RU1122015C - Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава - Google Patents

Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава

Info

Publication number
RU1122015C
RU1122015C SU3390768A RU1122015C RU 1122015 C RU1122015 C RU 1122015C SU 3390768 A SU3390768 A SU 3390768A RU 1122015 C RU1122015 C RU 1122015C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
crucible
feeder
melt
dispenser
diameter
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Б.Г. Заславский
Э.В. Даниленко
О.С. Мюлендорф
В.Я. Апилат
Л.Д. Лисовиченко
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6496
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6496 filed Critical Предприятие П/Я Р-6496
Priority to SU3390768 priority Critical patent/RU1122015C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1122015C publication Critical patent/RU1122015C/ru

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЙЫТЯГИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА, включающее ростовую камеру, расположенные в ней тигель дл  расплава, установленный в нем питатель, соединенный с ним через дозатор транспортной трубкой, введенной вертикально в дозатор, и выполненный в виде тора, средство регулировани  уровн  расплава в тигле и нагреватели, размеще ные под тиглем коаксиально с внешней стороны тигл  и питател , отличающеес  тем, что, с целью получени  крупногабаритных сцинтилл ционных кристаллов за счет повышени  точности поддержани  уровн  расплава в тигле, питатель установлен под тиглем и выполнен с внешними внутренним диаметрами, составл ющими соответственно 1-1,2 и 0,7-0,9 диаметра тигл , а транс .портна  трубка введена в дозатор через его дно. 2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю ще ес   тем, что средство регулировани  уровн  расплава в тигле выполнено в виде щупа, один конец которого размещен в дозаторе, ша другой соединен злектрически с системой подачи инертного газа в питатель.

