел (8, 10) инфракрасного облучения, состоящий из второго инфракрасного излучателя (8) и второго инфракрасного приемника (10),
причем оба узла (4, 6 и 8, 10) инфракрасного облучения отстоят друг от друга на известном расстоянии d и генерируемые инфракрасные лучи идут параллельно друг другу,
и значимый размер (х) объекта (100) определяется по инфракрасному отклику, полученному при движении объекта (100) таким образом, что объект последовательно пересекает первый инфракрасный луч и второй инфракрасный луч в направлении, которое практически перпендикулярно осям (12, 14) обоих лучей, причем указанный инфракрасный отклик соответствует доли (24) второго луча, еще не пересекающегося с объектом (100), который еще пересекает половину (22) первого пучка.
5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что прибор (2) для определения размера также содержит третий трансиверный узел (16, 18), расположенный на входной стороне первого узла (4, 6) инфракрасного облучения, с учетом второго узла (8, 10) инфракрасного облучения, и предназначен для проведения предварительной регулировки интенсивности двух инфракрасных лучей.
6. Устройство по п.4, отличающееся тем, что значимый размер х объекта (100) определяют после перемещения указанного объекта QN раз и измерения Q инфракрасных откликов RI(q), где q означает число между 1 и Q, используя зависимость следующего типа:
х=А4(средний RI(q))4+А3(средний RI(q))3+А2(средний RI(q))2+
A1(средний RI(q))1+A0,
где А4, А3, А2, A1, A0 представляют собой коэффициенты, полученные ранее с использованием аналогичной зависимости, по меньшей мере, для четырех объектов со стандартным размером edim, для которых измерен инфракрасный отклик RIedim.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что прибор (30) для определения ослабленной интенсивности пучка фотонов, представляет собой гамма-спектрометр, в состав которого входят: узел (32), состоящий из источника излучения и коллиматора, узел (40), состоящий из детектора и коллиматора, система (48) для сбора и подсчета гамма-фотонов.
8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что система (48) для сбора и подсчета включает в себя: германиевый детектор высокой плотности; предварительный усилитель (50); процессор (52) преобразования цифровых сигналов; модуль высокого напряжения (54); сетевой модуль (56); компьютер (170) для сбора данных; криостат (60).
9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что транспортирующие средства (70, 72, 80, 82, 84, 86, 88) включают в себя поворотный стол (70) и шаговый электродвигатель (72), передвигающий указанный поворотный стол (70).
10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что транспортирующие средства включают в себя манипулятор (80).
11. Устройство по любому из пп.1-10, отличающееся тем, что манипулятор (80) представляет собой механический манипулятор, оборудованный захватывающим зажимом (82), предназначенным для захвата и перемещения вниз объекта (100).
12. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первые средства для регулировки включают в себя:
салазки (74) для закрепления положения основания (26) прибора (2) для определения значимого размера объекта вдоль направления X;
исполнительный механизм (76) для перемещения первого узла инфракрасного облучения (4, 6) ближе или дальше от второго узла инфракрасного облучения (8, 10) указанного прибора (2) по направлению Y перпендикулярно направлению X;
исполнительный механизм (78) для перемещения указанного основания (26) прибора (2) вдоль направления Z, перпендикулярного плоскости (X, Y).
13. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первые средства для регулировки включают в себя подложку (90) для облучения, на которую устанавливают объект (100) между источником (32) и детектором (40) в гамма-спектрометрическом приборе (30) для определения ослабленной интенсивности фотонного пучка, который прошел сквозь объект (100).
14. Устройство по п.13, отличающееся тем, что вторые средства для регулировки включают в себя:
салазки (94) для закрепления положения подложки (90) для облучения вдоль направления X;
исполнительный механизм (96) для перемещения указанно по направлению X;
исполнительный механизм (98) для перемещения указанной подложки (90) для облучения между источником (32) и детектором (40) в приборе (30) для определения ослабленной интенсивности фотонного пучка, который прошел сквозь объект (100) вдоль направления Z, перпендикулярного плоскости (X, Y).
