RU1122015C - Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава - Google Patents
Устройство дл выт гивани кристаллов из расплаваInfo
- Publication number
- RU1122015C RU1122015C SU3390768A RU1122015C RU 1122015 C RU1122015 C RU 1122015C SU 3390768 A SU3390768 A SU 3390768A RU 1122015 C RU1122015 C RU 1122015C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- crucible
- feeder
- melt
- dispenser
- diameter
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЙЫТЯГИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА, включающее ростовую камеру, расположенные в ней тигель дл расплава, установленный в нем питатель, соединенный с ним через дозатор транспортной трубкой, введенной вертикально в дозатор, и выполненный в виде тора, средство регулировани уровн расплава в тигле и нагреватели, размеще ные под тиглем коаксиально с внешней стороны тигл и питател , отличающеес тем, что, с целью получени крупногабаритных сцинтилл ционных кристаллов за счет повышени точности поддержани уровн расплава в тигле, питатель установлен под тиглем и выполнен с внешними внутренним диаметрами, составл ющими соответственно 1-1,2 и 0,7-0,9 диаметра тигл , а транс .портна трубка введена в дозатор через его дно. 2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю ще ес тем, что средство регулировани уровн расплава в тигле выполнено в виде щупа, один конец которого размещен в дозаторе, ша другой соединен злектрически с системой подачи инертного газа в питатель.
Description
Изобретение относитс к одной из областей химической технологии - выращиванию кристаллов, к устройствам дл выт гивани кристаллов из расплава. Оно может найти применение в химической и электронной промышленности при производстве путем автоматизированного выт гивани из расплава крупногабаритных щелочно-галоидных кристаллов.
Цель изобретени - получение крупногабаритных сцинтилл ционных кристаллов за счет повышени точности поддержани уровн расплава в тигле.
На фиг. 1 представлен общий вид устройства , разрез; на фиг. 2 - вид тигл и
системы подпитки, разрез; на фиг. 3 - разЮ рез А-А на фиг. 2.
ю о
Устройство содержит герметичную ростовую камеру 1, в которой размещены конический тигель 2 и питатель 3. Питатель 3
ел выполнен в виде тора (см. фиг. 2), расположен коаксиально под тиглем. Внешний диа метр питател D составл ет 1-1,2, а внутренний d- 0.7 - 0,9 диаметра тигл (d).
Объем питател 3 соединен с тиглем 2 вертикальной транспортной трубкой 4, котора введена в дозатор 5 через его дно на высоту 0,9 от высоты дозатора 5 тигл 2. В верхней части трубки 4 имеетс выходное отверстие 6. Дозатор 5 соединен с тиглем 2 горизонтальной переточной трубкой 7. Тигель 2 и питатель 3 жестко соединены друг с другом при помощи в ртикэльных 8 и представл ют собой единую (ем. фиг, 2) конструкцию (тигель-питатель).
Тепловое поле в ростовой камере формируетс цилиндрически боковым 9 и донным 10 нагревател ми. Донный нагреватель 10 выполнен 8 виде спирали Архимеда. В дозатор 5 сверху через крышку камеры 1 введен щуп 11 (фиг. 1), который подключен к входу блока 12 управлени подпиткой и входу системы регулировани диаметра кристалла, состо щей из блока 13 измерени интервалов времени между подпитками , программатора 14 заданных интервалов, блока 15 сравнени этих интервалов и блока 16 коррекции темпераг/ры. Выходы блоков 13 и 14 подключены к входу блока 15, а выход блока 15 подключен к входу блока 16. Выход блока 12 управлени подпиткой подключен к обмотке электромагнитного клапана 17, управл ющего подачей инертного газа в объем питател 3 через трубку 18, соединенной с питателем на коническом разьеме 19, которым снабжен загрузочный патрубок 20. Через крышку ростовой камеры 1 герметично введен шток 21 кристаллодержател . Кристалл 22 выт гивают иа затравке 23 с прмоидью механизма перемещени и враа(ени кристаллодержател , которые на фиг. 1 не показаны.
