DE19757181A1 - Einrichtung zur Kopplung von Glasfasern - Google Patents
Einrichtung zur Kopplung von GlasfasernInfo
- Publication number
- DE19757181A1 DE19757181A1 DE1997157181 DE19757181A DE19757181A1 DE 19757181 A1 DE19757181 A1 DE 19757181A1 DE 1997157181 DE1997157181 DE 1997157181 DE 19757181 A DE19757181 A DE 19757181A DE 19757181 A1 DE19757181 A1 DE 19757181A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- mirrors
- glass fibers
- coupling
- plane
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
- G02B6/3512—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror
- G02B6/3518—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror the reflective optical element being an intrinsic part of a MEMS device, i.e. fabricated together with the MEMS device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
- G02B6/3554—3D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a volume
- G02B6/3556—NxM switch, i.e. regular arrays of switches elements of matrix type constellation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3568—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
- G02B6/357—Electrostatic force
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Kopplung von
Glasfasern, mit einer Mehrzahl von einlaufenden Gasfasern
und mit einer Mehrzahl von auslaufenden Glasfasern, wobei
jede der einlaufenden Glasfasern mit jeder der auslaufenden
Glasfasern koppelbar ist.
Bei einer derartigen Einrichtung handelt es sich um ein
sogenanntes Crossconnect-Element. Dieses stellt einen
komplexen Schalter dar, an den zwei Gruppen von Glasfasern
angeschlossen werden können. Mit Hilfe des Schalters ist es
möglich, jede Glasfaser der einen Gruppe mit jeder
Glasfaser der anderen Gruppe zu verbinden.
Bekannte Crossconnect-Elemente sind beispielsweise als
digitale optische Schalter oder als thermooptische Schalter
ausgeführt. Diese bekannten Schalter haben jedoch den
Nachteil, daß bei ihnen ein unerwünschtes Übersprechen von
einer Glasfaser auf andere Glasfasern erfolgt. Dieses
Übersprechen ist gleichzeitig mit Signalverlusten
verbunden.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Einrichtung zur Kopplung
von Glasfasern zu schaffen, die eine möglichst hohe
Übersprechdämpfung bei möglichst geringen Signalverlusten
aufweist.
Diese Aufgabe wird bei einer Einrichtung der eingangs
genannten Art durch die Erfindung dadurch gelöst, daß eine
Vielzahl von Spiegeln vorgesehen ist, die in einer den
einlaufenden Glasfasern zugeordneten Einkoppelebene und
einer dazu insbesondere parallelen, den auslaufenden
Glasfasern zugeordneten Auskoppelebene angeordnet sind, die
in der Einkoppelebene und in der Auskoppelebene in den
einlaufenden und den auslaufenden Glasfasern entsprechenden
Reihen und Spalten angeordnet sind, und die jeweils um eine
in der Einkoppelebene bzw. in der Auskoppelebene liegende
und zu den einlaufenden bzw. den auslaufenden Glasfasern
etwa rechtwinkligen Achse schwenkbar sind.
Die Spiegel sind also in zwei Ebenen schwenkbar angeordnet.
Ist einer der Spiegel aus seiner Ebene heraus ausgelenkt,
so wird ein Strahl, der von einer einlaufenden Glasfaser
herrührt und nahe der Oberfläche der Ebene verläuft, von
diesem ersten Spiegel umgelenkt. Bei einer entsprechenden
Auslenkung des ersten Spiegels bzw. bei einer
entsprechenden Anordnung der zweiten Ebene gelangt der
Strahl dann von dem ersten Spiegel zu einem zweiten Spiegel
in der zweiten Ebene. Dieser zweite Spiegel ist wiederum
aus der zweiten Ebene ausgelenkt. Dies hat zur Folge, daß
der Strahl von dem zweiten Spiegel erneut umgelenkt wird.
Dieser erneut umgelenkte Strahl gelangt dann zu einer der
auslaufenden Glasfasern. Insgesamt wird der Strahl also
durch eine zweifache Umlenkung von einer der einlaufenden
Glasfasern zu einer der auslaufenden Glasfasern geführt.
In den beiden Ebenen sind eine Vielzahl von Spiegeln in
Reihen und Spalten angeordnet. Durch die Auswahl derjenigen
Spiegel, die aus der Ebene ausgelenkt werden, ist es
möglich, jede der einlaufenden Glasfasern mit jeder der
auslaufenden Glasfasern zu verbinden. Es entsteht somit ein
Crossconnect-Element aus einer Vielzahl von Spiegeln.
