RU2004135815A - Узел датчика давления - Google Patents

Узел датчика давления Download PDF

Info

Publication number
RU2004135815A
RU2004135815A RU2004135815/28A RU2004135815A RU2004135815A RU 2004135815 A RU2004135815 A RU 2004135815A RU 2004135815/28 A RU2004135815/28 A RU 2004135815/28A RU 2004135815 A RU2004135815 A RU 2004135815A RU 2004135815 A RU2004135815 A RU 2004135815A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pressure sensor
assembly
elongated
node according
protective element
Prior art date
Application number
RU2004135815/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2313072C2 (ru
Inventor
Фред К. СИТТЛЕР (US)
Фред К. СИТТЛЕР
Кристина А. НОРД (US)
Кристина А. НОРД
Марк Дж. РОМО (US)
Марк Дж. РОМО
Original Assignee
Роузмаунт Инк. (US)
Роузмаунт Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роузмаунт Инк. (US), Роузмаунт Инк. filed Critical Роузмаунт Инк. (US)
Publication of RU2004135815A publication Critical patent/RU2004135815A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2313072C2 publication Critical patent/RU2313072C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)

Claims (27)

1. Узел датчика давления, выполненный с формой, обеспечивающей возможность измерения давления рабочей текучей среды, содержащий удлиненный датчик давления, имеющий проксимальный соединительный конец и дистальный конец для измерения давления, блок для установки датчика, имеющий первую сторону, противоположную вторую сторону и отверстие, проходящее между ними, причем удлиненный датчик давления проходит через отверстие, герметичное соединение между установочным блоком и удлиненным датчиком давления, и защитный элемент, выполненный в соответствии с удлиненным датчиком давления и герметичным соединением, который закрывает герметичное соединение и, по меньшей мере, части удлиненного датчика давления для предотвращения коррозии соединения вследствие контакта с рабочей текучей средой, причем защитный элемент выполнен с формой, обеспечивающей возможность передачи приложенного давления датчику давления.
2. Узел по п.1, в котором защитный элемент содержит отформованный материал.
3. Узел по п.2, в котором отформованный материал подвергается механической обработке для его соответствия удлиненному датчику давления.
4. Узел по п.1, в котором защитный элемент содержит политетрафторэтилен (ПТФЭ).
5. Узел по п.1, в котором защитный элемент содержит металлическую фольгу.
6. Узел по п.1, в котором защитный элемент содержит напрессованный металлический слой.
7. Узел по п.1, в котором защитный элемент содержит материал, выбранный из группы материалов, состоящей из металла, политетрафторэтилена, полиэталинов, полипропелинов, хромоникелевого сплава и Хастеллоя.
8. Узел по п.1, в котором защитный элемент включает слой металла с электролитическим покрытием поверх защитного элемента.
9. Узел по п.1, в котором защитный элемент содержит оболочку, выполненную с конфигурацией, обеспечивающей возможность размещения в ней удлиненного датчика давления.
10. Узел по п.9, включающий набивочный материал между оболочкой и удлиненным датчиком давления.
11. Узел по п.9, включающий сварной шов, который соединяет оболочку с блоком для установки датчика.
12. Узел по п.9, в котором оболочка герметично присоединена посредством разрежения.
13. Узел датчика давления, выполненный с формой, обеспечивающей возможность измерения давления рабочей текучей среды, содержащий коррозионно-стойкий установочный блок, удлиненный датчик давления, причем датчик давления имеет проксимальный соединительный конец и дистальный конец для измерения давления, удлиненную оболочку, выполненную в соответствии с удлиненным датчиком давления из коррозионно-стойкого материала, открытую на проксимальном конце и закрытую на дистальном конце, в которой размещен удлиненный датчик давления, причем оболочка в основном соответствует форме датчика давления для предотвращения контакта удлиненного датчика давления с рабочей текучей средой и выполнена с формой, обеспечивающей возможность передачи приложенного давления датчику давления, набивочный материал между оболочкой и датчиком давления, причем набивочный материал имеет форму, обеспечивающую возможность передачи давления, приложенного к оболочке, датчику давления, и соединение, соединяющее удлиненную оболочку с установочным блоком, причем соединение выполнено из коррозионно-стойкого материала.
