JP2718563B2 - 圧力検出器 - Google Patents
圧力検出器Info
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- JP2718563B2 JP2718563B2 JP2224187A JP22418790A JP2718563B2 JP 2718563 B2 JP2718563 B2 JP 2718563B2 JP 2224187 A JP2224187 A JP 2224187A JP 22418790 A JP22418790 A JP 22418790A JP 2718563 B2 JP2718563 B2 JP 2718563B2
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- pressure detector
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- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
- G01F23/14—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measurement of pressure
- G01F23/18—Indicating, recording or alarm devices actuated electrically
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
- G01L9/0044—Constructional details of non-semiconductive diaphragms
-
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、たとえば自動車エンジンの制御に用いる、
セラミツクス製圧力、加速度、液レベル等の検知器に関
する。
セラミツクス製圧力、加速度、液レベル等の検知器に関
する。
SAEレポート860474には、セラミツクス製ダイヤフラ
ムと同じくセラミックス製固定台とをガラスによつて装
着した検出器が開示されている。しかしながら、ガラス
とセラミツクスとの熱膨脹差による、接合部の強度低下
の問題、高温での無圧力下における膨脹差による変形の
問題等があつた。
ムと同じくセラミックス製固定台とをガラスによつて装
着した検出器が開示されている。しかしながら、ガラス
とセラミツクスとの熱膨脹差による、接合部の強度低下
の問題、高温での無圧力下における膨脹差による変形の
問題等があつた。
これらの解決法として特開昭57-4531号公報、特開昭6
3-292032号公報等には、ダイヤフラムとセラミツクスと
を生の状態、すなわち未焼成状態のいわゆるグリーンシ
ートの状態で積層、一体化させ、一緒に焼成することに
より強固な検出器を製造する方法が提案されている。
3-292032号公報等には、ダイヤフラムとセラミツクスと
を生の状態、すなわち未焼成状態のいわゆるグリーンシ
ートの状態で積層、一体化させ、一緒に焼成することに
より強固な検出器を製造する方法が提案されている。
この方法によればガラスを使用しないことにより上記
の問題点は一応解決されるが、ダイヤフラムと固定台の
セラミツクスをほゞ同じ材料とし、かつ焼成時の収縮差
を同一にすることが必要となり、製造時におけるこれら
の管理が非常に面倒な作業となつた。
の問題点は一応解決されるが、ダイヤフラムと固定台の
セラミツクスをほゞ同じ材料とし、かつ焼成時の収縮差
を同一にすることが必要となり、製造時におけるこれら
の管理が非常に面倒な作業となつた。
グリーンシートを積層して焼成する場合、積層された
２層のシートの焼成時の収縮を充分に一致させないと焼
成体にソリや曲がりが発生する。ソリが発生した焼成体
を自動車用排ガスの圧力センサとして組付すると、排ガ
スのリークを生じたり振動を伴う排ガスが加わつた場
合、その余波により共振を発生し、圧力検出値に誤差が
避けられない。
２層のシートの焼成時の収縮を充分に一致させないと焼
成体にソリや曲がりが発生する。ソリが発生した焼成体
を自動車用排ガスの圧力センサとして組付すると、排ガ
スのリークを生じたり振動を伴う排ガスが加わつた場
合、その余波により共振を発生し、圧力検出値に誤差が
避けられない。
そのため、この装置に使用するダイヤフラムおよび固
定台を極力ソリが少ないものとする必要がある。しかし
ながら、積層体はたとえば同じグリーンシートを使用し
た場合でも、シートを製造する上での工程のバラツキ等
により、また仮焼成等を加えた場合にはその温度差等に
より、製造ロツトごとに焼成収縮が異なりどうしても±
0.4％程度の収縮差が発生する。
定台を極力ソリが少ないものとする必要がある。しかし
ながら、積層体はたとえば同じグリーンシートを使用し
た場合でも、シートを製造する上での工程のバラツキ等
により、また仮焼成等を加えた場合にはその温度差等に
より、製造ロツトごとに焼成収縮が異なりどうしても±
0.4％程度の収縮差が発生する。