Der wesentliche Vorteil der beschriebenen Einrichtung zur
Kopplung von Glasfasern besteht darin, daß bei der
Umlenkung des Strahls durch die Spiegel nahezu keine
Signalverluste und auch nahezu kein Übersprechen entstehen.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist
jeder der Spiegel von einer elektrischen Schaltung
ansteuerbar, und es ist jeder der Spiegel bei einer
Ansteuerung insbesondere um 45° schwenkbar.
Jedem Spiegel ist also eine elektrische Schaltung
zugeordnet. Wird eine dieser elektrischen Schaltungen
angesteuert, so hat dies zur Folge, daß der zugehörige
Spiegel aus der Ebene ausgelenkt wird. Vorzugsweise erfolgt
dabei eine Auslenkung um etwa 45°. Ein Strahl, der in der
Nähe der Oberfläche der zugehörigen Ebene verläuft, trifft
dadurch auf den Spiegel auf und wird um etwa 90°
umgelenkt. Der Strahl wird also durch den ausgelenkten
Spiegel etwa senkrecht von der zugehörigen Ebene
abgestrahlt. In der zweiten Ebene trifft dann der Strahl
auf einen ebenfalls um etwa 45° ausgelenkten Spiegel auf.
Dies hat zur Folge, daß der Strahl erneut um etwa 90°
umgelenkt wird. Er verläuft damit nach der Umlenkung etwa
parallel zur zweiten Ebene und nahe zu deren Oberfläche.
Insgesamt ergibt sich daraus eine Umlenkung um etwa 90°
bei jedem der beiden Spiegel. Der einlaufende und der
auslaufende Strahl verlaufen somit in zueinander parallelen
Ebenen, weisen jedoch aufgrund der Umlenkungen
unterschiedliche Richtungen auf.
Der Vorteil der Ansteuerung mit Hilfe der elektrischen
Schaltung besteht darin, daß auf diese Weise jeder der
Spiegel sehr schnell angesteuert und aus der Ebene
ausgelenkt werden kann. Damit ist es möglich, die auf den
einlaufenden Glasfasern ankommenden Strahlen schnell auf
verschiedene auslaufende Glasfasern umzuschalten. Durch die
Auslenkung der Spiegel um insbesondere etwa 45° wird eine
Vereinfachung des Aufbaus der gesamten Einrichtung
erreicht. Dies macht sich insbesondere bei der Herstellung
der Einrichtung vorteilhaft bemerkbar.
Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind
die Spiegel der Einkoppelebene etwa senkrecht über den
Spiegeln der Auskoppelebene angeordnet. Auf diese Weise
wird eine weitere Vereinfachung der Einrichtung zur
Kopplung von Glasfasern erreicht. Die beiden Ebenen werden
etwa parallel zueinander angeordnet, wobei senkrecht über
jedem Spiegel der einen Ebene einer der Spiegel der anderen
Ebene angeordnet ist. Es entsteht somit insgesamt eine
symmetrische Anordnung, die insbesondere auch bei der
Herstellung Vorteile aufweist.
Besonders zweckmäßig ist es, wenn zwei senkrecht
übereinander angeordnete Spiegel gemeinsam ansteuerbar
sind. Auf diese Weise wird die Ansteuerlogik, mit der die
Vielzahl der elektrischen Schaltungen angesteuert werden,
vereinfacht. Die Ansteuerlogik muß nicht in der Lage sein,
jeden der Spiegel einzeln auszulenken, sondern es genügt,
wenn immer zwei senkrecht übereinander angeordnete Spiegel
der beiden Ebenen miteinander gekoppelt und damit gemeinsam
ansteuerbar sind.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist
jeder der Spiegel durch mikromechanische Verfahren
hergestellt. Dies stellt eine besonders zweckmäßige Art und
Weise dar, die Vielzahl der Spiegel in den beiden Ebenen
möglichst effektiv herzustellen.
Besonders zweckmäßig ist es, wenn die Substrate Silizium
enthalten, und wenn die Spiegel aus den Substraten
herausgearbeitet sind. In diesem Fall ist die gesamte
Einrichtung zur Kopplung von Glasfasern in einer
sogenannten Silizium-Mikromechanik ausgeführt.
Ebenfalls besonders vorteilhaft ist es, wenn die Spiegel
galvanisch auf den Substraten aufgebaut sind. In diesem
Fall ist die gesamte Einrichtung zur Kopplung von
Glasfasern in einer sogenannten additiven Mikrogalvanik
ausgeführt.
Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind
die Substrate der Einkoppelebene und der Auskoppelebene
beabstandet aufeinander aufgebracht. Dabei ist es besonders
zweckmäßig, wenn zur Justierung der beiden Ebenen
beispielsweise einander gegenüberstehende Ausnehmungen in
den Ebenen vorgesehen sind, in denen bei korrekter
Anordnung Glaskugeln einrasten.