14. Узел по п.13, в котором соединение содержит сварной шов.
15. Узел по п.13, в котором набивочный материал включает металлический порошок.
16. Узел по п.15, в котором металлический порошок находится в уплотненном состоянии.
17. Узел по п.15, в котором металлический порошок является спеченным.
18. Узел по п.13, в котором набивочный материал герметизирует оболочку.
19. Узел по п.13, включающий крышку с формой, обеспечивающей возможность герметизации набивочного материала в оболочке.
20. Узел по п.13, в котором набивочный материал включает связующее.
21. Узел по п.13, в котором удлиненная оболочка выбрана из материала, выбранного из группы материалов, состоящей из металла, политетрафторэтилена, полиэталинов, полипропелинов, хромоникелевого сплава и Хастеллоя.
22. Узел по п.13, в котором набивочный материал включает керамический порошок.
23. Узел по п.22, в котором керамический порошок находится в уплотненном состоянии.
24. Узел по п.22, в котором керамический порошок является спеченным.
25. Узел по п.13, в котором набивочный материал включает порошкообразный диэлектрик.
26. Узел по п.25, в котором порошкообразный диэлектрик находится в уплотненном состоянии.
27. Узел по п.25, в котором порошкообразный диэлектрик является спеченным.
RU2004135815/28A 2002-05-08 2003-04-17 Узел датчика давления (варианты) RU2313072C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/142,011 2002-05-08
US10/142,011 US6848316B2 (en) 2002-05-08 2002-05-08 Pressure sensor assembly

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2004135815A true RU2004135815A (ru) 2005-05-27
RU2313072C2 RU2313072C2 (ru) 2007-12-20

Family

ID=29399787

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004135815/28A RU2313072C2 (ru) 2002-05-08 2003-04-17 Узел датчика давления (варианты)

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6848316B2 (ru)
JP (1) JP2005524847A (ru)
CN (1) CN1323288C (ru)
AU (1) AU2003221980A1 (ru)
DE (1) DE10392623B4 (ru)
RU (1) RU2313072C2 (ru)
WO (1) WO2003095962A1 (ru)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7392706B2 (en) * 2003-11-27 2008-07-01 Kyocera Corporation Pressure sensor device
CN100485336C (zh) * 2004-09-29 2009-05-06 罗斯蒙德公司 具有改进的过程适配器的压力变送器
US20060105682A1 (en) * 2004-10-01 2006-05-18 John Bowman System and method for monitoring and/or controlling a flow of a media
JP5676100B2 (ja) * 2006-04-25 2015-02-25 ローズマウント インコーポレイテッド ニアネットシェイプ焼結セラミックを用いた圧力センサ
US20090166319A1 (en) * 2006-07-20 2009-07-02 Daniel Courboin System and Method for Performing High Flow Rate Dispensation of a Chemical onto a Photolithographic Component
JP5541208B2 (ja) * 2011-03-24 2014-07-09 株式会社デンソー 力学量センサ
US9010191B2 (en) 2011-12-22 2015-04-21 Rosemount Inc. Pressure sensor module for sub-sea applications
CA2866380C (en) 2012-03-06 2017-01-17 Rosemount, Inc. Remote seal pressure measurement system for subsea use
US9442031B2 (en) 2013-06-28 2016-09-13 Rosemount Inc. High integrity process fluid pressure probe
US9689769B2 (en) * 2013-07-19 2017-06-27 Rosemount Inc. Pressure transmitter having an isolation assembly with a two-piece isolator plug
US9459170B2 (en) 2013-09-26 2016-10-04 Rosemount Inc. Process fluid pressure sensing assembly for pressure transmitters subjected to high working pressure
US9234776B2 (en) 2013-09-26 2016-01-12 Rosemount Inc. Multivariable process fluid transmitter for high pressure applications
US10260980B2 (en) 2013-09-27 2019-04-16 Rosemount Inc. Pressure sensor with mineral insulated cable
US9222815B2 (en) 2013-12-30 2015-12-29 Rosemount Inc. Wafer style insertable magnetic flowmeter with collapsible petals
US10107700B2 (en) 2014-03-24 2018-10-23 Rosemount Inc. Process variable transmitter with process variable sensor carried by process gasket