Устройство работает следующл; ; кбразом . Исходное сырье в виде мелкокристаллического порошка и активатор загружают в питатель 3 через загрузочный патрубок 20 и устанавливают тигель-питатель в печи в рабочее положение. Устанавливают затравку 23 в кристаллодержателе и ввод т щуп 11 в дозаторов исходное положение.
Герметизируют все уплотнени печи, сушат сырье при откачке и расплавл ют. Включают блок 12 управлени подпиткой, при этом расплав из питател 3 под давлением инертного газа поступает в тигель 2. Высота исходного столба расплава 2 (или диаметр зеркала расплава) зависит от положени кончика щупа 11 относительно дна Дозатора 5. Начинают радиальный рост как обычно по методу Киропулоса при одновременном выт гивании кристалла. В дальнейшем при понижении уровн расплава в тигле 2 вплоть до разрыва предельно выт нутого мениска между щупом 11 и поверхностью расплава в дозаторе 5 блок 12 управлени подпиткой включает ток в обмотке электромагнитного клапана 17. Сердечник клапана поднимаетс и инертный газ выдавливает расплав из питател 3 по транспортной трубке 4 в дозатор 5. При
замыкании контакта щуп-расплав обмотка клапана 17 обесточиваетс и сердечник перекрыйзет подачу инертного газа в питатель . Подпитка прекращаетс . Расплав из
дозатора перетекает в тигель и т. д.
Донный нагреватель 10, расположенный под тиглем 2 во внутренней полости питател 3, обеспечивает вместе с боковым цилиндрическим нагревателем 9 расплавле0 ние сырь в тигле 2 и в питателе 3.
Выращивают монокристалл NaJ(T) диаметром 450 мм в предложенном устройстве следующим образом. Платиновый конический тигель 2 (см. фиг, 1) диаметром 500 мм
5 с углом при вершине 130° С расположен над питателем 3 и соосно соединен с ним при помоа(и дес ти вертикальных стоек 8 диаметром 20 мм и высотой 120 мм. Платиновый питатель 3 выполнен в виде тора
0 пр моугольного сечени .
Внешний диаметр питатели равен 600 мм (500 X 1,2). внутренний 400 мм(500X0,8). высота 200 мм, толщина стенок 1 мм.
Дозатор 5, представл ющий собой ци
5 линдрический сосуд диаметром 30 мм и высотой 120 мм,. располо)1(ен с внешней стороны тигл 2 параллельно его оси на кратчайшем рассто нии и соединен с тиглем гориг5онтальной переточной трубкой 7 с
0 внутренним диаметром 5 мм. Переточиап трубка 7 вварена в нижних част х конического тигл 2 и дозатора 5, что дает возможность задавать любой исходный уровень расплава в .тигле. Транспортна трубка 4
5 диаметром 5 мм дл подачи расплава из питател 3 в дозатор 5 введена вертикально из объема питател в дозатор через его дно, причем ось трубки 4 смещена от оси дозато .ра 5 на четверть его диаметра дл удобства
0 размещени щупа 11. Нижний торец транспортной трубки 4, наход щийс у дна питател 3, срезан под углом 45° дл предотвращени перекрыти еэ дном питател . Трубка 4 вварена в дозатор 5 на 0.9 его
5 высоты (или высоты тигл ).
Верхний торец трубки 4 заглушен, а выходное отверстие 6 диаметром 1,5 мм расположено в верхней части стенки трубки 4. обращенной в противоположную сторону от.
0 щупа 11 дл того, чтобы стру в момент подпитки не попадала непосредственно на щуп, а стекала по стенке дозатора 5. Щуп 11 представл ет собой платиновую проволоку диаметром 1 мм, заключенную ,цл жестко5 сти в кварцевую или керамическую трубку диаметром 8-10 мм. Щуп введен в дозатор сверху через крышку ростовой камеры 1. Диаметр загрузочного патрубка 20 равен 30 мм. Мощности бокового 9 и донного 10 нагревателей равны по 10 кВт.