Weitere Merkmale, Anwendungsmöglichkeiten und Vorteile der
Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung
von Ausführungsbeispielen der Erfindung, die in den Figuren
der Zeichnung dargestellt sind. Dabei bilden alle
beschriebenen oder dargestellten Merkmale für sich oder in
beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung,
unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den
Patentansprüchen oder deren Rückbeziehung sowie unabhängig
von ihrer Formulierung bzw. Darstellung in der Beschreibung
bzw. in der Zeichnung.
Fig. 1 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung
eines Ausführungsbeispiels einer
erfindungsgemäßen Einrichtung zur Kopplung von
Glasfasern;
Fig. 2 zeigt einen schematischen Querschnitt durch ein
erstes Ausführungsbeispiel eines einzelnen
Spiegels der Einrichtung der Fig. 1; und
Fig. 3 zeigt einen schematischen Querschnitt durch ein
zweites Ausführungsbeispiel eines einzelnen
Spiegels der Einrichtung der Fig. 1.
In der Fig. 1 ist ein Koppler 1 dargestellt, der ein
erstes Substrat 2 mit einer Einkoppelebene 3 und ein
zweites Substrat 4 mit einer Auskoppelebene 5 aufweist. In
der Einkoppelebene 3 sind innerhalb des ersten Substrats 2
eine Vielzahl von Spiegeln 6 angeordnet. Entsprechend sind
in der Auskoppelebene 5 innerhalb des Substrats 4 eine
Vielzahl von Spiegeln 7 angeordnet.
Dem ersten Substrat 2 ist ein Substrat 8 zugeordnet, das
mit einer Mehrzahl in von einlaufenden Glasfasern 9 versehen
ist. Im vorliegenden Fall der Fig. 1 sind vier Glasfasern
9 vorgesehen, so daß m = 4 ist. Die Glasfasern 9 sind
parallel zueinander angeordnet und weisen denselben Abstand
zueinander auf. Des weiteren liegen die Glasfasern 9 in der
Einkoppelebene 3.
Die Spiegel 6 des ersten Substrats 2 sind in Reihen 10 und
Spalten 11 angeordnet. Die Anzahl der Reihen 10 entspricht
der Anzahl der Glasfasern 9 und ist damit m = 4. Die Anzahl
der Spalten 11 entspricht der Anzahl von nachfolgend noch
erläuterten auslaufenden Glasfasern und ist in der Fig. 1
mit n = 4 vorgegeben. Die Spiegel 6 des ersten Substrats 2
bilden ein Netz bzw. eine Matrix, bei der die Reihen 10 und
die Spalten 11 rechtwinklig zueinander angeordnet sind, und
bei der die Spiegel 6 gleiche Abstände zueinander
aufweisen.
Die in der Auskoppelebene 5 des zweiten Substrats 4
liegenden Spiegel 7 sind auf die gleiche Art und Weise
angeordnet wie die in der Einkoppelebene 3 des ersten
Substrats 2 liegenden Spiegel 6. Dabei ist die
Auskoppelebene 5 etwa parallel und mit Abstand zur
Einkoppelebene 3 angeordnet, so daß auch sämtliche Spiegel
7 etwa parallel zu den Spiegeln 6 angeordnet sind. Aufgrund
des Abstands der Auskoppelebene 5 von der Einkoppelebene 3
weisen auch die Spiegel 7 einen Abstand von den Spiegeln 6
auf.
Mit Hilfe von Justiereinrichtungen, beispielsweise mit
Hilfe von Ausnehmungen 12 in dem ersten Substrat 2 und dem
zweiten Substrat 4, werden die beiden Substrate 2, 4
zueinander justiert. Zu diesem Zweck wird beispielsweise
eine Glaskugel 13 in die Ausnehmungen 12 eingelegt, so daß
danach das erste Substrat 2 und das zweite Substrat 4 exakt
zueinander ausgerichtet sind. Das erste Substrat 2 und das
zweite Substrat 4 sind dann derart übereinander angeordnet,
daß immer ein Spiegel 7 des zweiten Substrats 4 senkrecht
über einem Spiegel 6 des ersten Substrats 2 steht.
Dem zweiten Substrat 4 ist ein nicht dargestelltes weiteres
Substrat zugeordnet, auf dem die bereits erwähnten
auslaufenden Glasfasern angeordnet sind. Dieses weitere
Substrat und damit die auslaufenden Glasfasern sind in der
Fig. 1 im Vordergrund vor dem zweiten Substrat 4
angeordnet. Die auslaufenden Glasfasern sind dabei parallel
zueinander angeordnet und liegen in der Auskoppelebene 5.
