NO319919B1 - Anordning for optisk kobling av en faststofflaser til en optisk bolgeleder og fremgangsmate til fremstilling av anordningen - Google Patents
Anordning for optisk kobling av en faststofflaser til en optisk bolgeleder og fremgangsmate til fremstilling av anordningen Download PDFInfo
- Publication number
- NO319919B1 NO319919B1 NO19992696A NO992696A NO319919B1 NO 319919 B1 NO319919 B1 NO 319919B1 NO 19992696 A NO19992696 A NO 19992696A NO 992696 A NO992696 A NO 992696A NO 319919 B1 NO319919 B1 NO 319919B1
- Authority
- NO
- Norway
- Prior art keywords
- solid
- optical
- lens
- optical waveguide
- state laser
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 42
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title abstract description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title abstract description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title abstract description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 8
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 6
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 5
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 claims description 5
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 claims description 4
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 claims description 4
- 239000002966 varnish Substances 0.000 claims description 3
- RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N endosulfan Chemical compound C12COS(=O)OCC2C2(Cl)C(Cl)=C(Cl)C1(Cl)C2(Cl)Cl RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 241000276498 Pollachius virens Species 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000000313 electron-beam-induced deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 2
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4206—Optical features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4296—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with sources of high radiant energy, e.g. high power lasers, high temperature light sources
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/32—Optical coupling means having lens focusing means positioned between opposed fibre ends
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Eyeglasses (AREA)
- Laser Surgery Devices (AREA)
Description
Oppfinnelsen vedrører en optisk anordning bestående av en faststofflaser, en lysbølgele-der og et optisk system, der det optiske systemet, anbrakt mellom utgangsflaten for faststoffiaseren og inngangsfiaten for den optiske bølgelederen, omformer forskjellige aperturer i hovedsnittene av faststoffiaseren til i det vesentlige like aperturer ved inngangsfiaten for den optiske bølgelederen, slik som angitt i ingressen av krav 1, og en fremgangsmåte til fremstilling av en slik anordning, slik som angitt i ingressen av krav 6 og 8.
For effektiv innkobling av laserlys i optiske bølgeledere, særlig i monomodusfibre, skal tilkoblingen av den optiske bølgeleder til laseren være mest mulig tapsfri. Dette kan oppnås med linser som er anbrakt på fiber enden. Ved faststofflasere skal tilkoblingen av laseren til fibrene likeledes føre til minst mulig lystap. Til dette formål er det f.eks. hos R. Zengerle, HJ. Bruckner, H.W.P. Koops, H-.J. Olzhausen, G. Zesch, A. Kohl, A. Menschig, "Fabrication of optical beamwidth transformers for guided waves on InP using wedge-shaped tapers", J. Vac. Sei. Technol. B9(6), (1991) 3459 beskrevet en spe-sialtilpasset koblingsdel som kan forme laseren og bygge denne litografisk direkte inn i lasermaterialet. Slike koblingsdeler kan være tilpasset fasen i et snitt av bølgefeltet. I andre snitt som ligger loddrett på bølgelederen er på grunn av den epitaktiske vekst og den plane litografi som anvendes til struktureringen ikke mulig med noen tilpasning.
Videre er en anordning ifølge innledningen til hovedkravet kjent fra U. Griebner, R. Grunwald, H. SchOnnagel, "OSA Proceedings on Advanced Solidstate Lasers", 1995, Vol. 24,253, men denne krever omfattende justeringer. Anordningen med flere linser som likeledes skal justeres og settes fast, er videre kjent fra US 5,140,608, GB 2 220 501 A, DE 39 19 484 A, EP 0 484 276 A, NL 8600844 A og EP 0 706 070 A.
Formålet med foreliggende oppfinnelse er å komme frem til en anordning til kobling av en faststofflaser til en optisk bølgeleder som muliggjør en mest mulig tapsfri tilkobling og en tilpasning av bølgefeltet i retning mot begge hovedsnitt og som kan fremstilles med den nødvendige nøyaktighet. Dette formål blir ifølge oppfinnelsen oppfylt ved at det optiske systemet består av et linsesystem, montert på utgangsflaten, med forskjellige lineære forstørrelser i hovedsnittene og av en ytterligere innse montert på inngangsfiaten, idet det optiske systemet er av slik utforming at det oppnås en tilpasning av bølge-feltene i retningen av begge hovedsnittene.