また、印刷等による厚膜法を採用した場合には、シー
トと印刷体との焼成収縮差が大きいだけでなく電極およ
びリード用の金属部分を印刷によつて形成することによ
る影響のためソリが避けられない。
トと印刷体との焼成収縮差が大きいだけでなく電極およ
びリード用の金属部分を印刷によつて形成することによ
る影響のためソリが避けられない。
本発明の目的は、焼成時の収縮差が異なる場合でもほ
とんどソリ等のない安定した圧力検出器を提供すること
にある。
とんどソリ等のない安定した圧力検出器を提供すること
にある。
本発明の圧力検出器は、セラミツクス製厚膜体と該厚
膜体と向かい合いかつその周辺部を互いに固定されるセ
ラミツクス製固定台とを有する圧力検出器において、前
記固定台の両側に前記厚膜体を積層し、一体成形したこ
とを特徴としている。
膜体と向かい合いかつその周辺部を互いに固定されるセ
ラミツクス製固定台とを有する圧力検出器において、前
記固定台の両側に前記厚膜体を積層し、一体成形したこ
とを特徴としている。
本発明によれば、固定台の両側に厚膜体を設けたた
め、焼成時に固定台と厚膜体との間に焼成収縮差がある
としても、その差は抑制され圧力検出器に変形を生じな
い。
め、焼成時に固定台と厚膜体との間に焼成収縮差がある
としても、その差は抑制され圧力検出器に変形を生じな
い。
本発明は、セラミツクス製厚膜体とセラミツクス製固
定台とからなる圧力検出器において、固定台の両側に厚
膜体を設けたものである。
定台とからなる圧力検出器において、固定台の両側に厚
膜体を設けたものである。
ソリを防ぐため固定台の両側に設けられる厚膜体の層
は、たとえば95％程度同じ成分からなる層とする。固定
台を挟む外側の両厚膜体の厚みの比は1/10〜１、好まし
くは1/5〜１とされる。
は、たとえば95％程度同じ成分からなる層とする。固定
台を挟む外側の両厚膜体の厚みの比は1/10〜１、好まし
くは1/5〜１とされる。
固定台と厚膜体との収縮差が大きい場合には、固定台
を両側から挟むことによりその差はいくぶん減殺される
としても微かにソリが発生する。そのため、固定台が厚
膜体の収縮率をできるだけ抑制できるように、固定台に
対して厚膜体の厚みを1/2以下、好ましくは2/5以下にす
ることが望ましい。
を両側から挟むことによりその差はいくぶん減殺される
としても微かにソリが発生する。そのため、固定台が厚
膜体の収縮率をできるだけ抑制できるように、固定台に
対して厚膜体の厚みを1/2以下、好ましくは2/5以下にす
ることが望ましい。
つぎに圧力センサとして圧力に応じて変形しうるダイ
ヤフラムを設けるために厚膜体と固定台との少くとも一
方の側間に空所を設ける場合、予め空間を生状態で形成
してもよいが、焼成時の厚膜体材の軟化、変形により所
定の間隔が維持できなくなる。そのため介装体は厚膜体
の軟化しうる温度−200℃〜100℃の範囲で焼成中に消失
する物質を使用することが好ましい。消失温度が高過ぎ
る場合、軟化焼結が進みカーボンとして残留することと
なる。逆に低過ぎる場合、軟化によつて変形する。また
その厚みは、厚膜体の厚み以下好ましくは2/3以下とす
る必要がある。その理由は積層される厚膜体の介装体境
界部にキレが発生したり、介装体の存在により厚膜体の
焼成時の収縮に悪影響を及ぼしソリが発生することにな
るからである。
ヤフラムを設けるために厚膜体と固定台との少くとも一
方の側間に空所を設ける場合、予め空間を生状態で形成
してもよいが、焼成時の厚膜体材の軟化、変形により所
定の間隔が維持できなくなる。そのため介装体は厚膜体
の軟化しうる温度−200℃〜100℃の範囲で焼成中に消失
する物質を使用することが好ましい。消失温度が高過ぎ
る場合、軟化焼結が進みカーボンとして残留することと
なる。逆に低過ぎる場合、軟化によつて変形する。また
その厚みは、厚膜体の厚み以下好ましくは2/3以下とす
る必要がある。その理由は積層される厚膜体の介装体境
界部にキレが発生したり、介装体の存在により厚膜体の
焼成時の収縮に悪影響を及ぼしソリが発生することにな
るからである。
さらに、介装体を設け厚膜体を印刷により形成する場
合には、介装体境界部にキレが発生し易く、その対策と
してはグリーンシートとする方が良い。他方の厚膜体に
関してはダイヤフラムとして使用しない場合には介装体
を設ける必要がないため印刷等でも差し支えない。しか
しそのときに焼成時収縮差を印刷される表面に対し１％
以下にすることが必要となる。
合には、介装体境界部にキレが発生し易く、その対策と
してはグリーンシートとする方が良い。他方の厚膜体に
関してはダイヤフラムとして使用しない場合には介装体
を設ける必要がないため印刷等でも差し支えない。しか
しそのときに焼成時収縮差を印刷される表面に対し１％
以下にすることが必要となる。
上述の関係を守つたとしてもどうしてもソリが発生す
る収縮差は４％が限度で、好ましくは収縮差は2.5％以
下にした方が良い。
る収縮差は４％が限度で、好ましくは収縮差は2.5％以
下にした方が良い。
これらの条件を満足すれば、固定台と厚膜体の材質を
別のもの、たとえば、固定台に対してAl2O3厚膜体（ダ