Die Anzahl der auslaufenden Glasfasern entspricht der
Anzahl der Spalten 11 und ist somit in der Fig. 1 n = 4.
Sämtliche Spiegel 6, 7 der beiden Substrate 2, 4 sind
schwenkbar ausgestaltet. Die Schwenkachse 14 der Spiegel 6
liegt in der Einkoppelebene 3 und ist quer zu den
einlaufenden Glasfasern 9 angeordnet. Die Schwenkachse 15
der Spiegel 7 liegt in der Auskoppelebene 5 und ist quer zu
den auslaufenden Glasfasern angeordnet.
Jeder der Spiegel 6, 7 der beiden Substrate 2, 4 ist mit
Hilfe einer elektrischen Schaltung ansteuerbar und wird bei
einer Ansteuerung durch die elektrische Schaltung um etwa 45° ausgelenkt. Durch eine voneinander unabhängige Ansteuerung der Spiegel 6, 7 der Ein- und Auskoppelebene 3, 5 oder durch eine gemeinsame Ansteuerung von zwei senkrecht übereinander angeordneten Spiegeln 6, 7 der Ein- und der Auskoppelebene 3, 5 werden immer jeweils ein Spiegel 6 und ein Spiegel 7 gleichzeitig um 45° ausgelenkt.
einer Ansteuerung durch die elektrische Schaltung um etwa 45° ausgelenkt. Durch eine voneinander unabhängige Ansteuerung der Spiegel 6, 7 der Ein- und Auskoppelebene 3, 5 oder durch eine gemeinsame Ansteuerung von zwei senkrecht übereinander angeordneten Spiegeln 6, 7 der Ein- und der Auskoppelebene 3, 5 werden immer jeweils ein Spiegel 6 und ein Spiegel 7 gleichzeitig um 45° ausgelenkt.
Durchläuft ein Lichtstrahl 16 eine der einlaufenden
Glasfasern 9, wie dies in der Fig. 1 dargestellt ist, so
trifft er auf denjenigen Spiegel 6 der zugehörigen Reihe 10
auf, der um 45° ausgelenkt ist. Über diejenigen Spiegel 6
derselben Reihe 10, die nicht ausgelenkt sind, bewegt sich
der Lichtstrahl 16 oberflächennah hinweg.
Durch den um 45° ausgelenkten Spiegel 6 wird der
Lichtstrahl 16 um 90° in Richtung zu dem zweiten Substrat
4 umgelenkt. Da senkrecht über jedem der Spiegel 6 des
ersten Substrats 2 ein Spiegel 7 des zweiten Substrats 4
angeordnet ist, gelangt der Lichtstrahl 16 nunmehr zu dem
darüber liegenden Spiegel 7 des zweiten Substrats 4. Dieser
Spiegel 7 ist aufgrund der gemeinsamen Ansteuerung
ebenfalls um 45° ausgelenkt. Dies hat zur Folge, daß der
Lichtstrahl 16 erneut um 90° umgelenkt wird. Der
Lichtstrahl 16 bewegt sich nunmehr oberflächennah in den
Vordergrund der Fig. 1, wo - wie bereits erläutert - die
auslaufenden Glasfasern angeordnet sind.
In der Fig. 1 ist der erste der Spiegel 6 der Reihe 10 um
45° ausgelenkt, so daß der Lichtstrahl zu dem vordersten
der vier auslaufenden Glasfasern gelangt. Wäre dieser erste
Spiegel 6 nicht ausgelenkt, und wäre statt dessen
beispielsweise der dritte Spiegel 6 der Reihe 10
ausgelenkt, so hätte dies zur Folge, daß der Lichtstrahl
zu der dritten auslaufenden Glasfaser gelangen würde. Es
ist somit möglich, daß der Lichtstrahl aus der
einlaufenden Glasfaser 9 zu jeder der auslaufenden
Glasfasern hingeführt werden kann. Entsprechendes gilt
nicht nur für diejenige einlaufende Glasfaser 9, durch die
in der Fig. 1 ein Lichtstrahl hindurchgeführt ist, sondern
ebenfalls für die anderen einlaufenden Glasfasern 9.
Insgesamt ist es damit möglich, daß ein Lichtstrahl von
jeder der einlaufenden Glasfasern 9 über die Spiegel 6, 7
zu jeder der auslaufenden Glasfasern hingeführt werden
kann. Hierzu ist es erforderlich, daß immer zwei senkrecht
übereinander angeordnete Spiegel 6, 7 angesteuert und um 45°
ausgelenkt werden. Die Auswahl, welche Spiegel
angesteuert und ausgelenkt werden, ergibt sich dabei aus
dem Schnittpunkt der einlaufenden Glasfaser 9 und der
auslaufenden Glasfaser.