Anordningene ifølge oppfinnelsen har den fordel at linsene kan monteres med meget stor nøyaktighet på utgangs- resp. inngangsfiaten. En justering er da bare nødvendig mellom laseraksen og aksen for den optiske bølgeleder. Her kan såvel linsesystemet som den ytterligere linse på fordelaktig måte fremstilles ved kjente prosesser.
Ifølge en ytterligere utførelsesform kan den ytterligere linsen være sfærisk. Videre kan linsesystemet være utformet som en Fresnel-linse. Ifølge en annen utførelsesform er linsesystemet dannet av to sylindriske dellinser som krysser hverandre, og minst én av dellinsene er utformet som en Fresnel-linse. Mellom linsesystemet og utgangsflaten kan det finnes et avstandssjikt i henhold til den forstørrelse som er nødvendig i retningen for den store apertur.
I tillegg til en reell avbildning av utgangspupillen for laseren, er det ved anordningen ifølge oppfinnelsen mulig å avbilde utgangspupillen for laseren virtuelt i et rundt kilde-bilde. Derved kan det velges en mindre avstand mellom linsene resp. utgangsflate og inngangsflate ved forholdsvis store brennvidder på linsene. De store brennvidder på linsene er videre gunstige for fremstillingen ved mikrotekniske metoder.
Forskjellige kjente fremgangsmåter er egnet for eksempel til bestemmelse av skarpheten i sylinderlinsene på inngangsfiaten til den optiske bølgeleder ved hjelp av høyoppløs-ende elektronstårlelitografi og en påfølgende fremstilling ved reaktiv tørretsing. En slik fremgangsmåte er f.eks. behandlet av P. Unger, V. Boegli, P. Buchmann, R. Germann "High resolution electron beam lithography for fabricating visible semiconductor lasers with curved mirrors and integrated holograms", Microelectronic Eng. 23, (1994) 461 og hos P. Unger, V. Boegli, P. Buchmann, R. Germann "Fabrication of curved mirrors for visible semiconductor lasers using electron-beam lithography and chemical assisted ion-beam etching", j. Vac. Sei. Technol, B. 11(6) (1993) 2514-2518. Videre er en utarbei-delse av lakklinser, som er påført inngangsfiaten eller på utgangsflaten, mulig.
Særlig fordelaktige fremgangsmåter til fremstilling av anordningen ifølge, slik som definert i ingressen av krav 6 og 8, at i det minste linsene fremstilles ved hjelp av en tørrlakkteknikk, eller at i det minste linsene fremstilles ved hjelp av additiv litografi, særlig elektronstrålelitografi. I tillegg kan også avstandssjiktene og anti-reflekssjiktene fremstilles ved hjelp av additiv litografi som angitt i de ytterligere underkrav. Disse fremgangsmåter byr på vesentlige forbedringer ved at de kan utføres på programmert basis. Det er også mulig å foreta fremstilling av de enkelte elementer med forskjellige fremgangsmåter.
Med den tørrlakkteknikk som f.eks. er beskrevet i DE 195 31 859.5 Al står det til rådig-het en fremgangsmåte der laseren eller fiberenden ved pådampning i høyvakuum beleg-ges med en elektronfølsom polymer i en bestemt sjikttykkelse. Denne polymer blir med elektronstrålen ved belysning med denne bundet til en silisiumoksidrik polymer som, når det gjelder brytningsindeks, passer godt til fibermaterialet (n=l ,48) se H.W.P. Koops, S. Babin, M. Weber, G. Dahm, A. Holopkin, M. Lyakhov, "Evaluation of dry resist Viny-T8 and its application to optical microlenses", Microelectronic Engineering 30 (1996), 539. På laserenden er det pådampet et speil som er bygget opp av silisium-oksid der brytningsindeksen for linsematerialet likeledes er godt tilpasset. Dermed kan man teoretisk se bort fra dempning av innfestningen av linser som er laget av tørrlakk.