15. Способ применения устройства для автоматического определения плотности объекта (100), принадлежащего к партии объектов, по любому из пп.1-14, указанное устройство включает в себя прибор (2) для определения значимого размера (х) объекта (100) и прибор (30) для определения интенсивности (I) фотонного пучка, ослабленной за счет прохождения сквозь указанный объект (100), отличающееся тем, что способ включает в себя следующие стадии калибровки:
стадию 1 для калибровки положения двух блоков инфракрасного излучения (4, 6 и 8, 10) в приборе (2) для определения значимого размера объектов (100);
стадию 2 для калибровки положения подложки (90) для облучения в гамма-спектрометрическом приборе (30), используемом для определения интенсивности фотонного пучка, ослабленной в результате прохождения сквозь объекты (100);
стадию 3 для калибровки измерения узла источник-детектор (32, 40) прибора (30) и тем, что способ включает в себя стадии фактического определения значимого размера (х) объекта (100), которые выполняются для каждого объекта (100) в указанной партии объектов.
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что первая стадия калибровки включает ввод оператором ряда входных параметров с помощью модуля диалогового режима, причем эти параметры включают:
конфигурацию компонентов, которые имеют микрометрическое перемещение, в том числе два исполнительных механизма (76, 78),
конфигурацию поворотного стола (70), другими словами, характер объектов, которые принимают различные местоположения на поворотном столе 70,
положение, принимаемое объектами стандартного размера edim, на поворотном столе (70),
положение Zизм вдоль направления Z станины (26) прибора (2),
положения Y(l) и Y(N), ограничивающие интервал перемещения первого инфракрасного узла (4, 6) вдоль направления Y,
стадию перемещения (INT) первого инфракрасного узла (4, 6) вдоль направления Y.
17. Способ по п.16, отличающийся тем, что первая стадия калибровки также включает следующие операции:
a) перемещение станины (26) вдоль направления Z вплоть до положения Zизм,
b) вращательное перемещение поворотного стола (70) для того, чтобы транспортировать объект стандартного размера edim вплоть до его положения начального измерения относительно прибора (2),
c) перемещение первого инфракрасного узла (4, 6) вдоль направления Y вплоть до его исходного положения Y(l),
d) поступательное перемещение первого инфракрасного узла (4, 6) вдоль направления Y с последовательными приращениями INT, удаление его из второго инфракрасного узла (8, 10), зафиксированного в положении YFIX между положениями Y(l) и Y(N), при одновременном определении инфракрасного отклика RI(n) объекта edim, в соответствии с каждым положением Y(n),
e) расчет оптимального инфракрасного отклика RIOPT,
f) расчет оптимального положения YOPT первого инфракрасного узла (4, 6) относительно второго инфракрасного узла (8, 10).
18. Способ по п.17, отличающийся тем, что операция d) включает в себя следующие вспомогательные операции:
d-1) вращательное перемещение поворотного стола (70) для того, чтобы транспортировать объект стандартного размера edim вплоть до положения конечного измерения,
d-2) измерение инфракрасного отклика RI(n) указанного объекта стандартного размера edim,
d-3) вращательное перемещение поворотного стола (70) для того, чтобы привести объект стандартного размера edim в положение начального измерения.
19. Способ по п.17, отличающийся тем, что оптимальный инфракрасный отклик RIOPT получают, используя соотношение:
RIOPT=1/2(RIMAX-RIMIN)
где RMIN означает минимальное значение насыщения инфракрасного отклика;
и RIMAX представляет собой максимальное значение насыщения инфракрасного отклика.
20. Способ по п.17, отличающийся тем, что операцию f) расчета оптимального положения YOPT выполняют следующим образом:
Если 
то YOPT=Y(j)
Если 
то YOPT=Y(k)
где RI(j) и RI(k) представляют собой два ранее вычисленных значения инфракрасного отклика, между которыми находится требуемый оптимальный отклик RIOPT, что соответствуют двум положениям Y(j) и Y(k) первого инфракрасного узла (4, 6) соответственно.
