RU2006112594A - Кремниевые лезвия для хирургического и нехирургического применения - Google Patents

Кремниевые лезвия для хирургического и нехирургического применения Download PDF

Info

Publication number
RU2006112594A
RU2006112594A RU2006112594/02A RU2006112594A RU2006112594A RU 2006112594 A RU2006112594 A RU 2006112594A RU 2006112594/02 A RU2006112594/02 A RU 2006112594/02A RU 2006112594 A RU2006112594 A RU 2006112594A RU 2006112594 A RU2006112594 A RU 2006112594A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plate
cutting device
crystalline material
silicon
bevel
Prior art date
Application number
RU2006112594/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2363771C2 (ru
Inventor
Вадим М. ДАСКАЛ (US)
Вадим М. ДАСКАЛ
Джозеф Ф. КИНАН (US)
Джозеф Ф. КИНАН
Джеймс Дж. ХЬЮЗ (US)
Джеймс Дж. ХЬЮЗ
Аттила Н. КИСС (US)
Аттила Н. КИСС
Сьюсан М. ЧАВЕС (US)
Сьюсан М. ЧАВЕС
Original Assignee
Бектон, Дикинсон Энд Компани (Us)
Бектон, Дикинсон Энд Компани
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Бектон, Дикинсон Энд Компани (Us), Бектон, Дикинсон Энд Компани filed Critical Бектон, Дикинсон Энд Компани (Us)
Publication of RU2006112594A publication Critical patent/RU2006112594A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2363771C2 publication Critical patent/RU2363771C2/ru

Links

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B17/00—Surgical instruments, devices or methods, e.g. tourniquets
    • A61B17/32—Surgical cutting instruments
    • A61B17/3209—Incision instruments
    • A61B17/3211—Surgical scalpels, knives; Accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0075—Manufacture of substrate-free structures
    • B81C99/0095—Aspects relating to the manufacture of substrate-free structures, not covered by groups B81C99/008 - B81C99/009
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B17/00—Surgical instruments, devices or methods, e.g. tourniquets
    • A61B2017/00526—Methods of manufacturing
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B17/00—Surgical instruments, devices or methods, e.g. tourniquets
    • A61B2017/00831—Material properties
    • A61B2017/0088—Material properties ceramic
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00—Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007—Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/013—Instruments for compensation of ocular refraction ; Instruments for use in cornea removal, for reshaping or performing incisions in the cornea
    • A61F9/0133—Knives or scalpels specially adapted therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Claims (57)