イヤフラム）に対してヤング率の小さいZrO2の等の組合
わせも可能となる。
別のもの、たとえば、固定台に対してAl2O3厚膜体（ダ
イヤフラム）に対してヤング率の小さいZrO2の等の組合
わせも可能となる。
本発明の圧力検出器は下記の工程によつて製造され
る。すなわち 1.市販のαAl2O3（純度99％）を粒度2.5μｍ以下のもの
が80％以上になるまで、ムライト製ボールミルによつて
湿式粉砕する。
る。すなわち 1.市販のαAl2O3（純度99％）を粒度2.5μｍ以下のもの
が80％以上になるまで、ムライト製ボールミルによつて
湿式粉砕する。
2.乾燥後、前記粉末に有機バインダと溶剤とを加え、脱
脂後ドクターブレード法によりキヤステイングする。
脂後ドクターブレード法によりキヤステイングする。
3.焼成収縮を調節するため、粉砕時間を変更したもの、
または工程１の後仮焼成を施し、バインダ等を少なくし
たものも同様にキヤステイングする。Ptを主成分とし、
有機バインダと工程１で得られた粉末10％を含むペース
トによつて所定の形状の電極をスクリーン印刷によつて
20μの厚さに形成する。
または工程１の後仮焼成を施し、バインダ等を少なくし
たものも同様にキヤステイングする。Ptを主成分とし、
有機バインダと工程１で得られた粉末10％を含むペース
トによつて所定の形状の電極をスクリーン印刷によつて
20μの厚さに形成する。
4.一部カーボンブラツクに溶剤を加え、所定厚の印刷を
行い介装体とする。
行い介装体とする。
5.積層し圧着法により一体化する。
6.樹脂抜き後1520℃で２時間の焼成を行う。
以上の工程により第１図または第２図の検出器が得られ
る。
る。
第１図は本発明の一実施例で介装体がなくかつ未焼成
の状態を示す縦断面図である。固定台１はその上下から
厚膜体２、３により挟持されている。
の状態を示す縦断面図である。固定台１はその上下から
厚膜体２、３により挟持されている。
第2A、Ｂ図は前記工程４によつて作られた介装体４を
固定台１の上面と厚膜体２との間に設け（Ａ図）、また
固定台１の上下面と厚膜体２、３との間に設け（Ｂ図）
た未焼成の状態を示す縦断面図である。介装体４は焼成
によつて消滅し、固定台と厚膜体２または２と３の間に
所定の空隙を形成するものである。
固定台１の上面と厚膜体２との間に設け（Ａ図）、また
固定台１の上下面と厚膜体２、３との間に設け（Ｂ図）
た未焼成の状態を示す縦断面図である。介装体４は焼成
によつて消滅し、固定台と厚膜体２または２と３の間に
所定の空隙を形成するものである。
さらに、本発明の試験のため下記のように処理して32
個の試験片を得た。その中で試験結果１の成績のよいも
の10個につきさらに電極（第３図参照）を印刷して試験
し、試験結果２を得た。
個の試験片を得た。その中で試験結果１の成績のよいも
の10個につきさらに電極（第３図参照）を印刷して試験
し、試験結果２を得た。
なお一部テスト用として （ｉ）印刷品（非検出側の厚膜体）の場合、工程２にお
ける溶剤を加えたインクによつて20μの厚みで印刷し
た。
ける溶剤を加えたインクによつて20μの厚みで印刷し
た。
（ii）市販のAl2O3に代え、市販のZrO2にY2O3を5mol％
を加え、1300℃（No.31）、1350℃（No.32）の熱処理
後、工程１のように粉砕した。
を加え、1300℃（No.31）、1350℃（No.32）の熱処理
後、工程１のように粉砕した。
第３（ａ）図および第３（ｂ）（ｃ）図はテスト用に
印刷される電極の形状である。第３（ａ）図中のABCDは
抵抗体で、一体化後、検出側厚膜体上に焼付等により設
け、さらに完成した圧力検出装置をブリツジ回路に接続
することにより、圧力値を求めることができるものであ
る。
印刷される電極の形状である。第３（ａ）図中のABCDは
抵抗体で、一体化後、検出側厚膜体上に焼付等により設
け、さらに完成した圧力検出装置をブリツジ回路に接続
することにより、圧力値を求めることができるものであ
る。
第４図は試験結果Ｉにおける焼成物に生ずるソリの発
生状態を示し、幅2cmの焼成物に対し、ソリの量が10μ
未満の場合は◎、10μ〜30μ未満の場合は○、30μ〜60
μ未満の場合は△、60μ以上の場合は×で示してある。
生状態を示し、幅2cmの焼成物に対し、ソリの量が10μ
未満の場合は◎、10μ〜30μ未満の場合は○、30μ〜60
μ未満の場合は△、60μ以上の場合は×で示してある。
試験結果１、２の表からも明らかなように、セラミツ
ク製固定台の非検出側裏面にも厚膜体を設け、その厚み
が検出用厚膜体に対して1/10〜１の範囲にあり、かつ検
出用厚膜体の厚みが固定台の厚みに対し1/2以下である
本発明品（No.1〜27およびNo.31,32）は、非検出用厚膜
体を設けない従来品（No.I,II）、非検出用厚膜体を設
けても、その厚みが検出用厚膜体に対し薄すぎる本発明
品（No.29）および検出側厚膜体の厚みが固定台の厚み
の1/2を越える本発明外品（No.30）に比しソリを小さく
することができる。
ク製固定台の非検出側裏面にも厚膜体を設け、その厚み
が検出用厚膜体に対して1/10〜１の範囲にあり、かつ検