Description

Изобретение относитс  к одной из областей химической технологии - выращиванию кристаллов, к устройствам дл  выт гивани  кристаллов из расплава. Оно может найти применение в химической и электронной промышленности при производстве путем автоматизированного выт гивани  из расплава крупногабаритных щелочно-галоидных кристаллов.
Цель изобретени  - получение крупногабаритных сцинтилл ционных кристаллов за счет повышени  точности поддержани  уровн  расплава в тигле.
На фиг. 1 представлен общий вид устройства , разрез; на фиг. 2 - вид тигл  и
системы подпитки, разрез; на фиг. 3 - разЮ рез А-А на фиг. 2.
ю о
Устройство содержит герметичную ростовую камеру 1, в которой размещены конический тигель 2 и питатель 3. Питатель 3
ел выполнен в виде тора (см. фиг. 2), расположен коаксиально под тиглем. Внешний диа метр питател  D составл ет 1-1,2, а внутренний d- 0.7 - 0,9 диаметра тигл  (d).
Объем питател  3 соединен с тиглем 2 вертикальной транспортной трубкой 4, котора  введена в дозатор 5 через его дно на высоту 0,9 от высоты дозатора 5 тигл  2. В верхней части трубки 4 имеетс  выходное отверстие 6. Дозатор 5 соединен с тиглем 2 горизонтальной переточной трубкой 7. Тигель 2 и питатель 3 жестко соединены друг с другом при помощи в ртикэльных 8 и представл ют собой единую (ем. фиг, 2) конструкцию (тигель-питатель).
Тепловое поле в ростовой камере формируетс  цилиндрически боковым 9 и донным 10 нагревател ми. Донный нагреватель 10 выполнен 8 виде спирали Архимеда. В дозатор 5 сверху через крышку камеры 1 введен щуп 11 (фиг. 1), который подключен к входу блока 12 управлени  подпиткой и входу системы регулировани  диаметра кристалла, состо щей из блока 13 измерени  интервалов времени между подпитками , программатора 14 заданных интервалов, блока 15 сравнени  этих интервалов и блока 16 коррекции темпераг/ры. Выходы блоков 13 и 14 подключены к входу блока 15, а выход блока 15 подключен к входу блока 16. Выход блока 12 управлени  подпиткой подключен к обмотке электромагнитного клапана 17, управл ющего подачей инертного газа в объем питател  3 через трубку 18, соединенной с питателем на коническом разьеме 19, которым снабжен загрузочный патрубок 20. Через крышку ростовой камеры 1 герметично введен шток 21 кристаллодержател . Кристалл 22 выт гивают иа затравке 23 с прмоидью механизма перемещени  и враа(ени  кристаллодержател , которые на фиг. 1 не показаны.
Устройство работает следующл; ; кбразом . Исходное сырье в виде мелкокристаллического порошка и активатор загружают в питатель 3 через загрузочный патрубок 20 и устанавливают тигель-питатель в печи в рабочее положение. Устанавливают затравку 23 в кристаллодержателе и ввод т щуп 11 в дозаторов исходное положение.
Герметизируют все уплотнени  печи, сушат сырье при откачке и расплавл ют. Включают блок 12 управлени  подпиткой, при этом расплав из питател  3 под давлением инертного газа поступает в тигель 2. Высота исходного столба расплава 2 (или диаметр зеркала расплава) зависит от положени  кончика щупа 11 относительно дна Дозатора 5. Начинают радиальный рост как обычно по методу Киропулоса при одновременном выт гивании кристалла. В дальнейшем при понижении уровн  расплава в тигле 2 вплоть до разрыва предельно выт нутого мениска между щупом 11 и поверхностью расплава в дозаторе 5 блок 12 управлени  подпиткой включает ток в обмотке электромагнитного клапана 17. Сердечник клапана поднимаетс  и инертный газ выдавливает расплав из питател  3 по транспортной трубке 4 в дозатор 5. При
замыкании контакта щуп-расплав обмотка клапана 17 обесточиваетс  и сердечник перекрыйзет подачу инертного газа в питатель . Подпитка прекращаетс . Расплав из
дозатора перетекает в тигель и т. д.
Донный нагреватель 10, расположенный под тиглем 2 во внутренней полости питател  3, обеспечивает вместе с боковым цилиндрическим нагревателем 9 расплавле0 ние сырь  в тигле 2 и в питателе 3.
Выращивают монокристалл NaJ(T) диаметром 450 мм в предложенном устройстве следующим образом. Платиновый конический тигель 2 (см. фиг, 1) диаметром 500 мм
5 с углом при вершине 130° С расположен над питателем 3 и соосно соединен с ним при помоа(и дес ти вертикальных стоек 8 диаметром 20 мм и высотой 120 мм. Платиновый питатель 3 выполнен в виде тора
0 пр моугольного сечени .
Внешний диаметр питатели равен 600 мм (500 X 1,2). внутренний 400 мм(500X0,8). высота 200 мм, толщина стенок 1 мм.
Дозатор 5, представл ющий собой ци
5 линдрический сосуд диаметром 30 мм и высотой 120 мм,. располо)1(ен с внешней стороны тигл  2 параллельно его оси на кратчайшем рассто нии и соединен с тиглем гориг5онтальной переточной трубкой 7 с
0 внутренним диаметром 5 мм. Переточиап трубка 7 вварена в нижних част х конического тигл  2 и дозатора 5, что дает возможность задавать любой исходный уровень расплава в .тигле. Транспортна  трубка 4
5 диаметром 5 мм дл  подачи расплава из питател  3 в дозатор 5 введена вертикально из объема питател  в дозатор через его дно, причем ось трубки 4 смещена от оси дозато .ра 5 на четверть его диаметра дл  удобства
0 размещени  щупа 11. Нижний торец транспортной трубки 4, наход щийс  у дна питател  3, срезан под углом 45° дл  предотвращени  перекрыти  еэ дном питател . Трубка 4 вварена в дозатор 5 на 0.9 его
5 высоты (или высоты тигл ).
Верхний торец трубки 4 заглушен, а выходное отверстие 6 диаметром 1,5 мм расположено в верхней части стенки трубки 4. обращенной в противоположную сторону от.