1. Способ изготовления по меньшей мере одного режущего устройства из пластинки из кристаллического материала, заключающийся в том, что обрабатывают первую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней первый профиль лезвия со скосом, образующим режущую кромку по меньшей мере одного режущего устройства, и расположенным рядом с ним вторым скосом, обрабатывают вторую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней второй профиль лезвия с проходящим вдоль первого скоса третьим скосом режущей кромки по меньшей мере одного режущего устройства и расположенным рядом с третьим скосом четвертым скосом, и пластинку из кристаллического материала подвергают травлению, получая из нее по меньшей мере одно режущее устройство.
2. Способ по п.1, в котором после травления режущее устройство отделяют от остальной части пластинки из кристаллического материала.
3. Способ по п.1, в котором во время травления получают наклоненный к плоскости пластинки под первым углом скос режущей кромки и наклоненный к плоскости пластинки под вторым углом скос режущей кромки.
4. Способ по п.1, в котором при обработке первой стороны пластинки из кристаллического материала и выполнении в ней первого скоса получают наклоненный к плоскости пластинки под первым углом первый скос режущей кромки и наклоненный к плоскости пластинки под вторым углом второй скос режущей кромки.
5. Способ по п.1, в котором при обработке первой стороны пластинки из кристаллического материала и выполнении в ней второго скоса получают наклоненный к плоскости пластинки под первым углом третий скос режущей кромки и наклоненный к плоскости пластинки под вторым углом четвертый скос режущей кромки.
6. Способ по п.1, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят покрытие.
7. Способ по п.6, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, нитрид бора и алмазоподобные кристаллы.
8. Способ по п.1, в котором после обработки пластинки из кристаллического материала на ее первую сторону наносят покрытие и перед травлением пластинку из кристаллического материала переворачивают и помещают ее первой стороной на установочное приспособление.
9. Способ по п.8, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, нитрид бора и алмазоподобные кристаллы.
10. Способ по п.1, в котором кристаллический материал представляет собой кремний.
11. Режущее устройство, изготовленное способом по п.1.
12. Способ по п.1, в котором поверхностный слой по меньшей мере одного режущего устройства подвергают преобразованию с получением слоя нового соединения.
13. Способ изготовления по меньшей мере одного режущего устройства из пластинки из кристаллического материала, заключающийся в том, что обрабатывают первую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней первый переменный профиль лезвия с первым скосом первой режущей кромки режущего устройства, угол наклона какового скоса к плоскости пластинки меняется от первого угла у вершины режущего устройства до второго угла на первом расстоянии от вершины режущего устройства, первая режущая кромка которого образована участком первого профиля лезвия, идущим от вершины режущего устройства под третьим углом к центральной оси режущего устройства, обрабатывают первую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней второй переменный профиль лезвия со вторым скосом второй режущей кромки режущего устройства, угол наклона какового скоса к плоскости пластинки меняется от первого угла у вершины режущего устройства до второго угла на первом расстоянии от вершины режущего устройства, вторая режущая кромка которого образована участком первого профиля лезвия, идущим от вершины режущего устройства под третьим углом к центральной оси режущего устройства до точки, расположенной по существу прямо против точки, в которой заканчивается первый профиль лезвия, обрабатывают вторую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней третий переменный профиль лезвия с третьим скосом первой режущей кромки режущего устройства, угол наклона какового скоса к плоскости пластинки меняется от первого угла у вершины режущего устройства до второго угла на первом расстоянии от вершины режущего устройства, первая режущая кромка которого образована участком третьего переменного профиля лезвия, идущим от вершины режущего устройства под третьим углом к центральной оси режущего устройства до точки, расположенной непосредственно под точкой, где заканчивается первый переменный профиль лезвия, обрабатывают вторую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней четвертый переменный профиль лезвия с четвертым скосом второй режущей кромки режущего устройства, угол наклона какового скоса к плоскости пластинки меняется от первого угла у вершины режущего устройства до второго угла на первом расстоянии от вершины режущего устройства, вторая режущая кромка которого образована участком четвертого переменного профиля лезвия, идущим от вершины режущего устройства под третьим углом к центральной оси режущего устройства до точки, расположенной непосредственно под точкой, где заканчивается к второй переменный профиль лезвия, и пластинку из кристаллического материала подвергают травлению, получая из нее по меньшей мере одно режущее устройство.
14. Способ по п.13, в котором после травления режущее устройство отделяют от остальной части пластинки из кристаллического материала.
15. Способ по п.13, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят покрытие.
16. Способ по п.15, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, нитрид бора и алмазоподобные кристаллы.
17. Способ по п.13, в котором после обработки пластинки из кристаллического материала на ее первую сторону наносят покрытие и перед травлением пластинку из кристаллического материала переворачивают и помещают ее первой стороной на установочное приспособление.
18. Способ по п.17, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, нитрид бора и алмазоподобные кристаллы.
19. Способ по п.13, в котором кристаллическим материалом является кремний.
20. Режущее устройство, изготовленное способом по п.13.
21. Способ по п.13, в котором поверхностный слой по меньшей мере одного режущего устройства подвергают преобразованию с получением слоя нового соединения.
22. Способ изготовления по меньшей мере одного режущего устройства из пластинки из кристаллического материала, заключающийся в том, что обрабатывают первую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней первый профиль лезвия с первым скосом первой режущей кромки режущего устройства, которая образована участком первого профиля лезвия, идущим от вершины режущего устройства на первое расстояние под первым углом к центральной оси режущего устройства; обрабатывают первую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней второй профиль лезвия со вторым скосом второй режущей кромки режущего устройства, которая образована участком первого профиля лезвия, идущим от вершины режущего устройства на первое расстояние под первым углом к центральной оси режущего устройства, и пластинку из кристаллического материала подвергают травлению, получая из нее по меньшей мере одно режущее устройство.