出用厚膜体の厚みが固定台の厚みに対し1/2以下である
本発明品（No.1〜27およびNo.31,32）は、非検出用厚膜
体を設けない従来品（No.I,II）、非検出用厚膜体を設
けても、その厚みが検出用厚膜体に対し薄すぎる本発明
品（No.29）および検出側厚膜体の厚みが固定台の厚み
の1/2を越える本発明外品（No.30）に比しソリを小さく
することができる。
またさらに本発明品は介装体の厚みを検出側厚膜体よ
り小さくしているため、キレの発生を抑制することがで
きるが、介装体の厚みを厚くするとNo.28のようにキレ
を生ずることになる。
り小さくしているため、キレの発生を抑制することがで
きるが、介装体の厚みを厚くするとNo.28のようにキレ
を生ずることになる。
また電極を有する構造体としても充分ソリ、キレ等の
ないものを提供することができる。
ないものを提供することができる。
なお、本発明の圧力検出器は外圧力をうけてダイヤフ
ラムが変形し、その変形に応じて圧力を検出するものに
ついて対象として例示してきたが、振動や加速度の応力
によりダイヤフラムを変形してこれらの振動や加速度の
大きさを検出するもの、さらには、液と接触したときそ
の液圧によつてダイヤフラムに歪みを生じる液面レベル
用としても利用することができる。
ラムが変形し、その変形に応じて圧力を検出するものに
ついて対象として例示してきたが、振動や加速度の応力
によりダイヤフラムを変形してこれらの振動や加速度の
大きさを検出するもの、さらには、液と接触したときそ
の液圧によつてダイヤフラムに歪みを生じる液面レベル
用としても利用することができる。
本発明は固定台の両側に厚膜体を積層し、一体成形し
たことによりソリを抑制することができ、従来の欠点を
ほとんど解消することができた。
たことによりソリを抑制することができ、従来の欠点を
ほとんど解消することができた。
第１図および第２（ａ）（ｂ）図は、それぞれ介装体の
ないおよび備えた場合の、本発明による圧力検出装置の
未焼成状態における縦断面図であり、第３（ａ）図およ
び第３（ｂ）（ｃ）図はテスト用に印刷される電極の構
造を示し、第４図はそりの発生した状態を示す焼成品の
縦断面図である。 １……固定台、２……検出側厚膜体、３……非検出側厚
膜体、４……介装体
ないおよび備えた場合の、本発明による圧力検出装置の
未焼成状態における縦断面図であり、第３（ａ）図およ
び第３（ｂ）（ｃ）図はテスト用に印刷される電極の構
造を示し、第４図はそりの発生した状態を示す焼成品の
縦断面図である。 １……固定台、２……検出側厚膜体、３……非検出側厚
膜体、４……介装体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橘川 兼久 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日本特殊陶業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−215266（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−135756（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−4531（ＪＰ，Ａ)
Claims (7)
- 【請求項１】セラミツクス製厚膜体と該厚膜体と向かい
合いかつその周辺部を互いに固定されるセラミツクス製
固定台とを有する圧力検出器において、前記固定台の両
側に前記厚膜体を積層し、一体成形したことを特徴とす
る圧力検出器。 - 【請求項２】前記固定台両側の前記厚膜体の厚みの比が
1/10〜１であることを特徴とする請求項１に記載の圧力
検出器。 - 【請求項３】固定台に対する厚膜体の厚みの比が1/2以
下であることを特徴とする請求項１に記載の圧力検出
器。 - 【請求項４】前記厚膜体と前記固定台との間で少くとも
一方の側に空所を形成し、一体成形後、該厚膜体が圧力
により変形し得るダイヤフラムとした請求項１〜３に記
載の圧力検出器。 - 【請求項５】前記厚膜体と前記固定台との間で少くとも
一方の側に空所を形成するため両者の間に介装体が積層
され、前記介装体は加熱により消失する物質であり、前
記介装体の厚みを厚膜体の厚み以下としたことを特徴と
する請求項１ないし３のいずれか一項に記載の圧力検出
器。 - 【請求項６】前記固定台の両側に積層される厚膜体の中
少くとも圧力検出側の厚膜体はセラミツクスのグリーン
シートであることを特徴とする請求項１ないし４のいず
れか一項に記載の圧力検出器。 - 【請求項７】前記圧力検出側の厚膜体と前記固定台の焼
成時の収縮差が４％以下であることを特徴とする請求項
１ないし３のいずれか一項に記載の圧力検出器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2224187A JP2718563B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 圧力検出器 |