Процесс выращивани состоит из двух основных стадий: стадии подготовки устройства и непосредственно стадии выращипани ,
Стади подготовки устройства заключаетс в следующем, В тщательно вымытый и высушенный питатель 3 через патрубок 20 загружают исходное сырье (йодистый натрии , около 40 кг) и активатор (йо 1истый таллий, около 0,4 кг). Устанавливают тигельпитатель в ростовой камере 1 в рабочее положение и центрируют относительно нагревателей 9 и 10 и штока 21 кристаллодержател . Закрепл ют затрав.ку 23, Устанавливают в исходное положение щуп 11 (кончик щупа находитс на рассто нии 10 мм от дна дозатора) и трубку 18 дл подачи инертного газа в питатель. Герметизируют все уплотнени . Сушат исходное сырье в питателе при откачке в течение 24 ч, повыша температуру на нагревател х до 400° С. Заполн ют объем ростовой камеры 1 и питател 3 сухим аргоном до избыточного давлени 0,005-0,1 атм и расплавл ют сырье в питателе, повысив температуру на донном 10 и боковом 9 нагревател х до 780° С и 850° С соответственно. Включают блок 12 управлени подпиткой, при этом в отсутствие контакта щупа 11 с расплавом электромагнитный клапан 17 открываетс и аргон передавливает расплав из питател 3 по транспортной трубке 4 в дозатор 5 до замыкани контакта щуп-расплаз. Из дозатора 5 расплав по трубке 7 перетекает в тигель 2 При разрыве контакта щуп-расплав ктНод питки повтор етс и т, д. Диаметр исходно .го зеркала расплава в коническом тигле определ етс поломсением щупа 11. Опускают затравку 23 до соприкосновени ее с расплавом и корректируют температуру нагревателей дл оплавлени затравки и достижени начала роста.
Радиальный рост ведут при перемещении штока 21 кристаллодержател вверх с заданной скоростью 3-5 мм и при перемещении щупа 11 вверх со скоростью 2-5 мм, Перемещение щупа обеспечивает увеличение диаметра зеркала расплава на всем поот жении стадии радиального ростаПри выращении кристалла в высоту переысщени« щупа 11 прекращают. Скорость кристаллизации (диаметр криеталла) на стади х радиального роста и роста в высоту автоматически регулируетс по частоте дозированных подпиток с помощью блоков 13-16.
Тороидальна форма питател не нарушает осевой симметрии теплоаого пол в
ростовой камере, формируемого, боковым 9 и донным 10 нагревател ми. Оба нагревател , кроме своих основных Функций - р сплазлени сырь в тигле и формировани заданного фронта кристаллизации, обеспечивают расплавление исходного сырь в питател х . Расположение питател з ростовой камере под тиглем и ввод транспортной трубки в дозатор через его дно упрощает также и подачу расплава в тигель, так как отпадает необходимость в дополимтельком нагревателе дл транспортной трубки. Соотношени внешнего и внутреннего диамет .ров питател и тигл , равные 1-1,2 и 0,7-0,9 соответственно, подобраны эксперипентально и вл ютс оптимальными, так как позвол ют сохранить прежними геометрические размеры и мощности нагревателей ростовой камеры и обеспечивают возможность установки питател и тигл в рабочее положение и их центровку относительно нагревателей и штока кристаллодержател .