23. Способ по п.22, в котором после травления режущее устройство отделяют от остальной части пластинки из кристаллического материала.
24. Способ по п.22, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят покрытие.
25. Способ по п.24, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, нитрид бора и алмазоподобные кристаллы.
26. Способ по п.22, в котором после обработки пластинки из кристаллического материала на ее первую сторону наносят покрытие и перед травлением пластинку из кремниевого материала переворачивают и помещают ее первой стороной на установочное приспособление.
27. Способ по п.26, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, карбид бора и алмазоподобные кристаллы.
28. Способ по п.22, в котором кристаллическим материалом является кремний.
29. Режущее устройство, изготовленное способом по п.22.
30. Способ по п.22, в котором поверхностный слой по меньшей мере одного режущего устройства подвергают преобразованию с получением слоя нового соединения.
31. Способ изготовления по меньшей мере одного режущего устройства из пластинки из кристаллического материала, заключающийся в том, что обрабатывают первую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней первый скос с режущей кромкой по меньшей мере одного режущего устройства, обрабатывают вторую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней вдоль первого скоса второй скос с режущей кромкой по меньшей мере одного режущего устройства, и пластинку из кристаллического материала подвергают травлению, получая из нее по меньшей мере одно режущее устройство.
32. Способ по п.31, в котором после травления режущее устройство отделяют от остальной части пластинки из кристаллического материала.
33. Способ по п.31, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят покрытие.
34. Способ по п.33, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, карбид бора и алмазоподобные кристаллы.
35. Способ по п.31, в котором после обработки пластинки из кристаллического материала на ее первую сторону наносят покрытие и перед травлением пластинку из кремниевого материала переворачивают и помещают ее первой стороной на установочное приспособление.
36. Способ по п.35, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, нитрид бора и алмазоподобные кристаллы.
37. Способ по п.31, в котором кристаллическим материалом является кремний.
38. Режущее устройство, изготовленное способом по п.31.
39. Способ по п.31, в котором поверхностный слой по меньшей мере одного режущего устройства подвергают преобразованию с получением слоя нового соединения.
40. Способ изготовления по меньшей мере одного режущего устройства из пластинки из кристаллического материала, заключающийся в том, что обрабатывают первую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней скос с режущей кромкой по меньшей мере одного режущего устройства, которая начинается в первой точке и проходит по дуге по существу постоянного радиуса до второй точки на первое угловое расстояние, и пластинку из кристаллического материала подвергают травлению, получая из нее по меньшей мере одно режущее устройство.
41. Способ по п.40, в котором после травления режущее устройство отделяют от остальной части пластинки из кристаллического материала.
42. Способ по п.40, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят покрытие.
43. Способ по п.42, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, нитрид бора и алмазоподобные кристаллы.
44. Способ по п.40, в котором после обработки пластинки из кристаллического материала на ее первую сторону наносят покрытие и перед травлением пластинку из кремниевого материала переворачивают и помещают ее первой стороной на установочное приспособление.
45. Способ по п.44, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, нитрид бора и алмазоподобные кристаллы.
46. Способ по п.40, в котором кристаллическим материалом является кремний.
47. Режущее устройство, изготовленное способом по п.40.
48. Способ по п.40, в котором поверхностный слой по меньшей мере одного режущего устройства подвергают преобразованию с получением слоя нового соединения.
49. Способ изготовления по меньшей мере одного режущего устройства из пластинки из кристаллического материала, заключающийся в том, что обрабатывают первую сторону пластинки из кристаллического материала, выполняя в ней скос с режущей кромкой по меньшей мере одного режущего устройства, которая начинается в первой точке и проходит под первым углом к центральной оси режущего устройства линейно на первое расстояние до второй точки и продолжается от второй точки до третьей точки по дуге по существу постоянного радиуса на первое угловое расстояние, а затем от третьей точки до четвертой точки под первым углом линейно на первое расстояние, и пластинку из кристаллического материала подвергают травлению, получая из нее по меньшей мере одно режущее устройство.
50. Способ по п.49, в котором после травления режущее устройство отделяют от остальной части пластинки из кристаллического материала.
51. Способ по п.49, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят покрытие.
52. Способ по п.51, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, нитрид бора и алмазоподобные кристаллы.
53. Способ по п.51, в котором после обработки пластинки из кристаллического материала на ее первую сторону наносят покрытие и перед травлением пластинку из кремниевого материала переворачивают и помещают ее первой стороной на установочное приспособление.
54. Способ по п.53, в котором на первую сторону обработанной пластинки из кристаллического материала наносят слой покрытия из материала, выбранного из группы, включающей нитрид кремния, нитрид титана, алюмонитрид титана, диоксид кремния, карбид кремния, карбид титана, нитрид бора и алмазоподобные кристаллы.
55. Способ по п.49, в котором кристаллическим материалом является кремний.
56. Режущее устройство, изготовленное способом по п.49.
57. Способ по п.49, в котором поверхностный слой по меньшей мере одного режущего устройства подвергают преобразованию с получением слоя нового соединения.
RU2006112594/02A 2003-09-17 2004-09-17 Кремниевые лезвия для хирургического и нехирургического применения RU2363771C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US50345903P 2003-09-17 2003-09-17
US60/503,459 2003-09-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006112594A true RU2006112594A (ru) 2007-11-10
RU2363771C2 RU2363771C2 (ru) 2009-08-10