| US07/744,409 US5214961A (en) | 1990-08-28 | 1991-08-13 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2224187A JP2718563B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 圧力検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04106438A JPH04106438A (ja) | 1992-04-08 |
| JP2718563B2 true JP2718563B2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=16809888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2224187A Expired - Fee Related JP2718563B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 圧力検出器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5214961A (ja) |
| JP (1) | JP2718563B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5483834A (en) * | 1993-09-20 | 1996-01-16 | Rosemount Inc. | Suspended diaphragm pressure sensor |
| CA2169824A1 (en) * | 1993-09-24 | 1995-03-30 | Roger L. Frick | Pressure transmitter isolation diaphragm |
| US5499158A (en) * | 1994-11-14 | 1996-03-12 | Texas Instruments Incorporated | Pressure transducer apparatus with monolithic body of ceramic material |
| US5486976A (en) * | 1994-11-14 | 1996-01-23 | Texas Instruments Incorporated | Pressure transducer apparatus having a rigid member extending between diaphragms |
| US5485345A (en) * | 1994-11-14 | 1996-01-16 | Texas Instruments Incorporated | Pressure transducer apparatus |
| US5637802A (en) | 1995-02-28 | 1997-06-10 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates |
| US5731522A (en) * | 1997-03-14 | 1998-03-24 | Rosemount Inc. | Transmitter with isolation assembly for pressure sensor |
| US6484585B1 (en) | 1995-02-28 | 2002-11-26 | Rosemount Inc. | Pressure sensor for a pressure transmitter |
| US6508129B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-21 | Rosemount Inc. | Pressure sensor capsule with improved isolation |
| US6520020B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-02-18 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor |
| US6505516B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-14 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensing with moving dielectric |
| US6561038B2 (en) | 2000-01-06 | 2003-05-13 | Rosemount Inc. | Sensor with fluid isolation barrier |
| CN1151367C (zh) | 2000-01-06 | 2004-05-26 | 罗斯蒙德公司 | 微机电系统(mems)用的电互联的晶粒生长 |
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