Med additiv litografi med elektronstråleindusert avsetning blir linsene av gassfaseadsor-berte prekursor-molekyler direkte bygget opp ved elektronstrålepolymerisering og -bin-ding under datastyring av strålen og av dosen uten at det for dette er nødvendig med en forutgående belegning eller noen påfølgende utvikling av strukturen. En slik fremgangsmåte er beskrevet i H.W.P. Koops, R. Weiel, D.P. Kem, T.H. Baum "High Resolution Electron Beam Induced Deposition", J. Vac. Sei, Technol. B 6(1), (1988), 477. Den nødvendige belysningstid er imidlertid i sammenligning med lakkteknikk meget høyere, men ligger allikevel på akseptable tider pr. linse.
Ved anvendelse av den lett styrbare elektronstråle i et rasterelektronmikroskop er det i tillegg mulig å få til 100 nm nøyaktig plassering av belysningsfeltet i forhold til fiber-kjemen og i forhold til den effektive sone for laseren med bildebearbeiding og raster-mikroskopi, noe som f.eks. er beskrevet av H.W.P. Koops, J. Kretz, M. Weber,
"Combined Lithographies for the Reduction of Stitching Errors in Lithographies for the Reduction of Stitching Errors in Lithography", Proe. EIPB94, J. Vac. Sei. Technol. Bl 2 (6) (1994) 3265-3269. Med makrostyringen av justeringen og av belysningen kan belys-ningsmetoden automatiseres programmessig.
Med datastyringen av belysningen og beregningen av dosefordelingen svarende til målte graderingskurver for lakk- eller avsetningsprosessen, kan det i tillegg til runde, ellip-tiske, sfæriske eller hyperbolske også utføres linsekombinasjoner som orientert fører la-serstrålen og er forsynt med et omstyringsprisme der disse er samlet i en brytende flate og justeres nøyaktig. Justeringen og fremstillingsprosessen er samlet i en fremgangsmåte og er minst én størrelsesorden bedre enn tilgjengelige fremgangsmåter. Dermed er den lette styrbarhet og bildedannelse ved elektronstrålebelysningen en fremgangsmåte som f.eks. er overlegen over laserablasjonsmetoder, til oppbygning av linser. Disse fremgangsmåter er lette og automatiserbare når det gjelder produksjonen.
Utførelseseksempler på oppfinnelsen er vist skjematisk på tegningens figurer og nær-mere beskrevet i den følgende beskrivelse. Her viser:
Figur 1 et utførelseseksempel i y-z-snitt,
Figur 2 utførelseseksempelet i x-z-snitt i en tilsvarende endret målestokk og
Figur 3 et ytterligere utførelseseksempel i x-z-snitt.
I et plan 1 befinner det seg en anamorfotisk plankonveks linse, også benevnt som linsesystem 2 med brennpunktene Fy og -Fy. I planet 3 ligger lysutgangsflaten for en ikke vist faststofflaser. Kildebildet ligger ved 4, hvorved det fremkommer en virtuell forstør-ret gjengivelse av kildebildet ved 5.
Da lyset som kommer ut fra utgangsflaten 3 i y-z-snittet (Fig. 1) praktisk talt ikke er buntet, er det for å bevare en størst mulig andel av den samlede lysstrøm nødvendig med en stor apertur, noe som ved det viste utførelseseksempel er oppnådd ved at en ikke alt for stor linse er anordnet tettest mulig inntil utgangsflaten 3 - nemlig så tett som det er mulig for en virtuell avbildning.
Den bare delvis antydede optiske bølgeleder består av en optisk aktiv kjerne 6 og en mantel 7. På lysinngangsflaten 8 er det anbrakt en sfærisk linse 9 som avbilder den vir-tuelle gjengivelse 5 reelt på kjernen 6.
Av hensyn til oversikten er den skjematiske tegning ikke i riktig målestokk. Som eksempel angis de følgende mål: Linsens brennvidde og samtidig omtrent tykkelsen på et avstandssjikt mellom linsen 2 og planet 3 er f=l,43 um ved en brytningsindeks for den anamorfotiske linse 2 på n=2,75 og en radius på R=3,9 um. Bredden på utgangsflaten er do=0,3 nm, mens diameter på kjernen 6 er di=10 um. Aperturene er ao=45° og ai=10° og forstørrelsen V=14=B/g=20/f.