Family

ID=34375356

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006112594/02A RU2363771C2 (ru) 2003-09-17 2004-09-17 Кремниевые лезвия для хирургического и нехирургического применения

Country Status (7)

Country Link
EP (1) EP1664384A4 (ru)
JP (1) JP2007505706A (ru)
CN (2) CN1863940B (ru)
CA (1) CA2538164A1 (ru)
MX (1) MXPA06002875A (ru)
RU (1) RU2363771C2 (ru)
WO (1) WO2005027729A2 (ru)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008136410A1 (ja) * 2007-04-27 2008-11-13 Mani, Inc. 剥離用ナイフ
JP5221916B2 (ja) * 2007-09-05 2013-06-26 株式会社貝印刃物開発センター 手術用刃物
CN101804552B (zh) * 2010-03-19 2011-06-15 浙江省金华市科迪仪器设备有限公司 病理一次性刀片的制造方法
JP2011198765A (ja) * 2011-05-20 2011-10-06 Dainippon Printing Co Ltd 金属箔シート
RU2483684C1 (ru) * 2011-12-28 2013-06-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт физических проблем имени Ф.В. Лукина" Лезвие офтальмохирургическое
RU2484781C1 (ru) * 2011-12-28 2013-06-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт физических проблем имени Ф.В. Лукина" Лезвие офтальмохирургическое
US9808944B2 (en) * 2014-06-17 2017-11-07 The Gillette Company Llc Methods of manufacturing silicon blades for shaving razors
RU2607280C2 (ru) * 2014-12-25 2017-01-10 Юрий Иванович Петров Хирургические ножницы
RU2602931C1 (ru) * 2015-07-22 2016-11-20 Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" Способ изготовления микрохирургического лезвия
KR101725733B1 (ko) * 2016-07-12 2017-04-11 엘지디스플레이 주식회사 기판 가공 장치 및 이를 이용한 표시장치
CN106175879B (zh) * 2016-08-31 2018-08-07 易波 末端多自由度超声刀
RU2703624C2 (ru) * 2017-11-10 2019-10-21 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) Коаксиальные регулярные нано-мезоструктуры, способ их получения и способ получения микрокапсул из этих структур