Die Spiegel 6, 7 des ersten und des zweiten Substrats 2, 4
werden durch mikromechanische Verfahren hergestellt. Bei
dem in der Fig. 1 dargestellten Koppler 1 handelt es sich
somit um einen mikromechanischen m × n Mikrospiegel-
Glasfaserkoppler.
In der Fig. 2 ist ein Spiegel 17 dargestellt, der in
Siliziumtechnik ausgeführt ist. Auf einem Substrat 18 ist
beispielsweise ein Oxid 19 eingebracht, in dem
beispielsweise ein Anschluß 20 aus Polysilizium
eingebracht ist. Der Anschluß 20 ist mit der bereits
erwähnten elektrischen Schaltung verbunden und dient dazu,
den Spiegel 17 aus einer Ruhelage in eine ausgelenkte
Position zu schwenken.
Auf das Substrat 18 ist ein Substrat 21 aufgebracht, aus
dem der Spiegel 17 durch entsprechende Verfahrensschritte
herausgearbeitet ist. Der Spiegel 17 ist über die
Schwenkachse 22 mit dem Substrat 21 verbunden.
In der Ruhelage des Spiegels 17 ist dieser parallel zur
Oberfläche des Substrats 21 angeordnet. In der ausgelenkten
Position des Spiegels 17 ist dieser etwa um 45° geneigt.
Die Oberfläche des Spiegels 17 ist mit einem metallischen
spiegelnden Material versehen. Wird der Anschluß 20 über
die elektrische Schaltung angesteuert, so hat dies zur
Folge, daß dieser in Richtung des Anschlusses 20 angezogen
und damit um die Schwenkachse 22 geschwenkt wird. Ohne eine
Ansteuerung wird der Spiegel 17 immer in seine Ruhelage
zurückgestellt.
In der Fig. 3 ist ein Spiegel 23 dargestellt, der in
additiver Mikrogalvanik ausgeführt ist. Zu diesem Zweck ist
auf einem Substrat 24 zuerst beispielsweise ein Oxid 25 und
dann beispielsweise eine Aluminium-Metallisierung 26
aufgebracht. Des weiteren ist auf dem Oxid 25 ein Anschluß
27 aufgebracht. Die Aluminium-Metallisierung 26 und der
Anschluß 27 können von dem Oxid 25 auch noch abgedeckt
sein.
Auf die Aluminium-Metallisierung 26 ist der Spiegel 23
beispielsweise aus galvanisch abgeschiedenem Nickel
aufgebaut. Zu diesem Zweck ist ein Träger 28 aufgebaut, der
etwa senkrecht von dem Substrat 24 absteht, und der die
Schwenkachse 29 des Spiegels 23 bildet. Darauf ist der
Spiegel 23 angeordnet.
In der Ruhelage des Spiegels 23 ist dieser parallel zur
Oberfläche des Substrats 24 angeordnet. In der ausgelenkten
Position des Spiegels 23 ist dieser etwa um 45° geneigt.
Der Spiegel 23 kann aus einem metallisch spiegelnden
Material bestehen. Wird der Anschluß 27 über die
elektrische Schaltung angesteuert, so hat dies zur Folge,
daß der Spiegel 23 in Richtung des Anschlusses 27
angezogen und damit um die Schwenkachse 29 geschwenkt wird.
Ohne eine Ansteuerung wird der Spiegel 23 immer in seine
Ruhelage zurückgestellt.
Claims (10)
1. Einrichtung (1) zur Kopplung von Glasfasern (9), mit
einer Mehrzahl (in) von einlaufenden Glasfasern (9) und
mit einer Mehrzahl (n) von auslaufenden Glasfasern,
wobei jede der einlaufenden Glasfasern (9) mit jeder
der auslaufenden Glasfasern koppelbar ist, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Vielzahl (m × n) von Spiegeln
(6, 7) vorgesehen ist, die in einer den einlaufenden
Glasfasern (9) zugeordneten Einkoppelebene (3) und
einer dazu insbesondere parallelen, den auslaufenden
Glasfasern zugeordneten Auskoppelebene (5) angeordnet
sind, die in der Einkoppelebene (3) und in der
Auskoppelebene (5) in den einlaufenden und den
auslaufenden Glasfasern (9) entsprechenden Reihen (10)
und Spalten (11) angeordnet sind, und die jeweils um
eine in der Einkoppelebene (3) bzw. in der
Auskoppelebene (5) liegende und zu den einlaufenden
bzw. den auslaufenden Glasfasern (9) etwa
rechtwinkligen Schwenkachse (14, 15) schwenkbar sind.
2. Einrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß jeder der Spiegel (6, 7) von einer
elektrischen Schaltung ansteuerbar ist, und daß jeder
der Spiegel (6, 7) bei einer Ansteuerung insbesondere
um 45 Grad schwenkbar ist.