Figur 2 viser det samme utførelseseksempel i x-z-snitt. Her er det på laserens utgangsflate anbrakt en i x-z-snitt linse eller fresnel-linse med lang brennvidde (når det gjelder utførelseseksempelet på fig. 3) med hvilken lyset blir buntet med mindre apertur ao mot linse 9.
Claims (9)
1.
Optisk anordning bestående av en faststofflaser, en optisk bølgeleder og et optisk system, der det optiske systemet, anbrakt mellom utgangsflaten for faststoffiaseren og inngangsfiaten for den optiske bølgelederen, omformer forskjellige aperturer i hovedsnittene av faststoffiaseren til i det vesentlige like aperturer ved inngangsfiaten for den optiske bølgeleder, karakterisert ved at det optiske systemet består av et linsesystem (2), montert på utgangsflaten (3), med forskjellige lineære forstørrelser i hovedsnittene og av en ytterligere linse (9) montert på inngangsfiaten (8), idet det optiske systemet er av slik utforming at det oppnås en tilpasning av bølgefeltene i retningen av begge hovedsnittene.
2.
Anordning som angitt i krav 1, karakterisert ved at den ytterligere linse (9) er sfærisk.
3.
Anordning som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert v e d at den linsesystemet er utformet som en Fresnel-linse (21).
4.
Anordning som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved at den linsesystemet er dannet av to sylindriske dellinser som krysser hverandre, og at minst én av dellinsene er utformet som en Fresnel-linse.
5.
Anordning som angitt i et hvilket som helst av kravene 1-4, karakterisert ved at det mellom linsesystemet (2) og utgangsflaten (3) finnes et avstandssjikt i henhold til den forstørrelse som er nødvendig i retningen for den store apertur.
6.
Fremgangsmåte for fremstilling av en optisk anordning bestående av en faststofflaser, en optisk anordning bestående av en faststofflaser, en optisk bølgeleder og et optisk system, der det optiske systemet, anbrakt mellom utgangsflaten for faststofflasereen og inngangsfiaten for den optiske bølgeleder, omformer forskjellige aperturer i hovedsnittene av faststoffiaseren til i det vesentlige like aperturer ved inngangsfiaten for den optiske bølgeleder, og der det optiske systemet består av et linsesystem, montert på utgangsflaten, med forskjellige lineære forstørrelser i hovedsnittene og av en ytterligere linse montert på inngangsfiaten, karakterisert ved at i det minste linsene fremstilles ved hjelp av en tørrlakkteknikk.
7.
Fremgangsmåte som angitt i krav 6, karakterisert ved at også avstandssjiktene og anti-reflekssjiktene fremstilles ved hjelp av tørr-lakkteknikk.
8.
Fremgangsmåte for fremstilling av en optisk anordning bestående av en faststofflaser, en optisk anordning bestående av en faststofflaser, en optisk bølgeleder og et optisk system, der det optiske systemet, anbrakt mellom utgangsflaten for faststofflasereen og inngangsfiaten for den optiske bølgeleder, omformer forskjellige aperturer i hovedsnittene av faststoffiaseren til i det vesentlige like aperturer ved inngangsfiaten for den optiske bølgeleder, og der det optiske systemet består av et linsesystem, montert på utgangsflaten, med forskjellige lineære forstørrelser i hovedsnittene og av en ytterligere linse montert på inngangsfiaten, karakterisert ved at i det minste linsene fremstilles ved hjelp av additiv litografi, særlig elektronstrålelitografi.
9.
