RU2002125874A

RU2002125874A - Способ нанесения ультратонких полимерных пленок

Info

Publication number: RU2002125874A
Application number: RU2002125874/12A
Authority: RU
Inventors: Пер-Эрик НОРДАЛ (NO); Пер-Эрик НОРДАЛ; Никлас ЙОХАНССОН (SE); Никлас ЙОХАНССОН
Original assignee: Тин Филм Электроникс Аса (No); Тин Филм Электроникс Аса
Priority date: 2000-02-29
Filing date: 2001-02-06
Publication date: 2004-02-20
Also published as: NO312180B1; AU771387B2; CA2401139C; KR20020075458A; CN1406173A; DE60103048D1; KR100519244B1; NO20001025D0; RU2213662C1; AU3621701A; ES2219507T3; WO2001064413A1; EP1272321A1; CA2401139A1; US20020160116A1; JP3816803B2; ATE265298T1; DE60103048T2; EP1272321B1; JP2003525121A

Claims

1. Способ получения ультратонких пленок углеродосодержащих материалов с толщиной 0,5 мкм или менее, в частности, тонких пленок полимерных материалов, с формированием пленок путем нанесения материалов из жидкой фазы на твердую поверхность, причем указанная жидкая фаза образована материалом в расплавленном состоянии или растворенным в растворителе, тогда как нанесение происходит в замкнутом пространстве, предпочтительно представляющем собой чистую комнату или закрытый объем в составе производственной установки, а используемые материалы обладают способностью проявлять, после соответствующей последующей обработки, ферроэлектрические и/или электретные свойства, отличающийся тем, что поддерживают такое общее содержание влаги в замкнутом пространстве, которое соответствует относительной влажности менее 50% в объеме воздуха, равном объему замкнутого пространства, при давлении, равном 98 кПа, за счет исключения и/или удаления воды и паров воды из, по меньшей мере, одного из следующих объектов: жидкой фазы, твердой поверхности и свободного объема указанного замкнутого пространства над твердой поверхностью во время нанесения пленки и ее последующей обработки, причем поддержание общего содержания влаги на заданном уровне в любой момент в процессе нанесения пленки и ее последующей обработки осуществляют с учетом фактического давления паров воды в замкнутом пространстве, а также содержания воды в жидкой фазе.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что удаляют воду из указанной твердой поверхности до нанесения пленки посредством одного из следующих процессов: воздействия повышенной температуры, ионной бомбардировки и обработки гигроскопической жидкостью или газом, при этом названный процесс или процессы осуществляют в атмосфере низкой влажности или в вакууме.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что перед нанесением производят откачку воздуха из замкнутого пространства.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в замкнутом пространстве перед нанесением создают контролируемую атмосферу с низким уровнем влажности или не содержащую влаги.

5. Способ по п.4, отличающийся тем, что контролируемая атмосфера имеет в своем составе один или более газов, выбранных из группы, включающей инертные газы, азот и монооксид углерода, но не ограниченной этими газами.

6. Способ по п.4, отличающийся тем, что контролируемая атмосфера представляет собой осушенный воздух.

7. Способ по п.4, отличающийся тем, что обеспечивают относительную влажность контролируемой атмосферы менее 35%.

8. Способ по п.1, отличающийся тем, что парциальное давление паров воды у твердой поверхности в процессе нанесения пленки и ее последующей обработки поддерживают на уровне ниже 1280 Па, предпочтительно ниже 960 Па.

9. Способ по п.1, отличающийся тем, что указанные углеродосодержащие материалы выбирают из неисчерпывающей группы, включающей следующие материалы: олигомеры, полимеры, сополимеры винилиденфторидов, в том числе винилиденфторида, винилидендифторида, трифторэтилена и тетрафторэтилена, винилиденхлоридов и винилиденцианидов, этилена, этилентерефталата, метилметакрилата, акрилонитрила, винилового спирта, мочевин, тиомочевин, уретанов, найлонов, поликарбоната и/или их смеси.

10. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение осуществляют посредством одного из следующих процессов, не ограничиваясь ими: центрифугирования с использованием мениска, погружения посредством ракельного ножа и напыления.