21. Способ по п.15, отличающийся тем, что вторая стадия калибровки включает ввод оператором ряда входных параметров с помощью модуля диалогового режима, причем эти параметры включают:
конфигурацию компонентов, которые имеют микрометрическое перемещение, в том числе два исполнительных механизма (96, 98),
конфигурацию поворотного стола (70), другими словами, характер объектов, которые принимают различные местоположения на поворотном столе,
положение, принимаемое объектами emas, на поворотном столе (70),
измерение продолжительности или времени счета,
положения Z(l) и Z (N), ограничивающие интервал перемещения облучаемой подложки (90) вдоль направления Z,
число М измерений интенсивности пучка фотонов, ослабленной за счет прохождения сквозь каждый объект стандартной плотности, для каждого положения Z(i), принимаемого облучаемой подложкой, для i=1,..., N.
22. Способ по п.21, отличающийся тем, что вторая стадия калибровки также включает следующие операции:
a) определение значимого размера xemas каждого объекта стандартной плотности emas,
b) вращательное перемещение поворотного стола 70 на угол А, для того чтобы транспортировать указанный объект стандартной плотности emas в промежуточное положение, в котором объект будет захвачено захватным устройством (80),
d) регулирование фактического положения облучаемой подложки (90) относительно источника (32) и присоединенного детектора (40),
e) обратный транспорт объекта стандартной плотности emas на поворотный стол (70) с повторением такой же последовательности операций, как описанные в операции с), но в обратном порядке.
23. Способ по п.22, отличающийся тем, что операция с), расположение объекта emas на облучаемой подложке (90), включает в себя следующие промежуточные операции:
с-1) перемещение облучаемой подложки (90) вниз, вдоль направления Z,
с-2) перемещение захватного устройства (80) из положения ожидания в вертикальное положение в соответствии с промежуточным положением объекта emas,
с-3) захват объекта emas захватным устройством (80), с последующим транспортированием объекта в вертикальное положение в соответствии верхней гранью (92) облучаемой подложки (90),
с-4) перемещение облучаемой подложки (90) вплоть до положения Z(l), вверх и вдоль направления Z,
с-5) опускание объекта emas вниз на верхнюю грань (92) облучаемой подложки (90), с использованием захватного устройства (80),
с-6) перемещение и возврат захватного устройства (80) вплоть до положения ожидания,
с-7) приведение объекта emas в контакт с ограничителем на верхней грани (92) вдоль направления Y.
24. Способ по п.22, отличающийся тем, что операция d), регулирование фактического положения облучаемой подложки (90) относительно источника (32) и присоединенного детектора (40), включает в себя следующие вспомогательные операции:
d-1) поступательное перемещение облучаемой подложки (90) вдоль направления Z между двумя заданными положениями Z(l) и Z(N),
d-2) для каждого положения Z(i), i=1,..., N, облучение объекта стандартной плотности emas пучком фотонов несколько (М) раз, что приводит к ряду значений ослабленной интенсивности I (i, J), где i=1,..., N означает число последовательных положений Z(i), принимаемых облучаемой подложкой (90), и j=1,..., М означает число облучений, выполненных в каждом положении Z(i),
d-3) расчет оптимального положения (ZOPT) облучаемой подложки (90), исходя из полиномиальной регрессии четвертого порядка положений Z(i) относительно значений ослабленной интенсивности I(i, j), причем эта полиномиальная регрессия четвертого порядка задается и интегрируется как элемент данных прибора (200) для сбора, обработки и анализа данных,
25. Способ по п.15, отличающийся тем, что третья стадия калибровки результатов измерения в устройстве (30) для гамма-спектрометрического определения включает следующие автоматизированные операции:
a) измерение интенсивности Iemas пучка фотонов, ослабленной за счет прохождения сквозь объект стандартной плотности emas,
b) расчет массового коэффициента ослабления μm для объекта стандартной плотности, и затем для всех объектов в наборе объектов, используя следующее соотношение:
26. Способ по п.15, отличающийся тем, что стадия фактического определения также включает в себя:
стадию 4 для определения значимого размера х испытуемого объекта (100),
стадию 5 для транспортирования объекта 100 в направлении облучаемой подложки (90),
стадию 6 для регулирования положения объекта (100) путем корректировки положения облучаемой подложки (90) относительно источника (32) и присоединенного детектора (40),
стадию 7 для определения ослабленной интенсивности I пучка фотонов, проходящего сквозь объект (100),
стадию 8 для сбора, обработка и анализа полученных спектров,
стадию 9 для определение относительного изменения Δρ/ρ плотности ρ объекта (100), относительно плотности одного или нескольких объектов стандартной плотности emas,
стадию 10 для обратного транспорта объекта (100) вплоть до его местоположения на поворотном столе (70).