Fremgangsmåte som angitt i krav 8, karakterisert ved at også avstandssj iktene og anti-reflekssj iktene fremstilles ved hjelp av additiv litografi.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19650696A DE19650696A1 (de) | 1996-12-06 | 1996-12-06 | Vorrichtung zur optischen Kopplung eines Festkörperlasers mit einem Lichtwellenleiter und Verfahren zu deren Herstellung |
| PCT/EP1997/006566 WO1998025170A1 (de) | 1996-12-06 | 1997-11-25 | Vorrichtung zur optischen kopplung eines festkörperlasers mit einem lichtwellenleiter und verfahren zu deren herstellung |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NO992696D0 NO992696D0 (no) | 1999-06-03 |
| NO992696L NO992696L (no) | 1999-07-27 |
| NO319919B1 true NO319919B1 (no) | 2005-10-03 |
Family
ID=7813865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NO19992696A NO319919B1 (no) | 1996-12-06 | 1999-06-03 | Anordning for optisk kobling av en faststofflaser til en optisk bolgeleder og fremgangsmate til fremstilling av anordningen |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6370298B2 (no) |
| EP (1) | EP0943111B1 (no) |
| JP (1) | JP2001504950A (no) |
| CN (1) | CN1144073C (no) |
| AT (1) | ATE206528T1 (no) |
| CA (1) | CA2273930C (no) |
| DE (2) | DE19650696A1 (no) |
| ES (1) | ES2165633T3 (no) |
| NO (1) | NO319919B1 (no) |
| WO (1) | WO1998025170A1 (no) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002091048A1 (fr) * | 2001-04-20 | 2002-11-14 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Dispositif de connexion d'une source lumineuse de pompage d'un amplificateur a fibre a plusieurs etages a dopage er |
| US20060056762A1 (en) * | 2003-07-02 | 2006-03-16 | Honeywell International Inc. | Lens optical coupler |
| US7324723B2 (en) * | 2003-10-06 | 2008-01-29 | Mitsui Chemicals, Inc. | Optical waveguide having specular surface formed by laser beam machining |
| JP4488287B2 (ja) * | 2003-11-21 | 2010-06-23 | フジノン株式会社 | ビーム集光用レンズ |
| US7520062B2 (en) * | 2005-12-06 | 2009-04-21 | Robert Bosch Tool Corporation | Light-plane projecting apparatus and lens |
| GB201011058D0 (en) | 2010-07-01 | 2010-08-18 | Oclaro Technology Plc | Fibre optical coupling |
| JP2012168240A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 光モジュール |
| TW201516533A (zh) * | 2013-10-21 | 2015-05-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 背光模組 |
| JP6996631B2 (ja) * | 2018-07-24 | 2022-01-17 | 株式会社ニコン | 接眼光学系およびヘッドマウントディスプレイ |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS616889A (ja) | 1984-06-21 | 1986-01-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子およびその製造方法 |
| NL8600844A (nl) | 1986-04-02 | 1987-11-02 | Tno | Optisch vezel-strookgeleidersamenstel met lichtkoppeling tussen een vezel en een op een substraat aangebrachte planaire strookgeleider. |
| JPS63100790A (ja) | 1986-10-17 | 1988-05-02 | Nec Corp | 半導体レ−ザモジユ−ル |
| GB2220501A (en) | 1988-07-06 | 1990-01-10 | Plessey Co Plc | Coupling waveguides using transverse cylindrical lenses |
| DE3919484A1 (de) | 1989-04-15 | 1990-10-18 | Rodenstock Optik G | Optisches system zur aenderung der form des strahlquerschnittes von lichtbuendeln |
| US5081639A (en) * | 1990-10-01 | 1992-01-14 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Laser diode assembly including a cylindrical lens |
| CH682698A5 (de) | 1990-11-01 | 1993-10-29 | Fisba Optik Ag Bystronic Laser | Verfahren, bei dem mehrere, in einer oder mehreren Reihen angeordnete Strahlungsquellen abgebildet werden und Vorrichtung hierzu. |
| US5181224A (en) | 1991-05-10 | 1993-01-19 | University Of California | Microoptic lenses |
| US5140608A (en) | 1991-05-29 | 1992-08-18 | Optrotech Ltd, Israel Company | Optical system for focusing a light beam on to an image plane |
| US5455879A (en) * | 1994-06-22 | 1995-10-03 | Corning Incorporated | Anamorphic microlens for coupling optical fibers to elliptical light beams |
| EP0706070A3 (de) | 1994-10-04 | 1997-04-02 | Siemens Ag | Verfahren zum Trockenätzen eines Halbleitersubstrats |
| US5790576A (en) * | 1996-06-26 | 1998-08-04 | Sdl, Inc. | High brightness laser diode source |