0 щупа 11 дл  того, чтобы стру  в момент подпитки не попадала непосредственно на щуп, а стекала по стенке дозатора 5. Щуп 11 представл ет собой платиновую проволоку диаметром 1 мм, заключенную ,цл  жестко5 сти в кварцевую или керамическую трубку диаметром 8-10 мм. Щуп введен в дозатор сверху через крышку ростовой камеры 1. Диаметр загрузочного патрубка 20 равен 30 мм. Мощности бокового 9 и донного 10 нагревателей равны по 10 кВт.
Процесс выращивани  состоит из двух основных стадий: стадии подготовки устройства и непосредственно стадии выращипани ,
Стади  подготовки устройства заключаетс  в следующем, В тщательно вымытый и высушенный питатель 3 через патрубок 20 загружают исходное сырье (йодистый натрии , около 40 кг) и активатор (йо 1истый таллий, около 0,4 кг). Устанавливают тигельпитатель в ростовой камере 1 в рабочее положение и центрируют относительно нагревателей 9 и 10 и штока 21 кристаллодержател . Закрепл ют затрав.ку 23, Устанавливают в исходное положение щуп 11 (кончик щупа находитс  на рассто нии 10 мм от дна дозатора) и трубку 18 дл  подачи инертного газа в питатель. Герметизируют все уплотнени . Сушат исходное сырье в питателе при откачке в течение 24 ч, повыша  температуру на нагревател х до 400° С. Заполн ют объем ростовой камеры 1 и питател  3 сухим аргоном до избыточного давлени  0,005-0,1 атм и расплавл ют сырье в питателе, повысив температуру на донном 10 и боковом 9 нагревател х до 780° С и 850° С соответственно. Включают блок 12 управлени  подпиткой, при этом в отсутствие контакта щупа 11 с расплавом электромагнитный клапан 17 открываетс  и аргон передавливает расплав из питател  3 по транспортной трубке 4 в дозатор 5 до замыкани  контакта щуп-расплаз. Из дозатора 5 расплав по трубке 7 перетекает в тигель 2 При разрыве контакта щуп-расплав  ктНод питки повтор етс  и т, д. Диаметр исходно .го зеркала расплава в коническом тигле определ етс  поломсением щупа 11. Опускают затравку 23 до соприкосновени  ее с расплавом и корректируют температуру нагревателей дл  оплавлени  затравки и достижени  начала роста.
Радиальный рост ведут при перемещении штока 21 кристаллодержател  вверх с заданной скоростью 3-5 мм и при перемещении щупа 11 вверх со скоростью 2-5 мм, Перемещение щупа обеспечивает увеличение диаметра зеркала расплава на всем поот жении стадии радиального ростаПри выращении кристалла в высоту переысщени« щупа 11 прекращают. Скорость кристаллизации (диаметр криеталла) на стади х радиального роста и роста в высоту автоматически регулируетс  по частоте дозированных подпиток с помощью блоков 13-16.
Тороидальна  форма питател  не нарушает осевой симметрии теплоаого пол  в
ростовой камере, формируемого, боковым 9 и донным 10 нагревател ми. Оба нагревател , кроме своих основных Функций - р сплазлени  сырь  в тигле и формировани  заданного фронта кристаллизации, обеспечивают расплавление исходного сырь  в питател х . Расположение питател  з ростовой камере под тиглем и ввод транспортной трубки в дозатор через его дно упрощает также и подачу расплава в тигель, так как отпадает необходимость в дополимтельком нагревателе дл  транспортной трубки. Соотношени  внешнего и внутреннего диамет .ров питател  и тигл , равные 1-1,2 и 0,7-0,9 соответственно, подобраны эксперипентально и  вл ютс  оптимальными, так как позвол ют сохранить прежними геометрические размеры и мощности нагревателей ростовой камеры и обеспечивают возможность установки питател  и тигл  в рабочее положение и их центровку относительно нагревателей и штока кристаллодержател .
Увеличение внешнего диаметра питател  относительно диаметра тигл , т. е, уход от соотношений D/dr 1,2 (см. фиг. 2) к б6льши,м значени м, приводит к еще большему удалению бокового нагревател  от тигл  (см, фиг, 1), что нежелательно, так как в этом случае затрудн етс  управление процессом роста из-за увеличени  тепловой; инерционности и, кроме того, приводит к необходимости повысить темперагуру бокового нагревател  дл  расплавлени  сырь  в тигле. Уменьшение же этого соогношени , т. е, уход от D/dT 1 к меньшим значеин м, приводит к уменьшению объема питател , что также нежелательно при выращивании крупногабаритных кристаллов. Последнее обсто тельство делает иецелесообразны,м увеличание Енутреннего диаметра питател  относительно диаметра тигл , т, е, уход от соотношении d/dT 0,9 к большим значени м . Уменьшение этого соотношени  - уход d/dT 0,7 в сторону меньших значений приводит к уменьшению диаметра донного нагревател  и уменьшению его вли ни  на формирооакие заданного фронта кристаллизации .
Как следует от приведенного разь снени , только пр« за вл емом соотношении диаметров питател  и тигл  становитс  возможной работа устройстаа в устойчивом режиг-ао и достигаетс  упрощение конструкции, так как но требуетс  допр/жительного нагреаател .
Предлагаемое устройстоо поззол ет получать крупногабаритные сцинтилл  ионные кристаллы.
10 7
Фиг.1
Щиг.1 га--/
№J
SU3390768 1981-12-23 1981-12-23 Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава RU1122015C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3390768 RU1122015C (ru) 1981-12-23 1981-12-23 Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3390768 RU1122015C (ru) 1981-12-23 1981-12-23 Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1122015C true RU1122015C (ru) 1993-04-15