27. Способ по п.26, отличающийся тем, что на стадии 4 для определения значимого размера х испытуемого объекта (100) оператор вводит набор вводимых параметров, используя модуль диалогового режима, причем эти параметры включают:
конфигурацию поворотного стола (70), другими словами, характер объектов, которые принимают различные местоположения на поворотном столе,
местоположение, принимаемое объектом (100) на поворотном столе (70),
положение Zизм вдоль направления Z станины (26) прибора (2),
количество Р инфракрасных измерений для каждого объекта стандартного размера edim(n), n=1,..., N, где N число объектов стандартного размера,
количество Q инфракрасных измерений для объекта (100).
28. Способ по п.27, отличающийся тем, что стадия 4 для определения значимого размера х испытуемого объекта (100) также включает следующие операции:
a) перемещение станины (26) в приборе (2) вдоль направления Z вплоть до положения Zизм,
b) перемещение первого инфракрасного узла (4, 6) вдоль направления Y, вплоть до положения Yизм, определенного как: Yизм=YOPT+(Xedim-XedimAVE), где
YOPT означает оптимальное положение, полученное на стадии калибровки 1,
Xedim представляет собой размер объекта edim стандартного размера, использованного в ходе первой стадии калибровки,
XedimAVE представляет собой значимый средний размер всех объектов стандартного размера edim,
c) измерение инфракрасного отклика RI(p), повторяющегося Р раз, р=1,..., Р для N объектов стандартного размера edim{n), n=1,..., N, что приводит к набору величин RI(n, р),
d) фактическое вычисление значимого размера х объекта (100).
29. Способ по п.28, отличающийся тем, что стадию d) фактического вычисления значимого размера х объекта (100) выполняют следующим образом:
d-1) используют полиномиальной регрессии 4-го порядка значимых размеров xedim(n) для каждого из N объектов стандартного размера edim, как функцию средней величины 
инфракрасных откликов каждого объекта стандартного размера edim(n) для того, чтобы рассчитать коэффициенты A0, A1, А2, А3, А4 в соотношении следующего типа:
xedim(n)=А4·(RIedimAVE(N))4+A3·(RIedimAVE(n))3+A2·(RIedimAVE(n))2+A1·(RIedimAVE(n))1+A0,
d-2) измеряют инфракрасный отклик RI(q), повторяемый Q раз, q=1,...,Q для испытуемого объекта (100), и вычисление средней величины 
этих инфракрасных откликов, и вычисление значимого размера х объекта (100) из следующего соотношения:
х=А4·(RI)4+А3·(RI)3+A2·(RI)2+A1·(RI)1+A0.
30. Применение устройства по любому из пп.1-14 для тестирования полученных объектов (100).
31. Применение по п.30, в котором объекты (100) представляют собой таблетки ядерного топлива.
32. Применение способа по любому пп.15-29 для тестирования полученных объектов (100).
