SU823650A1

SU823650A1 - Молекул рный вакуумный насос

Info

Publication number: SU823650A1
Application number: SU721861505A
Authority: SU
Inventors: Лев Алексеевич Беляев; Юрий Михайлович Тузанкин; Геннадий Петрович Чекалин
Original assignee: Предприятие П/Я А-3634
Priority date: 1972-12-25
Filing date: 1972-12-25
Publication date: 1981-04-23

Description

(54) МОЛЕКУЛЯРНБ1Й ВАКУУМНЫЙ НАСОС

1

Изобретение относитс к вакуумной технике , а именно к устройству молекул рных вакуумных насосов.

Известны молекул рные вакуумные насосы , содержащие конический корпус с расположенными на его внутренней поверхности кольцевыми р дами статорных лопаток и установленный по оси корпуса с зазором относительно последнего конический ротор с кольцевыми р дами роторных лопаток, расположенных с радиальным зазором относительно статорных, причем одна из боковых и торцова кромки лопаток расположены соответственно перпендикул рно и параллельно образующей ротора 1.

Недостатками известных насосов вл ютс невысока надежность, значительный обратный поток газа и мала быстроходность .

Цель изобретени - повышение надежности , уменьшение обратного потока газа, оптимизаци параметров насоса и повыщение быстроходности.

Поставленна цель достигаетс тем, что бокова кромка статорных и роторных лопаток расположена под углом к об разующей ротора, зазор между корпусом

И ротором выполнен посто нным, зазор между корпусом и ротором выполнен уменьшающимс в направлении откачки и имеет минимальную величину, превышающую в 5 - 6 раз величину радиальных зазоров, ротор выполнен полым и его полость сообщена с зазором между корпусом и ротором. На фиг. 1 изображен молекул рный насос , продольный разрез; на фиг. 2 - вариант исполнени насоса с полым ротором; на фиг. 3 - разрез А-А на фиг. 2.

Молекул рный вакуумный насос содержит конический корпус 1 с расположеннь ми на его внутренней поверхности кольцевыми р дами статорных лопаток 2 и установленный по оси корпуса 1 с зазором относительно последнего конический ротор 3 с кольцевыми 5 р дами роторных лопаток 4, расположенных с радиальными зазорами относительно статорных , причем одна из боковых и торцова кромки 5 и 6 каждой лопатки расположены соответственно перпендикул рно и параллельно образующей ротора 3, а друга бо0 кова кромка 7 статорных и роторных лопаток 2 и 4 расположена под углом к образующей ротора 3. Кроме того, зазор между корпусом 1 и ротором 3 выполнен посто нным или уменьшающимс .в направлении откачки и имеет минимальную величину, превышающую в 5 - 6 раз величину радиальных зазоров, и ротор 3 выполнен полым и его полость 8 сообщена с зазором между корпусом 1 и ротором 3.

Насос работает следующим образом.

Молекулы газа из откачиваемого объема, соудар сь с лопатками 4 вращающегос ротора 3, приобретают импульс в направлении откачки и поступают в форвакуумную полость насоса, откуда удал ютс форвакуумным насосом.

Выполнение корпуса и ротора коническими с кольцевыми р дами лопаток, у которых одна из боковых кромок перпендикул рна образующей ротора, а друга расположена под углом к последней, позвол ет повысить надежность работы насоса, а также значительно упростить его сборку.

Claims

1. Молекул рный вакуумный насос, содержащий конический корпус с расположенными на его внутренней поверхности кольцевыми р дами статорных лопаток и установленный по оси корпуса с зазором относительно последнего конический ротор с кольцевыми р дами роторных лопаток, расположенных с радиальными зазорами относительно статорных, причем одна из боковых и торцова кромки каждой лопатки расположены соответственно перпендикул рно и параллельно образующей ротора, отличающийс тем, что, с целью повышени надежности и уменьшени обратного потока газа, друга бокова кромка статорных и роторных лопаток расположена под углом к образующей ротора.

2.Насос по п. 1, отличающийс тем, что зазор между корпусом и ротором выполнен посто нным.

3.Насос по п. 1, отличающийс тем, что, с целью оптимизации параметров насоса,

зазор между корпусом и ротором выполнен уменьшающимс в направлении откачки и имеет минимальную величину, превыщающую в 5 - 6 раз величину радиальных зазоров .

4.Насос по п. 1, отличающийс тем, что, с целью повышени быстроходности, ротор выполнен полым и его полость сообщена с зазором между корпусом и ротором.

Источники- информации, 5прин тые во внимание при экспертизе

1. Патент Германии № 605902, кл. 27 с, 15/04, опублик. 1934.