US9638600B2 (en) 2014-09-30 2017-05-02 Rosemount Inc. Electrical interconnect for pressure sensor in a process variable transmitter
JP6384405B2 (ja) * 2015-06-03 2018-09-05 株式会社デンソー センサ装置
US10598559B2 (en) 2017-06-29 2020-03-24 Rosemount Inc. Pressure sensor assembly
FR3079610B1 (fr) * 2018-03-30 2020-03-20 Mgi Coutier Dispositif de mesure d'un parametre physique d'un fluide d'un circuit de vehicule automobile

Family Cites Families (165)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3239827A (en) * 1960-01-12 1966-03-08 Rosemount Eng Co Ltd High precision pressure standard
US3079576A (en) * 1961-02-01 1963-02-26 Rosemount Eng Co Ltd Integral strain transducer
US3147085A (en) 1961-09-14 1964-09-01 Gen Electric Apparatus for growing whiskers
NL281412A (ru) * 1962-07-25
NL6411121A (ru) 1964-09-24 1966-03-25
US3356963A (en) 1966-06-23 1967-12-05 Willard E Buck Fused quartz motion sensitive transducer
US3405559A (en) 1966-11-07 1968-10-15 United Aircraft Corp Pressure transducer
US3750476A (en) * 1967-09-25 1973-08-07 Bissett Berman Corp Pressure transducer
US3589965A (en) * 1968-11-27 1971-06-29 Mallory & Co Inc P R Bonding an insulator to an insulator
USRE28798E (en) 1969-12-31 1976-05-04 Western Electric Co., Inc. Methods of and apparatus for aligning and bonding workpieces
US3696985A (en) 1969-12-31 1972-10-10 Western Electric Co Methods of and apparatus for aligning and bonding workpieces
US3743552A (en) * 1970-01-30 1973-07-03 North American Rockwell Process for coplanar semiconductor structure
US3645137A (en) * 1970-04-16 1972-02-29 Bendix Corp Quartz pressure sensor
IL38468A (en) * 1971-02-02 1974-11-29 Hughes Aircraft Co Electrical resistance device and its production
US3962921A (en) * 1972-02-04 1976-06-15 The Garrett Corporation Compensated pressure transducer
US3766634A (en) 1972-04-20 1973-10-23 Gen Electric Method of direct bonding metals to non-metallic substrates
US3854892A (en) 1972-04-20 1974-12-17 Gen Electric Direct bonding of metals with a metal-gas eutectic
US3744120A (en) * 1972-04-20 1973-07-10 Gen Electric Direct bonding of metals with a metal-gas eutectic
US3899878A (en) 1972-07-19 1975-08-19 Int Harvester Co Apparatus for indicating gas temperatures
US3939559A (en) * 1972-10-03 1976-02-24 Western Electric Company, Inc. Methods of solid-phase bonding mating members through an interposed pre-shaped compliant medium
US3834604A (en) 1972-10-03 1974-09-10 Western Electric Co Apparatus for solid-phase bonding mating members through an interposed pre-shaped compliant medium
US3858097A (en) 1973-12-26 1974-12-31 Bendix Corp Pressure-sensing capacitor
DE2605756A1 (de) * 1975-03-13 1976-09-23 Exxon Nuclear Co Inc Druckmesseinrichtung
US3994430A (en) 1975-07-30 1976-11-30 General Electric Company Direct bonding of metals to ceramics and metals
US4177496A (en) 1976-03-12 1979-12-04 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4426673A (en) * 1976-03-12 1984-01-17 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer and method of making same
US4084438A (en) * 1976-03-29 1978-04-18 Setra Systems, Inc. Capacitive pressure sensing device
US4018374A (en) * 1976-06-01 1977-04-19 Ford Aerospace & Communications Corporation Method for forming a bond between sapphire and glass
US4064549A (en) 1976-08-31 1977-12-20 Metrolology General Corporation Cylindrical capacitive quartz transducer
US4158217A (en) * 1976-12-02 1979-06-12 Kaylico Corporation Capacitive pressure transducer with improved electrode
US4128006A (en) 1976-12-13 1978-12-05 Bunker Ramo Corporation Packaging of pressure sensor cells
US4127840A (en) 1977-02-22 1978-11-28 Conrac Corporation Solid state force transducer
