PL404645A1 - Struktura detektora UV oraz sposób wykonania struktury detektora UV - Google Patents

Abstract

Przedmiotem wynalazku jest struktura detektora promieniowania ultrafioletowego (UV) oraz sposób wykonania struktury detektora UV. Struktura według wynalazku ma izolujące podłoże, na którym znajduje się warstwa aktywna ZnO z kontaktami elektrycznymi. W strukturze tej warstwą aktywnąjest warstwa o grubości co najmniej 50nm zawierająca nanosłupki ZnO osadzone na warstwie zarodkującej. Sposób wykonania struktury detektora polega na tym, że na izolującym podłożu wytwarza się warstwę aktywną a na niej metaliczne kontakty. Dla wytworzenia warstwy aktywnej, najpierw na podłożu, osadza się metaliczną warstwę lub warstwę ZnO, zarodkującą wzrost, następnie podłoże wraz z warstwą zarodkującą, umieszcza w mieszaninie reakcyjnej o wartości pH 6,5 - 12 i podgrzewa się do temperatury 30 - 95°C i przez co najmniej l sekundę prowadzi się wzrost nanosłupków ZnO. Po zakończeniu wzrostu usuwa się z podłoża i warstwy aktywnej zanieczyszczenia oraz wykonuje się kontakty metaliczne.