33. Применение по п.32, в котором объекты (100) представляют собой таблетки ядерного топлива.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR0450686 | 2004-04-06 | ||
| FR0450686A FR2868538B1 (fr) | 2004-04-06 | 2004-04-06 | Procede et systeme de determination de la masse volumique et des caracteristiques dimensionnelles d'un objet, et application au controle des pastilles de combustible nucleaire en cours de fabrication |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2006139027A true RU2006139027A (ru) | 2008-05-20 |
| RU2362140C2 RU2362140C2 (ru) | 2009-07-20 |
Family
ID=34945507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2006139027/28A RU2362140C2 (ru) | 2004-04-06 | 2005-04-06 | Способ и устройство для определения плотности и размерных характеристик объекта и их применение для проверки таблеток ядерного топлива в процессе производства |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7683329B2 (ru) |
| EP (1) | EP1733205B1 (ru) |
| JP (1) | JP4658117B2 (ru) |
| CN (1) | CN1942752B (ru) |
| AT (1) | ATE515688T1 (ru) |
| FR (1) | FR2868538B1 (ru) |
| RU (1) | RU2362140C2 (ru) |
| WO (1) | WO2005100952A1 (ru) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007050083A1 (en) * | 2005-10-27 | 2007-05-03 | Varian Medical Systems Technologies, Inc. | Method and apparatus for auto-calibration of a ct scanner |
| US8306187B2 (en) * | 2010-08-06 | 2012-11-06 | Thermo Fisher Scientific Inc. | Optimal detector position for gamma backscatter |
| US8777485B2 (en) | 2010-09-24 | 2014-07-15 | Varian Medical Systems, Inc. | Method and apparatus pertaining to computed tomography scanning using a calibration phantom |
| WO2019239415A2 (en) * | 2018-06-14 | 2019-12-19 | Soreq Nuclear Research Center | Method and apparatus for measuring nuclear fuel burnup |
| RU186919U1 (ru) * | 2018-10-23 | 2019-02-11 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Корад" | Устройство гамма-активационного анализа |
| RU203146U1 (ru) * | 2021-01-25 | 2021-03-23 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Корад" | Устройство гамма-активационного анализа |
| WO2023158336A1 (ru) * | 2022-02-15 | 2023-08-24 | Акционерное общество "Машиностроительный завод" | Установка контроля плотности цилиндрических изделий |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4193502A (en) * | 1977-04-29 | 1980-03-18 | Westinghouse Electric Corp. | Pellet dimension checker |
| JP2544431B2 (ja) * | 1988-03-07 | 1996-10-16 | 株式会社日立製作所 | 物体の密度等の測定方法と装置 |
| FR2629914B1 (fr) * | 1988-04-06 | 1991-09-06 | Aerospatiale | Procede et dispositif pour determiner la masse volumique d'un volume elementaire de matiere |
| JPH0287543A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-28 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハの表面評価装置 |
| US4975578A (en) * | 1989-04-17 | 1990-12-04 | The Research Foundation Of State University Of Ny | Method and apparatus for determining distribution of mass density |
| JPH03181840A (ja) * | 1989-12-12 | 1991-08-07 | Kenichi Hasegawa | 密度測定方法及び装置 |
| JP2853257B2 (ja) * | 1990-04-13 | 1999-02-03 | 株式会社島津製作所 | Ｅｐｍａによる薄膜試料の組成・密度の同時測定法 |
| JP2916509B2 (ja) * | 1990-05-31 | 1999-07-05 | 三菱原子燃料株式会社 | 被測定体の外径測定方法および装置 |
| JPH04369460A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-22 | Nippon Steel Corp | 密度測定装置 |
| JPH0552521A (ja) * | 1991-08-27 | 1993-03-02 | Matsushita Electric Works Ltd | 光学式寸法測定器 |
| JPH05237081A (ja) * | 1991-12-18 | 1993-09-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 物質の定量測定装置 |
| GB9303887D0 (en) * | 1993-02-26 | 1993-04-21 | British Nuclear Fuels Plc | An apparatus and a method for automatically measuring the density of an object |