| US5946140A (en) * | 1998-03-06 | 1999-08-31 | Lucent Technologies Inc. | Fiber lens for use with a confocal lens system |
| US6026206A (en) * | 1998-03-06 | 2000-02-15 | Lucent Technologies, Inc. | Optical coupler using anamorphic microlens |
-
1996
- 1996-12-06 DE DE19650696A patent/DE19650696A1/de not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-11-25 JP JP52514398A patent/JP2001504950A/ja not_active Ceased
- 1997-11-25 WO PCT/EP1997/006566 patent/WO1998025170A1/de active IP Right Grant
- 1997-11-25 US US09/319,510 patent/US6370298B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-25 DE DE59704815T patent/DE59704815D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-25 ES ES97951967T patent/ES2165633T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-25 CA CA002273930A patent/CA2273930C/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-25 CN CNB971803935A patent/CN1144073C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-11-25 AT AT97951967T patent/ATE206528T1/de active
- 1997-11-25 EP EP97951967A patent/EP0943111B1/de not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-06-03 NO NO19992696A patent/NO319919B1/no not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1240031A (zh) | 1999-12-29 |
| WO1998025170A1 (de) | 1998-06-11 |
| JP2001504950A (ja) | 2001-04-10 |
| US6370298B2 (en) | 2002-04-09 |
| CA2273930A1 (en) | 1998-06-11 |
| ES2165633T3 (es) | 2002-03-16 |
| EP0943111A1 (de) | 1999-09-22 |
| CA2273930C (en) | 2007-01-16 |
| NO992696D0 (no) | 1999-06-03 |
| EP0943111B1 (de) | 2001-10-04 |
| DE19650696A1 (de) | 1998-06-10 |
| NO992696L (no) | 1999-07-27 |
| CN1144073C (zh) | 2004-03-31 |
| DE59704815D1 (de) | 2001-11-08 |
| US20020009259A1 (en) | 2002-01-24 |
| ATE206528T1 (de) | 2001-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2433873C (en) | Optical signal processing circuit and method for producing same | |
| US6589716B2 (en) | Microoptical system and fabrication method therefor | |
| WO2018083191A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines optischen systems und optisches system | |
| KR20000016498A (ko) | 생산환경을 위한 홀로그래픽 패터닝방법 및 공구 | |
| NO319919B1 (no) | Anordning for optisk kobling av en faststofflaser til en optisk bolgeleder og fremgangsmate til fremstilling av anordningen | |
| US5077622A (en) | Apparatus for precision focussing and positioning of a beam waist on a target | |
| US5894538A (en) | Method of forming integrated optical circuit planar waveguide turning mirrors | |
| CN110709756A (zh) | 用于产生周期性光图案的光学部件 | |
| US6975409B2 (en) | Illumination device; and coordinate measuring instrument having an illumination device | |
| US6291139B1 (en) | Process for fabricating three-dimensional polymer layer structures | |
| JPH07106229A (ja) | 光リソグラフィ方法及び装置 | |
| US6614959B1 (en) | Methods of writing apodized fiber gratings and associated apparatuses | |
| Schnabel et al. | Fabrication and application of subwavelength gratings | |
| CN114442439A (zh) | 一种用于光刻机的集成紫外全介质超透镜组 | |
| Yang et al. | Design and fabrication of microlens and spatial filter array by self-alignment for maskless lithography systems | |
| DE102017221952B3 (de) | Mikro-optomechanisches System und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| Goering et al. | Miniaturized optical switches based on piezoelectrically driven microprism arrays | |
| DE102018218488A1 (de) | Messanordnung zur interferometrischen Absolutmessung des Abstandes zwischen zwei Komponenten in einem optischen System für die Mikrolithographie | |
| CN116520499A (zh) | 少模光纤和硅基多模芯片耦合结构及制备方法 | |
| CA2317308C (en) | An optical waveguide element, a three-dimensional optical waveguide circuit and an optical system | |
| CN212781323U (zh) | 一种切趾光纤光栅 | |
| Lee | Design and fabrication of on-chip high power optical phased arrayed waveguides | |
| Liu et al. | Design of a Beam-coupling System for a Chip-integrated Spectrometer with a Discrete Linear Waveguide | |
| EP1031865A1 (en) | Lens for converting optical axis | |
| Bhagavatula et al. | Planar lens devices by CVD process |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MK1K | Patent expired |