RU2004118072A

RU2004118072A - Отражательный пространственный модулятор света

Info

Publication number: RU2004118072A
Application number: RU2004118072/28A
Authority: RU
Inventors: Шаохэж С. ПАНЬ (US); Шаохэж С. ПАНЬ; Дунминь ЧЭНЬ (US); Дунминь ЧЭНЬ; С о ЯН (US); Сяо ЯН; Шоучэн ЧЖАН (US); Шоучэн ЧЖАН
Original assignee: Мирадиа,Инк. (Us); Мирадиа,Инк.
Priority date: 2002-06-19
Filing date: 2003-05-30
Publication date: 2005-03-20
Also published as: EP1535099A4; WO2004001487A8; US7118234B2; EP1535099A2; JP2006519396A; KR100582142B1; WO2004001487A3; KR20040111335A; WO2004001487A2; CA2472349A1; CA2472349C; AU2003239924A8; RU2276774C2; US20060023294A1; US20040145822A1; US20030234994A1; US20070171509A1; US7280263B2; AU2003239924A1

Claims

1. Микрозеркало, содержащее зеркальную пластину, разделительную опорную раму, подвес, присоединенный к разделительной опорной раме и зеркальной пластине, позволяющий зеркальной пластине поворачиваться относительно разделительной опорной рамы вокруг оси, заданной подвесом, при этом зеркальная пластина, разделительная опорная рама и подвес изготовлены из единого непрерывного куска материала.

2. Микрозеркало по п.1, отличающееся тем, что материалом является монокристаллический кремний.

3. Микрозеркало по п.1, отличающееся тем, что подвес является вертикально ориентированной торсионной пружиной.

4. Микрозеркало по п.1, отличающееся тем, что зеркальная пластина имеет отражающую верхнюю поверхность.

5. Микрозеркало по п.1, отличающееся тем, что дополнительно содержит отражающий слой на своей верхней поверхности.

6. Микрозеркало по п.1, отличающееся тем, что разделительная опорная рама содержит стенки толщиной около 1 микрона или менее.

7. Микрозеркало по п.1, отличающееся тем, что дополнительно содержит механический ограничитель для остановки вращения зеркальной пластины относительно разделительной рамы при повороте зеркальной пластины на предварительно определенный угол.

8. Массив из совокупности микрозеркал, содержащий разделительную опорную раму, стенки которой образуют совокупность полостей, каждая из которых соответствует микрозеркалу, совокупность зеркальных пластин, совокупность подвесов, каждый из которых присоединен к, по меньшей мере, одной стенке разделительной опорной рамы и присоединен к зеркальной пластине из совокупности зеркальных пластин, что позволяет зеркальной пластине поворачиваться относительно разделительной опорной рамы вокруг оси, заданной подвесом, и при этом разделительная опорная рама, совокупность зеркальных пластин и совокупность подвесов изготовлены из единого непрерывного куска материала.

9. Массив по п.8, отличающийся тем, что каждая зеркальная пластина имеет верхнюю поверхность.

10. Массив по п.9, отличающийся тем, что верхние поверхности зеркальных пластин отполированы с возможностью отражения света.

11. Массив по п.9, отличающийся тем, что на каждой верхней поверхности зеркальных пластин осажден отражающий слой для отражения света.

12. Массив по п.8, отличающийся тем, что дополнительно содержит подложку управления, присоединенную к разделительной опорной раме и имеющую, по меньшей мере, один электрод, соответствующий каждой из совокупности зеркальных пластин, на который подают напряжение для управляемого отклонения зеркальной пластины микрозеркала.

13. Массив по п.12, отличающийся тем, что подвес делит зеркальную пластину на первую часть и вторую часть, так что, при повороте зеркальной пластины вокруг оси, заданной подвесом, первая часть зеркальной пластины приближается к подложке управления, а вторая часть зеркальной пластины удаляется от подложки управления.

14. Массив по п.12, отличающийся тем, что подложка управления дополнительно содержит схему адресации и управления, обеспечивающую избирательную подачу напряжения на совокупность электродов для избирательного управляемого отклонения зеркальных пластин в массиве.

15. Массив по п.8, отличающийся тем, что поверхности пластин в массиве зеркал составляют, по меньшей мере, 85% площади поверхности массива.

16. Массив по п.8, отличающийся тем, что поверхности пластин в массиве зеркал составляют, по меньшей мере, 90% площади поверхности массива.

17. Массив из совокупности микрозеркал, содержащий для каждого микрозеркала в массиве, по меньшей мере, одну зеркальную пластину с верхней поверхностью, для каждого микрозеркала в массиве, по меньшей мере, один подвес, присоединенный к, по меньшей мере, одной зеркальной пластине указанного микрозеркала, позволяющий зеркальной пластине поворачиваться, опорную раму с совокупностью опорных стенок, причем каждый подвес присоединен к, по меньшей мере, одной опорной стенке, для поддержки подвеса и зеркальной пластины и отделения каждой зеркальной пластины от второй подложки, присоединенной к опорной раме, и при этом зеркальные пластины и подвесы изготовлены из единого непрерывного куска материала.

18. Массив по п.17, отличающийся тем, что между краем верхней поверхности зеркальной пластины и опорной стенкой опорной рамы имеется зазор в 0,2 мкм или менее.

19. Массив по п.17, отличающийся тем, что верхние поверхности зеркальных пластин имеют по существу прямоугольную форму.

20. Массив по п.19, отличающийся тем, что верхние поверхности зеркальных пластин имеют площадь около 225 мкм².