RU1807242C - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents

Abstract

Сущность изобретени : турбинна  ступень корпуса образована р дами лопаток ритора и статора. Со стороны нагнетени  расположены вспомогательные промежуточна  и выходна  ступени. Промежуточна  ступень образована спиральными пазами ротора и выступами статора переменной глубины и встречного направлени . Сопр женные поверхности ротора и статора промежуточной ступени выполнены ступенчатыми. Малый ротор установлен на валу. Выходна  ступень образована спиральными пазами внутренней поверхности выступа статора и спиральными пазами, выполненными на поверхности малого ротора, обращенной к выступу статора, встречного направлени . 2 ил.

Description

Изобретение относитс  к машиностроению .

Цель изобретени  - повышение степени сжати .

На фиг. 1 изображен общий вид насоса; на фиг. 2 - узел I на фиг. 1.

Турбомолекул рный вакуумный насос содержит корпус 1 с турбинной ступенью, образованной р дами лопаток 2 и 3 ротора

4 и статора 5, расположенные со стороны нагнетани  вспомогательные промежуточную и выходную ступени б и 7. Промежуточна  ступень 6 образована спиральными пазами 8,9 ротора 4 и выступами 10 статора

5 переменной глубины и встречного направлени , при этом сопр женные поверхности ротора 4 и статора 5 промежуточной ступени выполнены ступенчатыми, насос снабжен малым ротором 11, установленным на валу 12 насоса, а выходна  ступень 7 образована спиральными пазами 13 внутренней поверхности выступа статора 5 и спиральными пазами 14, выполненными на поверхности малого ротора 11, обращенной к выступу 10 статора 5 встречного направлени . Насос работает следующим образом. Молекулы газа из откачиваемого объема , соудар  сь с лопатками 2 вращающегос  ротора 4, приобретают импульс в направлении откачки и поступают в промежуточную ступень 6, где происходит дополнительное сжатие откачиваемого газа, а затем его откачка в выходную ступень 7.

Благодар  конструктивному исполнению промежуточной ступени 6, в результате чего зазор в этой ступени между ротором 4 и статором 5 оптически, непрозрачен, а также дополнительным спиральным пазам 14 в малом роторе 11 ступени 7 практически исключаетс  обратный переток газа в на- сос, а повышение стелен и сжати  позвол ет отказатьс  от насоса, заменив его на более простой и дешевый.

Claims (1)

1. Формула изобретени  Турбомолекул рный вакуумный насос, содержащий корпус с турбинной ступенью,

   ю

   образованной р дами лопаток ротора и статора , расположенные со стороны нагнетани  вспомогательные промежуточную и выходную ступени, отличающийс  тем, что, с целью повышени  степени сжати , промежуточна  ступень образована спиральными пазами ротора и выступами статора переменной глубины и встречного направлени , при этом сопр женные поверхности ротора и статора промежуточной ступени выполнены ступенчатыми, насос снабжен малым ротором, устанвленным на валу, а выходна  ступень образована спиральными пазами внутренней поверхности выступа статора и спиральными пазами, выполненными на поверхности малого ротора, обращенной к выступу статора, встречного направлени .

   Фиел