NO170958B

NO170958B - PROCEDURE FOR PREPARING A REFRIGERATOR AND TOOL FOR IMPLEMENTING THE PROCEDURE

Info

Publication number: NO170958B
Application number: NO861948A
Authority: NO
Inventors: Uwe Bock
Original assignee: Alusuisse
Priority date: 1985-05-22
Filing date: 1986-05-16
Publication date: 1992-09-21
Also published as: EP0206980A2; DE3672028D1; DE3518310A1; NO170958C; DK165272B; ATE53708T1; DE3518310C2; DK235786D0; DK235786A; NO861948L; DK165272C; EP0206980A3; EP0206980B1

Abstract

1. Method of manufacturing a heat sink (10) for semiconductor devices, in particular by extrusion of lightweight metal, with cooling ribs (20) of approximately bar-shaped cross section protruding at a distance from one another from a base plate (11), the base plate (11) being extruded with main grooves (14) and separately manufactured cooling ribs (20) being inserted into the main grooves (14), characterized in that the main grooves (14) are manufactured with ribs (19) flanking them and separating them from intermediate grooves (15) and these ribs (19) are plastically deformed after insertion of the cooling ribs (20) in such a way that the cooling ribs (20) are squeezed-in in the main grooves (14).

Description

Foreliggende oppfinnelse gjelder en fremgangsmåte for fremstilling av kjølelegeme for halvlederkomponenter og særlig ved strengekstrudering av lettmetall, samt utstyrt med kjøleribber som har langstrakt tverrsnitt og rager ut fra en grunnplate idet grunnplaten ekstruderes med hovedspor hvori det settes inn separat fremstilte kjøleribber. The present invention relates to a method for the production of heat sinks for semiconductor components and in particular by string extrusion of light metal, as well as equipped with heat sinks which have an elongated cross-section and protrude from a base plate as the base plate is extruded with main grooves into which separately produced heat sinks are inserted.

En fremgangsmåte av denne art er prinsipielt kjent, hovedsakelig fra DE-A-2.502.472 og til dels også fra JP-A-57 196 552, DE-U-84 29 523 og US-A-2.984.774; og innebærer at kjøleribbene presses inn i og kaldsveises i hovedsporene. Det må da utøves store mekaniske krefter mot kjølelegemet, hvilket gjør at sådanne kjølelegemer i praksis bare kan fremstilles i meget begrensede lengder. A method of this kind is known in principle, mainly from DE-A-2,502,472 and partly also from JP-A-57 196 552, DE-U-84 29 523 and US-A-2,984,774; and means that the heat sinks are pressed into and cold welded into the main grooves. Large mechanical forces must then be exerted against the heat sink, which means that such heat sinks can in practice only be produced in very limited lengths.

Kjølelegemer av denne utførelse har vanligvis et ribbeforhold på ca. 5,5:1, og høyst 8:1.. Ved tallrike anvendelser er imidlertid dette ribbeforhold ikke tilstrekkelig, men utvikling av et høyere ribbeforhold hindres av at det ved de hittil vanlige fremstillingsprosesser, særlig ved strengekstrudering, ikke har vært mulig å fremstille kjølelegemer av sådan art. Heat sinks of this design usually have a rib ratio of approx. 5.5:1, and at most 8:1.. In numerous applications, however, this rib ratio is not sufficient, but the development of a higher rib ratio is hindered by the fact that it has not been possible to produce heat sinks with the hitherto usual manufacturing processes, particularly with string extrusion of such nature.

På bakgrunn av denne kjente teknikk er det da et formål for oppfinnelsen å komme frem til en fremgangsmåte for fremstilling av et kjølelegeme av innledningsvis angitt art. og således at det oppnås et høyt ribbeforhold og et såkalt høyeffektskjøleiegeme av hvilken som helst lengde kan fremstilles. Med ribbeforholdet forstås da forholdet mellom ribbehøyden og minste lysvidde mellom ribbene ved ribbespissene. On the basis of this known technique, it is then an object of the invention to come up with a method for producing a cooling body of the kind indicated at the outset. and so that a high rib ratio is achieved and a so-called high-efficiency cooling body of any length can be produced. The rib ratio is then understood to mean the ratio between the rib height and the minimum clearance between the ribs at the rib tips.