US4078711A (en) * 1977-04-14 1978-03-14 Rockwell International Corporation Metallurgical method for die attaching silicon on sapphire devices to obtain heat resistant bond
US4202217A (en) * 1977-12-12 1980-05-13 Kulite Semiconductor Products, Inc. Semiconductor transducers employing flat bondable surfaces with buried contact areas
US4208782A (en) * 1977-12-12 1980-06-24 Kulite Semiconductor Products, Inc. Methods of fabricating transducers employing flat bondable surfaces with buried contact areas
JPS5516228A (en) * 1978-07-21 1980-02-04 Hitachi Ltd Capacity type sensor
US4196632A (en) * 1978-08-14 1980-04-08 The Boeing Company Dual capacitance type bonded pressure transducer
US4278195A (en) * 1978-12-01 1981-07-14 Honeywell Inc. Method for low temperature bonding of silicon and silicon on sapphire and spinel to nickel and nickel steel and apparatus using such _a bonding technique
US4274125A (en) * 1979-01-23 1981-06-16 The Bendix Corporation Temperature compensated capacitance pressure transducer
JPS5937716Y2 (ja) 1979-01-31 1984-10-19 日産自動車株式会社 半導体差圧センサ
JPS5817421B2 (ja) * 1979-02-02 1983-04-07 日産自動車株式会社 半導体圧力センサ
US4236137A (en) 1979-03-19 1980-11-25 Kulite Semiconductor Products, Inc. Semiconductor transducers employing flexure frames
US4216404A (en) 1979-04-12 1980-08-05 Kulite Semiconductor Products Inc. Housing and lead arrangements for electromechanical transducers
US4222277A (en) 1979-08-13 1980-09-16 Kulite Semiconductor Products, Inc. Media compatible pressure transducer
US4301492A (en) 1980-01-28 1981-11-17 Paquin Maurice J Pressure-sensing transducer
JPS56129831A (en) * 1980-03-17 1981-10-12 Yokogawa Hokushin Electric Corp Pressure converter
DE3015356A1 (de) 1980-04-22 1981-10-29 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Freitragende schichten sowie verfahren zur herstellung freitragender schichten, insbesondere fuer sensoren fuer brennkraftmaschinen
DE3030765C2 (de) 1980-08-14 1985-09-26 Friedrich Grohe Armaturenfabrik Gmbh & Co, 5870 Hemer Elektronisch geregeltes Mischventil
US4419142A (en) 1980-10-24 1983-12-06 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Method of forming dielectric isolation of device regions
SE436936B (sv) * 1981-01-29 1985-01-28 Asea Ab Integrerad kapacitiv givare
US4422335A (en) 1981-03-25 1983-12-27 The Bendix Corporation Pressure transducer
US4443293A (en) * 1981-04-20 1984-04-17 Kulite Semiconductor Products, Inc. Method of fabricating transducer structure employing vertically walled diaphragms with quasi rectangular active areas
US4359498A (en) 1981-04-20 1982-11-16 Kulite Semiconductor Products, Inc. Transducer structure employing vertically walled diaphragms with quasi rectangular active areas
WO1982003914A1 (en) * 1981-05-07 1982-11-11 Taniuchi Tetsuo A temperature detector
US4389895A (en) * 1981-07-27 1983-06-28 Rosemount Inc. Capacitance pressure sensor
US4456901A (en) * 1981-08-31 1984-06-26 Kulite Semiconductor Products, Inc. Dielectrically isolated transducer employing single crystal strain gages
US4412203A (en) 1981-09-10 1983-10-25 Kulite Semiconductor Products, Inc. Housing and interconnection assembly for a pressure transducer
JPS5855732A (ja) * 1981-09-30 1983-04-02 Hitachi Ltd 静電容量型圧力センサ
US4454765A (en) * 1981-11-03 1984-06-19 Lodge Arthur S Extended range pressure transducers
GB2109099B (en) * 1981-11-05 1985-07-24 Glaverbel Composite refractory articles and method of manufacturing them
US4416156A (en) 1981-12-23 1983-11-22 Honeywell Inc. High pressure electrical feedthru
NL8201222A (nl) 1982-03-24 1983-10-17 Philips Nv Verstembare fabry-perot interferometer en roentgenbeeldweergeefinrichting voorzien van een dergelijke interferometer.