| NZ331948A (en) * | 1996-03-21 | 2000-01-28 | Anders Ullberg | Determining presence and desnity of object using two radiation sources |
| CN1206837A (zh) * | 1997-03-04 | 1999-02-03 | 安娜钻机国际有限公司 | 测定地球岩层密度的方法 |
| DE19710835A1 (de) * | 1997-03-15 | 1998-09-17 | Bosch Gmbh Robert | Meßeinrichtung zur Dichtemessung von Bauteilen |
| FR2798463B1 (fr) * | 1999-09-15 | 2002-03-29 | Franco Belge Combustibles | Procede et dispositif de controle de la densite d'elements en un materiau compacte, tel que des pastilles de combustible nucleaire |
-
2004
- 2004-04-06 FR FR0450686A patent/FR2868538B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-04-06 US US10/594,834 patent/US7683329B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-04-06 WO PCT/FR2005/000838 patent/WO2005100952A1/fr active Application Filing
- 2005-04-06 RU RU2006139027/28A patent/RU2362140C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2005-04-06 EP EP05753642A patent/EP1733205B1/fr not_active Not-in-force
- 2005-04-06 JP JP2007506808A patent/JP4658117B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-04-06 CN CN2005800120360A patent/CN1942752B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-04-06 AT AT05753642T patent/ATE515688T1/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20070295897A1 (en) | 2007-12-27 |
| CN1942752A (zh) | 2007-04-04 |
| ATE515688T1 (de) | 2011-07-15 |
| JP2007531890A (ja) | 2007-11-08 |
| US7683329B2 (en) | 2010-03-23 |
| FR2868538B1 (fr) | 2006-05-26 |
| EP1733205A1 (fr) | 2006-12-20 |
| WO2005100952A1 (fr) | 2005-10-27 |
| RU2362140C2 (ru) | 2009-07-20 |
| EP1733205B1 (fr) | 2011-07-06 |
| FR2868538A1 (fr) | 2005-10-07 |
| CN1942752B (zh) | 2011-04-13 |
| JP4658117B2 (ja) | 2011-03-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2006139027A (ru) | Способ и устройство для определения плотности и размерных характеристик объекта и их применение для проверки таблеток ядерного топлива в процессе производства | |
| US7600916B2 (en) | Target alignment for X-ray scattering measurements | |
| US6947520B2 (en) | Beam centering and angle calibration for X-ray reflectometry | |
| JP4796254B2 (ja) | Ｘ線アレイ検出器 | |
| US7130376B2 (en) | X-ray reflectometry of thin film layers with enhanced accuracy | |
| US9551677B2 (en) | Angle calibration for grazing-incidence X-ray fluorescence (GIXRF) | |
| CN109964116A (zh) | 用于三维半导体结构的检验的缺陷发现及配方优化 | |
| JP3995515B2 (ja) | Ｘ線反射装置 | |
| KR20070009479A (ko) | 샘플 움직임에 의한 ｘ-선 측정의 분해능 향상 | |
| EP3109625B1 (en) | Combination of cad data and computer tomography | |
| US8077827B2 (en) | Method for thickness calibration and measuring thickness of material | |
| JPS63135848A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| US20060034418A1 (en) | Tomography appliance, and method for a tomography appliance | |
| JP4677217B2 (ja) | サンプル検査方法、サンプル検査装置、マイクロエレクトロニックデバイス製造用クラスタツール、マイクロエレクトロニックデバイス製造用装置 | |
| JP5302281B2 (ja) | サンプルの検査方法及び装置 | |
| JP2007024795A (ja) | 形態計測装置 | |
| Peyvandi et al. | Evaluation of a new position sensitive detector based on the plastic rod scintillators | |
| WO2018092256A1 (ja) | Ｘ線インライン検査システム及びｘ線インライン検査システムの撮像方法 | |
| JP2003294659A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| US7248669B2 (en) | Method for analyzing membrane structure and apparatus therefor | |
| JP7178204B2 (ja) | Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法 | |
| Guo et al. | Research on defect depth measurement algorithm in digital radiography testing | |
| Dias et al. | An Automated System for Estimating GSM Value of Fabrics using Beta Particle Absorption Characteristics | |
| KR100478482B1 (ko) | 웨이퍼 검사장치 | |
| CN116482151A (zh) | 水果糖度的检测方法和计算机设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190407 |