RU2004111488A - Эуф источник с вращающимися электродами и способ получения эуф излучения из газоразрядной плазмы - Google Patents

Claims (8)

1. Источник ЭУФ излучения с вращающимися электродами, жестко закрепленными на валу, включающий в себя импульсную систему инициирования разряда и источник питания разряда, подсоединенный к электродам, отличающийся тем, что в качестве электродов использованы два дискообразных элемента, центральные оси симметрии которых совмещены с осью вала, периферийная часть поверхности, по крайней мере, одного из электродов покрыта слоем легкоплавкого металла, и введена система подачи легкоплавкого металла на поверхность, по крайней мере, одного из электродов, а в качестве системы инициирования разряда применено устройство формирования парового канала в периферийной области межэлектродного зазора.

2. Источник ЭУФ излучения с вращающимися электродами по п.1, отличающийся тем, что в качестве устройства формирования парового канала применен лазер или электронная пушка с системой фокусировки пучка на слой легкоплавкого металла, в качестве которого использовано рабочее вещество, преимущественно олово (Sn), плазма которого имеет линии излучения в ЭУФ диапазоне спектра.

3. Источник ЭУФ излучения с вращающимися электродами по п.1, отличающийся тем, что система подачи легкоплавкого металла на поверхность электродов выполнена в виде двух ванн, заполненных жидким оловом, при этом электроды установлены с возможностью их частичного погружения в ванны при вращении.

4. Источник ЭУФ излучения с вращающимися электродами по п.3, отличающийся тем, что ванны электрически изолированы друг от друга, и источник питания подключен к вращающимся электродам посредством жидкого олова, заполняющего ванны.

5. Источник ЭУФ излучения с вращающимися электродами по п.3, отличающийся тем, что в каждой ванне с жидким оловом размещен теплообменник для отвода тепла от электродов.

6. Источник ЭУФ излучения с вращающимися электродами по п.5, отличающийся тем, что электроды снабжены лопастями для обеспечения циркуляции жидкого олова через теплообменник.

7. Способ получения ЭУФ излучения из плазмы газового разряда посредством источника ЭУФ излучения с вращающимися электродами, заключающийся в инициировании разряда между разнополярными электродами и зажигании разряда пинчевого типа при вращении с частотой v вала, отличающийся тем, что в периферийной, удаленной на расстояние R от оси вращения области межэлектродного зазора импульсно формируют канал из паров рабочего вещества для замыкания межэлектродного зазора величиной d, а затем осуществляют зажигание разряда пинчевого типа, при этом производят разрядные циклы с частотой повторения f≥2πvR/d и компенсируют расход рабочего вещества путем непрерывной подачи легкоплавкого металла на поверхность, по крайней мере, одного из электродов.

8. Способ получения ЭУФ излучения из плазмы газового разряда по п.7, отличающийся тем, что формирование парового канала осуществляют импульсным лазерным или электронным пучком, сфокусированным на слой легкоплавкого металла.