US4422125A (en) 1982-05-21 1983-12-20 The Bendix Corporation Pressure transducer with an invariable reference capacitor
US4424713A (en) * 1982-06-11 1984-01-10 General Signal Corporation Silicon diaphragm capacitive pressure transducer
US4535219A (en) 1982-10-12 1985-08-13 Xerox Corporation Interfacial blister bonding for microinterconnections
US5007841A (en) * 1983-05-31 1991-04-16 Trw Inc. Integrated-circuit chip interconnection system
US4479070A (en) 1983-06-10 1984-10-23 Sperry Corporation Vibrating quartz diaphragm pressure sensor
DE3324661A1 (de) * 1983-07-08 1985-01-17 Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim Verfahren zum direkten verbinden von metall mit keramik
US4517622A (en) * 1983-08-29 1985-05-14 United Technologies Corporation Capacitive pressure transducer signal conditioning circuit
US4507973A (en) * 1983-08-31 1985-04-02 Borg-Warner Corporation Housing for capacitive pressure sensor
US4539061A (en) 1983-09-07 1985-09-03 Yeda Research And Development Co., Ltd. Process for the production of built-up films by the stepwise adsorption of individual monolayers
NL8303109A (nl) * 1983-09-08 1985-04-01 Philips Nv Werkwijze voor het aan elkaar bevestigen van twee delen.
US4572000A (en) * 1983-12-09 1986-02-25 Rosemount Inc. Pressure sensor with a substantially flat overpressure stop for the measuring diaphragm
GB8401848D0 (en) 1984-01-24 1984-02-29 Carter R E Pressure transducer
US4525766A (en) * 1984-01-25 1985-06-25 Transensory Devices, Inc. Method and apparatus for forming hermetically sealed electrical feedthrough conductors
FI74350C (fi) 1984-02-21 1988-01-11 Vaisala Oy Kapacitiv absoluttryckgivare.
US4542436A (en) 1984-04-10 1985-09-17 Johnson Service Company Linearized capacitive pressure transducer
JPS6154227U (ru) * 1984-09-13 1986-04-11
FI75426C (fi) 1984-10-11 1988-06-09 Vaisala Oy Absoluttryckgivare.
JPH063429B2 (ja) * 1984-10-18 1994-01-12 日本碍子株式会社 酸素センサ
JPS61142759A (ja) * 1984-12-14 1986-06-30 Ngk Spark Plug Co Ltd Ｉｃパツケ−ジ用基板
US4780572A (en) 1985-03-04 1988-10-25 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Device for mounting semiconductors
US4586109A (en) * 1985-04-01 1986-04-29 Bourns Instruments, Inc. Batch-process silicon capacitive pressure sensor
US4764747A (en) 1985-06-19 1988-08-16 Kulite Semiconductor Products, Inc. Glass header structure for a semiconductor pressure transducer
NL8501773A (nl) * 1985-06-20 1987-01-16 Philips Nv Werkwijze voor het vervaardigen van halfgeleiderinrichtingen.