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0191203A3 (en) * 1985-01-16 1988-02-17 Jerome Hal Lemelson Cutting tool structures, apparatus and method for making same
US5056227A (en) * 1990-03-19 1991-10-15 The Gillette Company Razor blade technology
US5317938A (en) * 1992-01-16 1994-06-07 Duke University Method for making microstructural surgical instruments
US5579583A (en) * 1992-09-22 1996-12-03 Micromed, Incorporated Microfabricated blades
DE4413352C1 (de) * 1994-04-18 1995-05-04 Braun Ag Verfahren zur Herstellung eines Messers für eine Schneideinrichtung eines elektrischen Rasierapparates oder Bartschneiders
US5619889A (en) * 1994-10-11 1997-04-15 Fed Corporation Method of making microstructural surgical instruments
US5842387A (en) * 1994-11-07 1998-12-01 Marcus; Robert B. Knife blades having ultra-sharp cutting edges and methods of fabrication
GB9909463D0 (en) * 1999-04-23 1999-06-23 Gillette Co Safety razors
IL138710A0 (en) * 1999-10-15 2001-10-31 Newman Martin H Atomically sharp edge cutting blades and method for making same
US6615496B1 (en) * 2000-05-04 2003-09-09 Sandia Corporation Micromachined cutting blade formed from {211}-oriented silicon
JP4113432B2 (ja) * 2000-12-28 2008-07-09 株式会社塚谷刃物製作所 フレキシブルダイの製造方法
JP4373795B2 (ja) * 2002-03-11 2009-11-25 ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニー 外科用ブレードの製造のためのシステム及び方法
JP2004141360A (ja) * 2002-10-23 2004-05-20 Mitsuchika Saito 単結晶材料刃、単結晶材料刃を備えた刃物および単結晶材料刃の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
RU2363771C2 (ru) 2009-08-10
CA2538164A1 (en) 2005-03-31
AU2004273978A1 (en) 2005-03-31
MXPA06002875A (es) 2006-06-05
JP2007505706A (ja) 2007-03-15
CN101904766A (zh) 2010-12-08
CN1863940A (zh) 2006-11-15
WO2005027729A2 (en) 2005-03-31
CN1863940B (zh) 2010-08-18
EP1664384A2 (en) 2006-06-07
EP1664384A4 (en) 2010-04-28
WO2005027729A3 (en) 2005-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2006112594A (ru) Кремниевые лезвия для хирургического и нехирургического применения
RU2314905C2 (ru) Способ изготовления хирургических лезвий (варианты)
JP7320130B2 (ja) 緩和された正の湾曲を有する炭化ケイ素ウェーハを処理するための方法
EP1092515B1 (en) Methods for making atomically sharp edged cutting blades.
JP2005519703A5 (ru)
EP1580885A1 (en) Surface acoustic wave device and process for fabricating the same
EP1255280A3 (en) Apparatus and method for dicing semiconductor wafers
KR20180094798A (ko) SiC 웨이퍼의 생성 방법
CN107438581A (zh) 用于低损耗地制造多组分晶片的方法
JP6501273B2 (ja) 基板処理の方法
TWI791531B (zh) 電漿蝕刻及電漿切割方法
RU2008144966A (ru) Лопасти вентилятора
US6652648B2 (en) Method for fabricating GaN single crystal substrate
US6561177B2 (en) Wafer dicing blade consisting of multiple layers
US20180174908A1 (en) Manufacturing process of element chip
JP2007505706A5 (ru)
JP2024014982A (ja) 亀裂低減に最適な格子面配向を持つＳｉＣ結晶基板およびその製造方法
CN109722713A (zh) 一种新型金刚石衬底结构、切割工艺及其用途
JP3540936B2 (ja) 真空容器
CN111801771A (zh) 半导体单晶锭的切片方法
US6612300B2 (en) Cutting method for hard, brittle materials
JPH08259392A (ja) 自立ダイヤモンドフイルム製造用の装置と製造方法
JP7277782B2 (ja) 半導体素子の製造方法
TW202145438A (zh) 製造基板的方法以及用於製造基板的系統
JP3034101U (ja) 回転刃及び回転工具

Legal Events

Date Code Title Description
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20110718

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170918