Family

ID=20995485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU3390768 RU1122015C (ru) 1981-12-23 1981-12-23 Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1122015C (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 692158, кл. С 30 В 15/02, 1975. Патент US № 4036595, кл. В 01 J 17/18. 1977. Авторское свидетельство СССР Nfe 758604. кл. С 30 В 15/02, 1978. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8652257B2 (en) Controlled gravity feeding czochralski apparatus with on the way melting raw material
US4203951A (en) Apparatus for growing single crystals from melt with additional feeding of comminuted charge
EP0170856B1 (en) Process for growing monocrystals of semiconductor materials from shallow crucibles by czochralski technique
KR950003431B1 (ko) 초크랄스키 도가니 인출에 있어서 연속적인 액상실리콘 재충전 방법
EP0537988B1 (en) An apparatus for supplying granular raw material for a semiconductor single crystal pulling apparatus
KR101279736B1 (ko) 단결정 실리콘 연속성장 시스템 및 방법
JP2008531444A5 (ru)
KR930003044B1 (ko) 실리콘 단결정의 제조방법 및 장치
JP2013129551A (ja) 単結晶製造装置及び単結晶製造方法
JPH037637B2 (ru)
TWI516650B (zh) 熔融設備
US5820649A (en) Method of and apparatus for continuously producing a solid material
CN214218910U (zh) 一种半导体加工用硅材料热熔成锭装置
RU1122015C (ru) Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава
US3119778A (en) Method and apparatus for crystal growth
JP2010222162A (ja) ドープ剤供給装置及び半導体単結晶製造装置
JPH04154687A (ja) 半導体単結晶製造装置
JP4916425B2 (ja) 結晶成長方法およびその装置
JP4221797B2 (ja) シリコン単結晶育成前の多結晶シリコンの融解方法
TW200307065A (en) Production method and production device for single crystal
US20230272552A1 (en) Ingot puller apparatus having silicon feed tubes with kick plates
JPS6395195A (ja) 結晶引上げ方法及び装置
WO2022144387A1 (en) Use of buffer members during growth of single crystal silicon ingots
JP3719329B2 (ja) シリコン単結晶用引上げ装置
CN116783333A (zh) 在单晶硅锭生长期间使用缓冲剂