US4689999A (en) 1985-07-26 1987-09-01 The Garrett Corporation Temperature compensated pressure transducer
NL8600216A (nl) * 1986-01-30 1987-08-17 Philips Nv Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
JPH0654272B2 (ja) * 1986-02-18 1994-07-20 株式会社共和電業 物理量−電気量変換器および高温用流量計
US4716492A (en) 1986-05-05 1987-12-29 Texas Instruments Incorporated Pressure sensor with improved capacitive pressure transducer
DE3616308C2 (de) * 1986-05-14 1995-09-21 Bosch Gmbh Robert Sensor
US4703658A (en) 1986-06-18 1987-11-03 Motorola, Inc. Pressure sensor assembly
US4800758A (en) * 1986-06-23 1989-01-31 Rosemount Inc. Pressure transducer with stress isolation for hard mounting
US4769882A (en) 1986-10-22 1988-09-13 The Singer Company Method for making piezoelectric sensing elements with gold-germanium bonding layers
US4773972A (en) 1986-10-30 1988-09-27 Ford Motor Company Method of making silicon capacitive pressure sensor with glass layer between silicon wafers
US5113868A (en) * 1987-06-01 1992-05-19 The Regents Of The University Of Michigan Ultraminiature pressure sensor with addressable read-out circuit
US4754365A (en) * 1987-06-15 1988-06-28 Fischer & Porter Company Differential pressure transducer
GB8718639D0 (en) * 1987-08-06 1987-09-09 Spectrol Reliance Ltd Capacitive pressure sensors
GB8718637D0 (en) * 1987-08-06 1987-09-09 Spectrol Reliance Ltd Sealing electrical feedthrough
US4774196A (en) 1987-08-25 1988-09-27 Siliconix Incorporated Method of bonding semiconductor wafers
US4852408A (en) 1987-09-03 1989-08-01 Scott Fetzer Company Stop for integrated circuit diaphragm
US4875368A (en) 1987-09-08 1989-10-24 Panex Corporation Pressure sensor system
US4929893A (en) * 1987-10-06 1990-05-29 Canon Kabushiki Kaisha Wafer prober
US4857130A (en) 1987-12-03 1989-08-15 Hughes Aircraft Company Temperature stable optical bonding method and apparatus obtained thereby
US4806783A (en) * 1988-02-25 1989-02-21 Transducer Technologies Inc. Transducer circuit
DE3811047A1 (de) * 1988-03-31 1989-10-12 Draegerwerk Ag Fuehler zur kapazitiven messung des druckes in gasen
DE3811311C1 (ru) * 1988-04-02 1989-03-09 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
US4994781A (en) * 1988-04-07 1991-02-19 Sahagen Armen N Pressure sensing transducer employing piezoresistive elements on sapphire
NL8800953A (nl) * 1988-04-13 1989-11-01 Philips Nv Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderlichaam.
JPH01284727A (ja) * 1988-05-11 1989-11-16 Toyota Autom Loom Works Ltd 半導体圧力センサ
US5197892A (en) * 1988-05-31 1993-03-30 Canon Kabushiki Kaisha Electric circuit device having an electric connecting member and electric circuit components
JPH02124800A (ja) * 1988-07-04 1990-05-14 Hiroaki Aoshima 一体同化した合成コランダムの単結晶構造体の製造方法
DE3901492A1 (de) * 1988-07-22 1990-01-25 Endress Hauser Gmbh Co Drucksensor und verfahren zu seiner herstellung
SE460396B (sv) * 1988-07-29 1989-10-09 Radisensor Ab Miniatyriserad givaranordning foer maetning av fysiologiska tryck in vivo
JPH0237322U (ru) * 1988-08-31 1990-03-12
US4879903A (en) 1988-09-02 1989-11-14 Nova Sensor Three part low cost sensor housing
FR2638524B1 (fr) * 1988-10-27 1994-10-28 Schlumberger Prospection Capteur de pression utilisable dans les puits de petrole
US4883215A (en) 1988-12-19 1989-11-28 Duke University Method for bubble-free bonding of silicon wafers