3. Einrichtung (1) nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß jeder der Spiegel (6, 7)
unabhängig von den anderen Spiegeln (6, 7) ansteuerbar
ist.
4. Einrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegel (6) der
Einkoppelebene (3) etwa senkrecht über den Spiegeln
(7) der Auskoppelebene (5) angeordnet sind.
5. Einrichtung (1) nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, daß zwei etwa senkrecht übereinander
angeordnete Spiegel (6, 7) gemeinsam ansteuerbar sind.
6. Einrichtung (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Spiegel (6, 7)
durch mikromechanische Verfahren hergestellt ist.
7. Einrichtung (1) nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Spiegel (6) der Einkoppelebene
(3) und die Spiegel (7) der Auskoppelebene (5) jeweils
auf einem gemeinsamen Substrat (2, 4) oder dergleichen
aufgebracht sind.
8. Einrichtung (1) nach Anspruch 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die Substrate (2, 4) Silizium
enthalten, und daß die Spiegel (6, 7, 17) aus den
Substraten (2, 4) herausgearbeitet sind.
9. Einrichtung (1) nach einem der Ansprüche 7 oder 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegel (6, 7, 23)
galvanisch auf den Substraten (2, 4) aufgebaut sind.
10. Einrichtung (1) nach einem der Ansprüche 7 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die Substrate (2, 4) der
Einkoppelebene (3) und der Auskoppelebene (5)
beabstandet aufeinander aufgebracht sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997157181 DE19757181A1 (de) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | Einrichtung zur Kopplung von Glasfasern |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997157181 DE19757181A1 (de) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | Einrichtung zur Kopplung von Glasfasern |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19757181A1 true DE19757181A1 (de) | 1999-07-01 |
Family
ID=7852951
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1997157181 Ceased DE19757181A1 (de) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | Einrichtung zur Kopplung von Glasfasern |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19757181A1 (de) |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001073935A2 (en) * | 2000-03-24 | 2001-10-04 | Onix Microsystems, Inc. | Optical switch employing biased rotatable comb drive devices and methods |
WO2001092943A2 (en) * | 2000-05-30 | 2001-12-06 | Siwave, Inc. | Low insertion loss non-blocking optical switch |
WO2001095011A2 (en) * | 2000-06-06 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | Maintaining path integrity in an optical switch |
WO2001095007A2 (en) * | 2000-06-02 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | An optical switch using collimated arrays with non-collinear beams |
WO2001095010A2 (en) * | 2000-06-05 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | A safe procedure for moving mirrors in an optical cross-connect switch |
WO2001095009A2 (en) * | 2000-06-05 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | Method and apparatus for mirror control in an optical cross-connect switch |
WO2001095013A2 (en) * | 2000-06-05 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | Positioning a movable reflector in an optical switch |
WO2001094253A2 (en) * | 2000-06-02 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | Bulk silicon structures with thin film flexible elements |
US6437902B2 (en) | 2000-03-24 | 2002-08-20 | Onix Microsystems | Optical beam steering switching system |
US6544863B1 (en) | 2001-08-21 | 2003-04-08 | Calient Networks, Inc. | Method of fabricating semiconductor wafers having multiple height subsurface layers |
US6560384B1 (en) | 2000-06-01 | 2003-05-06 | Calient Networks, Inc. | Optical switch having mirrors arranged to accommodate freedom of movement |
US6563106B1 (en) | 2000-02-01 | 2003-05-13 | Calient Networks, Inc. | Micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device and methods for fabricating the same |
US6578974B2 (en) | 2000-05-18 | 2003-06-17 | Calient Networks, Inc. | Micromachined apparatus for improved reflection of light |
US6593677B2 (en) | 2000-03-24 | 2003-07-15 | Onix Microsystems, Inc. | Biased rotatable combdrive devices and methods |
US6744173B2 (en) | 2000-03-24 | 2004-06-01 | Analog Devices, Inc. | Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods |
US6753638B2 (en) | 2000-02-03 | 2004-06-22 | Calient Networks, Inc. | Electrostatic actuator for micromechanical systems |
US6792177B2 (en) | 2001-03-12 | 2004-09-14 | Calient Networks, Inc. | Optical switch with internal monitoring |
US6825967B1 (en) | 2000-09-29 | 2004-11-30 | Calient Networks, Inc. | Shaped electrodes for micro-electro-mechanical-system (MEMS) devices to improve actuator performance and methods for fabricating the same |
US6882766B1 (en) | 2001-06-06 | 2005-04-19 | Calient Networks, Inc. | Optical switch fabric with redundancy |
EP1535099A2 (de) * | 2002-06-19 | 2005-06-01 | Miradia, Inc. | Reflektierender räumlicher lichtmodulator |
US6925710B1 (en) | 2002-03-27 | 2005-08-09 | Analog Devices, Inc. | Method for manufacturing microelectromechanical combdrive device |
US7023604B2 (en) | 2000-03-25 | 2006-04-04 | Analog Devices, Inc. | Three dimensional optical switches and beam steering modules |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29618818U1 (de) * | 1996-10-29 | 1996-12-12 | CMS Mikrosysteme GmbH Chemnitz, 09577 Niederwiesa | Mikromechanische optische Schalteinheit |
-
1997
- 1997-12-19 DE DE1997157181 patent/DE19757181A1/de not_active Ceased
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29618818U1 (de) * | 1996-10-29 | 1996-12-12 | CMS Mikrosysteme GmbH Chemnitz, 09577 Niederwiesa | Mikromechanische optische Schalteinheit |
Cited By (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6563106B1 (en) | 2000-02-01 | 2003-05-13 | Calient Networks, Inc. | Micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device and methods for fabricating the same |
US6753638B2 (en) | 2000-02-03 | 2004-06-22 | Calient Networks, Inc. | Electrostatic actuator for micromechanical systems |
US6480319B2 (en) | 2000-03-24 | 2002-11-12 | Onix Microsystems, Inc. | Apparatus and method for 2-dimensional steered-beam NxM optical switch using single-axis mirror arrays |
US6819822B2 (en) | 2000-03-24 | 2004-11-16 | Analog Devices, Inc. | Two-dimensional gimbaled scanning actuator with vertical electrostatic comb-drive for actuation and/or sensing |
US6744173B2 (en) | 2000-03-24 | 2004-06-01 | Analog Devices, Inc. | Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods |
US6629461B2 (en) | 2000-03-24 | 2003-10-07 | Onix Microsystems, Inc. | Biased rotatable combdrive actuator methods |
US6593677B2 (en) | 2000-03-24 | 2003-07-15 | Onix Microsystems, Inc. | Biased rotatable combdrive devices and methods |
WO2001073935A2 (en) * | 2000-03-24 | 2001-10-04 | Onix Microsystems, Inc. | Optical switch employing biased rotatable comb drive devices and methods |
WO2001073935A3 (en) * | 2000-03-24 | 2002-04-18 | Onix Microsystems Inc | Optical switch employing biased rotatable comb drive devices and methods |
US6437902B2 (en) | 2000-03-24 | 2002-08-20 | Onix Microsystems | Optical beam steering switching system |
US7023604B2 (en) | 2000-03-25 | 2006-04-04 | Analog Devices, Inc. | Three dimensional optical switches and beam steering modules |
US6578974B2 (en) | 2000-05-18 | 2003-06-17 | Calient Networks, Inc. | Micromachined apparatus for improved reflection of light |
US6612706B2 (en) | 2000-05-18 | 2003-09-02 | Calient Networks, Inc. | Micromachined apparatus for improved reflection of light |
US6585383B2 (en) | 2000-05-18 | 2003-07-01 | Calient Networks, Inc. | Micromachined apparatus for improved reflection of light |
WO2001092943A2 (en) * | 2000-05-30 | 2001-12-06 | Siwave, Inc. | Low insertion loss non-blocking optical switch |
WO2001092943A3 (en) * | 2000-05-30 | 2003-08-07 | Siwave Inc | Low insertion loss non-blocking optical switch |
US6560384B1 (en) | 2000-06-01 | 2003-05-06 | Calient Networks, Inc. | Optical switch having mirrors arranged to accommodate freedom of movement |
WO2001094253A3 (en) * | 2000-06-02 | 2002-04-04 | Calient Networks Inc | Bulk silicon structures with thin film flexible elements |
WO2001095007A3 (en) * | 2000-06-02 | 2003-01-23 | Calient Networks Inc | An optical switch using collimated arrays with non-collinear beams |
WO2001095007A2 (en) * | 2000-06-02 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | An optical switch using collimated arrays with non-collinear beams |
WO2001094253A2 (en) * | 2000-06-02 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | Bulk silicon structures with thin film flexible elements |
WO2001095010A2 (en) * | 2000-06-05 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | A safe procedure for moving mirrors in an optical cross-connect switch |