Увеличение внешнего диаметра питател относительно диаметра тигл , т. е, уход от соотношений D/dr 1,2 (см. фиг. 2) к б6льши,м значени м, приводит к еще большему удалению бокового нагревател от тигл (см, фиг, 1), что нежелательно, так как в этом случае затрудн етс управление процессом роста из-за увеличени тепловой; инерционности и, кроме того, приводит к необходимости повысить темперагуру бокового нагревател дл расплавлени сырь в тигле. Уменьшение же этого соогношени , т. е, уход от D/dT 1 к меньшим значеин м, приводит к уменьшению объема питател , что также нежелательно при выращивании крупногабаритных кристаллов. Последнее обсто тельство делает иецелесообразны,м увеличание Енутреннего диаметра питател относительно диаметра тигл , т, е, уход от соотношении d/dT 0,9 к большим значени м . Уменьшение этого соотношени - уход d/dT 0,7 в сторону меньших значений приводит к уменьшению диаметра донного нагревател и уменьшению его вли ни на формирооакие заданного фронта кристаллизации .
Как следует от приведенного разь снени , только пр« за вл емом соотношении диаметров питател и тигл становитс возможной работа устройстаа в устойчивом режиг-ао и достигаетс упрощение конструкции, так как но требуетс допр/жительного нагреаател .
Предлагаемое устройстоо поззол ет получать крупногабаритные сцинтилл ионные кристаллы.
10 7
Фиг.1
Щиг.1 га--/
№J
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3390768 RU1122015C (ru) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3390768 RU1122015C (ru) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1122015C true RU1122015C (ru) | 1993-04-15 |
Family
ID=20995485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU3390768 RU1122015C (ru) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1122015C (ru) |
-
1981
- 1981-12-23 RU SU3390768 patent/RU1122015C/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 692158, кл. С 30 В 15/02, 1975. Патент US № 4036595, кл. В 01 J 17/18. 1977. Авторское свидетельство СССР Nfe 758604. кл. С 30 В 15/02, 1978. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8652257B2 (en) | Controlled gravity feeding czochralski apparatus with on the way melting raw material | |
US4203951A (en) | Apparatus for growing single crystals from melt with additional feeding of comminuted charge | |
EP0170856B1 (en) | Process for growing monocrystals of semiconductor materials from shallow crucibles by czochralski technique | |
KR950003431B1 (ko) | 초크랄스키 도가니 인출에 있어서 연속적인 액상실리콘 재충전 방법 | |
EP0537988B1 (en) | An apparatus for supplying granular raw material for a semiconductor single crystal pulling apparatus | |
KR930001895B1 (ko) | 실리콘 단결정의 제조방법 및 장치 | |
US4036595A (en) | Continuous crystal growing furnace | |
KR101279736B1 (ko) | 단결정 실리콘 연속성장 시스템 및 방법 | |
JP2008531444A5 (ru) | ||
KR930003044B1 (ko) | 실리콘 단결정의 제조방법 및 장치 | |
JP2013129551A (ja) | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 | |
JPH037637B2 (ru) | ||
TWI516650B (zh) | 熔融設備 | |
US5820649A (en) | Method of and apparatus for continuously producing a solid material | |
CN214218910U (zh) | 一种半导体加工用硅材料热熔成锭装置 | |
RU1122015C (ru) | Устройство дл выт гивани кристаллов из расплава | |
US20220205129A1 (en) | Use of buffer members during growth of single crystal silicon ingots | |
JP2010222162A (ja) | ドープ剤供給装置及び半導体単結晶製造装置 | |
JP4916425B2 (ja) | 結晶成長方法およびその装置 | |
JP4221797B2 (ja) | シリコン単結晶育成前の多結晶シリコンの融解方法 | |
CN116783333B (zh) | 用于以连续直拉法生长单晶硅锭的方法 | |
US20230272552A1 (en) | Ingot puller apparatus having silicon feed tubes with kick plates | |
JPS6395195A (ja) | 結晶引上げ方法及び装置 | |
JP3719329B2 (ja) | シリコン単結晶用引上げ装置 | |
KR20240152376A (ko) | 킥 플레이트를 갖는 실리콘 공급 튜브를 갖는 잉곳 풀러 장치 |