US5087124A (en) * 1989-05-09 1992-02-11 Smith Rosemary L Interferometric pressure sensor capable of high temperature operation and method of fabrication
US5201977A (en) * 1989-08-09 1993-04-13 Hiroaki Aoshima Process for producing structures from synthetic single-crystal pieces
US5001934A (en) * 1990-01-02 1991-03-26 Walbro Corporation Solid state pressure sensor
US5088329A (en) * 1990-05-07 1992-02-18 Sahagen Armen N Piezoresistive pressure transducer
US5084123A (en) * 1990-07-02 1992-01-28 Hughes Aircraft Company Temperature stable optical bonding method and apparatus
US5326726A (en) * 1990-08-17 1994-07-05 Analog Devices, Inc. Method for fabricating monolithic chip containing integrated circuitry and suspended microstructure
US5189916A (en) * 1990-08-24 1993-03-02 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Pressure sensor
JP2724419B2 (ja) * 1990-08-28 1998-03-09 日本特殊陶業株式会社 圧力センサ
JP2718563B2 (ja) * 1990-08-28 1998-02-25 日本特殊陶業株式会社 圧力検出器
US5123849A (en) * 1990-11-15 1992-06-23 Amp Incorporated Conductive gel area array connector
US5094109A (en) * 1990-12-06 1992-03-10 Rosemount Inc. Pressure transmitter with stress isolation depression
JPH04249729A (ja) * 1991-01-07 1992-09-04 Japan Electron Control Syst Co Ltd 圧力センサ
US5133215A (en) * 1991-06-19 1992-07-28 Honeywell Inc. Pressure transmitter assembly having sensor isolation mounting
US5178015A (en) * 1991-07-22 1993-01-12 Monolithic Sensors Inc. Silicon-on-silicon differential input sensors
US5319324A (en) * 1991-10-02 1994-06-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method of direct bonding of crystals and crystal devices
US5231301A (en) * 1991-10-02 1993-07-27 Lucas Novasensor Semiconductor sensor with piezoresistors and improved electrostatic structures
US5227068A (en) * 1991-10-25 1993-07-13 Eco-Soil Systems, Inc. Closed apparatus system for improving irrigation and method for its use
US5214563A (en) * 1991-12-31 1993-05-25 Compaq Computer Corporation Thermally reactive lead assembly and method for making same
FR2687777B1 (fr) * 1992-02-20 1994-05-20 Sextant Avionique Micro-capteur capacitif a faible capacite parasite et procede de fabrication.
US5287746A (en) * 1992-04-14 1994-02-22 Rosemount Inc. Modular transmitter with flame arresting header
JP2601128B2 (ja) * 1992-05-06 1997-04-16 松下電器産業株式会社 回路形成用基板の製造方法および回路形成用基板
US5189591A (en) * 1992-06-12 1993-02-23 Allied-Signal Inc. Aluminosilicate glass pressure transducer
US5294760A (en) * 1992-06-23 1994-03-15 The Regents Of The University Of California Digital pressure switch and method of fabrication
CA2142189A1 (en) * 1992-08-10 1994-02-17 Hilger A. Walter Adaptor for mounting a pressure sensor to a gas turbine housing
US5228862A (en) * 1992-08-31 1993-07-20 International Business Machines Corporation Fluid pressure actuated connector
US5332469A (en) * 1992-11-12 1994-07-26 Ford Motor Company Capacitive surface micromachined differential pressure sensor
US5314107A (en) * 1992-12-31 1994-05-24 Motorola, Inc. Automated method for joining wafers
US5483834A (en) * 1993-09-20 1996-01-16 Rosemount Inc. Suspended diaphragm pressure sensor
US5424650A (en) * 1993-09-24 1995-06-13 Rosemont Inc. Capacitive pressure sensor having circuitry for eliminating stray capacitance
DE4342890A1 (de) * 1993-12-16 1995-06-22 Mannesmann Kienzle Gmbh Verfahren zum Abdichten herstellprozeßbedingter Öffnungen an mikromechanischen Beschleunigungssensoren