WO2001095013A2 (en) * | 2000-06-05 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | Positioning a movable reflector in an optical switch |
WO2001095013A3 (en) * | 2000-06-05 | 2002-08-29 | Calient Networks Inc | Positioning a movable reflector in an optical switch |
US6610974B1 (en) | 2000-06-05 | 2003-08-26 | Calient Networks, Inc. | Positioning a movable reflector in an optical switch |
WO2001095010A3 (en) * | 2000-06-05 | 2002-10-17 | Calient Networks Inc | A safe procedure for moving mirrors in an optical cross-connect switch |
WO2001095009A2 (en) * | 2000-06-05 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | Method and apparatus for mirror control in an optical cross-connect switch |
WO2001095009A3 (en) * | 2000-06-05 | 2002-10-17 | Calient Networks Inc | Method and apparatus for mirror control in an optical cross-connect switch |
WO2001095011A3 (en) * | 2000-06-06 | 2002-09-19 | Calient Networks Inc | Maintaining path integrity in an optical switch |
US6587611B1 (en) | 2000-06-06 | 2003-07-01 | Calient Networks, Inc. | Maintaining path integrity in an optical switch |
WO2001095011A2 (en) * | 2000-06-06 | 2001-12-13 | Calient Networks, Inc. | Maintaining path integrity in an optical switch |
US6825967B1 (en) | 2000-09-29 | 2004-11-30 | Calient Networks, Inc. | Shaped electrodes for micro-electro-mechanical-system (MEMS) devices to improve actuator performance and methods for fabricating the same |
US6792177B2 (en) | 2001-03-12 | 2004-09-14 | Calient Networks, Inc. | Optical switch with internal monitoring |
US6882766B1 (en) | 2001-06-06 | 2005-04-19 | Calient Networks, Inc. | Optical switch fabric with redundancy |
US7248760B1 (en) | 2001-06-06 | 2007-07-24 | Calient Networks, Inc. | Optical switch fabric with redundancy |
US7496252B1 (en) | 2001-06-06 | 2009-02-24 | Calient Networks, Inc. | Optical switch fabric with redundancy |
US6544863B1 (en) | 2001-08-21 | 2003-04-08 | Calient Networks, Inc. | Method of fabricating semiconductor wafers having multiple height subsurface layers |
US6925710B1 (en) | 2002-03-27 | 2005-08-09 | Analog Devices, Inc. | Method for manufacturing microelectromechanical combdrive device |
EP1535099A2 (de) * | 2002-06-19 | 2005-06-01 | Miradia, Inc. | Reflektierender räumlicher lichtmodulator |
EP1535099A4 (de) * | 2002-06-19 | 2006-02-01 | Miradia Inc | Reflektierender räumlicher lichtmodulator |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19757181A1 (de) | Einrichtung zur Kopplung von Glasfasern | |
DE3004714C2 (de) | Mechanischer, optischer Umschalter | |
DE3020461C2 (de) | ||
DE69914344T2 (de) | Nichtblockierender optischer schalterkern mit optimierter schaltarchitektur basierend auf reziprozitätsbedingungen | |
DE2539865C3 (de) | Hauptverteiler für eine Fernsprechvermittlungseinrichtung | |
DE69839307T2 (de) | Verbindungssystem für optische netzwerke | |
DE69019173T2 (de) | Verdrahtungsvorrichtung für optische Fasern. | |
DE3852184T2 (de) | Optischer Matrixschalter. | |
EP0399139B1 (de) | Verfahren zur Erweiterung eines dreistufigen regelmässigen Koppelfeldes | |
WO2011057811A2 (de) | Verfahren zur herstellung einer optischen baugruppe, optische baugruppe sowie splitterkaskade | |
DE69021891T2 (de) | Faseroptischer schalter. | |
DE69410130T2 (de) | Schaltvorrichtung für optische Fibern | |
DE3750072T2 (de) | Informations-Übertragungseinrichtung unter Verwendung von Elektronenstrahlen. | |
EP0104576A2 (de) | Optisches Kopplernetzwerk zum Verkoppeln von mehreren Teilnehmersendern mit mehreren Teilnehmerempfängern mittels optischer Sternkoppler | |
DE19500214A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Umschalten von optischen Signalleitungen | |
DE3218193C2 (de) | Opto-elektronische Schaltmatrix | |
DE4112932C2 (de) | Optischer Koordinatenkoppler | |
DE102019002764A1 (de) | Bildschirm | |
DE3423221A1 (de) | Optischer sternkoppler mit einer grossen zahl von ein- und ausgaengen | |
DE4112752A1 (de) | Verbindungselement fuer aus kunststoff bestehende, lichtleitende fasern | |
DE69013781T2 (de) | Optisches Informationsübertragungssystem, insbesondere für Flugzeuge. | |
DE102008036398B3 (de) | Cross-Connect-Struktur für optische Signale | |
DE3020461C1 (de) | ||
DE3151093C2 (de) | Gruppe von Lichtschaltern für ein Vermittlungssystem | |
DE60118519T2 (de) | Optische Bank |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8131 | Rejection |