JP3365028B2 (ja) * 1994-03-14 2003-01-08 株式会社デンソー 圧力検出装置
US5479827A (en) * 1994-10-07 1996-01-02 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Capacitive pressure sensor isolating electrodes from external environment
US5528452A (en) * 1994-11-22 1996-06-18 Case Western Reserve University Capacitive absolute pressure sensor
US5637802A (en) * 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
US5731522A (en) * 1997-03-14 1998-03-24 Rosemount Inc. Transmitter with isolation assembly for pressure sensor
JPH10253473A (ja) * 1997-03-12 1998-09-25 Tokai Rika Co Ltd 圧力センサ
US5808205A (en) * 1997-04-01 1998-09-15 Rosemount Inc. Eccentric capacitive pressure sensor
US6016702A (en) * 1997-09-08 2000-01-25 Cidra Corporation High sensitivity fiber optic pressure sensor for use in harsh environments
JP3429180B2 (ja) * 1998-01-28 2003-07-22 日本特殊陶業株式会社 酸素センサ
JPH11316166A (ja) * 1998-05-06 1999-11-16 Hitachi Ltd 半導体圧力センサ
JP3435369B2 (ja) * 1999-06-28 2003-08-11 株式会社日立製作所 半導体デバイス
JP2001074582A (ja) * 1999-08-31 2001-03-23 Hitachi Ltd 筒内圧センサ
JP4380028B2 (ja) * 1999-11-02 2009-12-09 株式会社デンソー 圧力センサ
US6561038B2 (en) * 2000-01-06 2003-05-13 Rosemount Inc. Sensor with fluid isolation barrier
US6508129B1 (en) * 2000-01-06 2003-01-21 Rosemount Inc. Pressure sensor capsule with improved isolation
US6401545B1 (en) * 2000-01-25 2002-06-11 Motorola, Inc. Micro electro-mechanical system sensor with selective encapsulation and method therefor
JP4269487B2 (ja) * 2000-05-19 2009-05-27 株式会社デンソー 圧力センサの製造方法
JP2002107249A (ja) * 2000-10-03 2002-04-10 Fuji Electric Co Ltd 半導体圧力センサ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005524847A (ja) 2005-08-18
US6848316B2 (en) 2005-02-01
DE10392623T5 (de) 2005-07-07
CN1653320A (zh) 2005-08-10
WO2003095962A1 (en) 2003-11-20
US20030209080A1 (en) 2003-11-13
CN1323288C (zh) 2007-06-27
DE10392623B4 (de) 2009-09-24
RU2313072C2 (ru) 2007-12-20
AU2003221980A1 (en) 2003-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2004135815A (ru) Узел датчика давления
US6059453A (en) Temperature probe with sapphire thermowell
JP6895549B2 (ja) 圧力センサアセンブリ
US4046010A (en) Pressure transducer with welded tantalum diaphragm
US6120033A (en) Process diaphragm seal
EP2422176B1 (en) Capacitive gage pressure sensor with vacuum dielectric
CA2313292A1 (en) Compliant high temperature seals for dissimilar materials
JP6182261B2 (ja) 高圧用途向けの多変数プロセス流体伝送器
JP6352537B2 (ja) ダイヤモンド様炭素コーティングを有するシールを備えるプロセス圧力トランスミッタ
RU2003123602A (ru) Устройство для измерения давления
CN104515644B (zh) 用于在工业过程中使用的压力变送器的密封件
GB0320252D0 (en) Improved seal
CN100567924C (zh) 压力传送器和由传感器单元和主体部件制造压力传送器的方法
FR2403499A1 (fr) Joint d'etancheite mecanique pour arbre rotatif
EP1235008A3 (en) Gasket for sealing tri-face area
ATE260833T1 (de) Folienverpackung für eine pastöse substanz
CN105283746B (zh) 用于过程流体压力变送器的抗腐蚀的压力模块
CA2238528A1 (en) Self energizing process seal for process control transmitter
CN212228246U (zh) 一种耐腐蚀型温度变送器
JP3749949B2 (ja) 水の検知装置
FR2905115A1 (fr) Emballage, type sac, comprenant un dispositif de fermeture/ouverture, notamment destine a la conservation de produits agroalimentaires
KR960706071A (ko) 전기 화학적인 측정 센서와 그 제조 방법(Electrochemical measuring sensor and method for manufacturing thereof)
CN215448263U (zh) 一种隔膜式微型压力敏感元件
JPH0249546Y2 (ru)
CN206531541U (zh) 科里奥利质量流量计的连接底座

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200418