Dette formål oppnås i henhold til oppfinnelsen ved at det sammen med hovedsporene utformes formribber som flankerer hovedsporene og skiller disse fra påførte mellomspor, idet disse formribber etter innføring av kjøleribbene i hovedsporene deformeres plastisk på sådan måte at kjøleribbene klemmes fast i hovedsporene. This purpose is achieved according to the invention by forming molding ribs that flank the main grooves and separate them from applied intermediate grooves, as these molding ribs are plastically deformed after the introduction of the heat sinks in the main grooves in such a way that the heat sinks are clamped firmly in the main grooves.

På denne måte er det mulig enten å feste de enkelte kjøleribber hver for seg på vedkommende kjølelegeme eller alle kjøleribber samtidig. Ved sammenføyning av de forskjellige deler, som kan foreligge i vilkårlig lengde, kreves det ikke høye mekaniske trykk, og ribbene kan faktisk legges inn i hovedsporene med klaring og uten vanskelighet forskyves i sporenes lengderetning. In this way, it is possible to either attach the individual heat sinks separately to the relevant heat sink or all heat sinks at the same time. When joining the different parts, which can be of any length, high mechanical pressures are not required, and the ribs can actually be inserted into the main grooves with clearance and easily displaced in the longitudinal direction of the grooves.

Ved den angitt kombinasjon av grunnplate og ribber kan det ved hjelp av et fåtall verktøy fremstilles tallrike kjølelegemer av forskjellig utforming. Dette fører til nedsatte omkostninger såvel med hensyn til verktøy som lagerholdning. With the specified combination of base plate and ribs, numerous heat sinks of different designs can be produced with the help of a few tools. This leads to reduced costs both with regard to tools and stock holding.

I henhold til et ytterligere særtrekk ved oppfinnelsen kan grunnplaten være forsynt med ytre ribbevegger, som lett kan frembringes ved strengekstrudering. Mellom og parallelt med disse ribbevegger forløper så de påmonterte kjøleribber. Ved en annen utførelsesform er de enkeltvis innførte kjøleribber i kjølelegemets tverrsnitt anordnet vekselvis med andre kjøleribber som er utformet i et stykke med grunnplaten. En sådan utførelsesform av kjølelegemet muliggjør anvendelse såvel ved tvangsmessig luftkjøling som ved konveksjonskjøling, da det ved tvangskjøling prinsippielt tilstrebes størst mulig kjøleoverflate ved nedsatt ribbeavstand, mens en sådan utførelse neppe er virksom ved konvensjonskjøling på grunn av den lavere lufthastighet og derved mengdestrøm (produkt av hastighet og kanaltverrsnitt), i alle fall ikke ved langstrakte kjølelegemer. Denne alternative anvendelsesmulighet øker ytterligere ved at f.eks. de påførte kjøleribber kan være forsynt med i og for seg kjente tverr-ribber, som ved en forholdsvis bred strømningskanai fører til betraktelig overflateøkning. Det vil således forstås at et sådant kjølelegeme ikke bare er egnet for tvangsmessig luftkjøling, men også for konveksjonskjøling. According to a further distinctive feature of the invention, the base plate can be provided with outer rib walls, which can easily be produced by string extrusion. Between and parallel to these ribbed walls, the attached cooling fins run. In another embodiment, the individually introduced cooling fins in the heat sink's cross-section are arranged alternately with other cooling fins which are formed in one piece with the base plate. Such an embodiment of the heatsink enables use both for forced air cooling and for convection cooling, as with forced cooling the largest possible cooling surface is in principle sought with a reduced rib distance, while such an embodiment is unlikely to be effective for conventional cooling due to the lower air velocity and thereby mass flow (product of velocity and channel cross-section), at least not with elongated heat sinks. This alternative possibility of application increases further by e.g. the applied cooling fins can be provided with per se known transverse fins, which in the case of a relatively wide flow channel lead to a considerable increase in surface area. It will thus be understood that such a cooling body is not only suitable for forced air cooling, but also for convection cooling.

Hovedsporene har fortrinnsvis omtrent rektangulært tverrsnitt mens mellomsporene har hovedsakelig trekanformet tverrsnitt. The main tracks preferably have an approximately rectangular cross-section, while the intermediate tracks have a predominantly triangular cross-section.

Likeledes er hovedsporets dybde fortrinnsvis større enn spordybden for mellomsporet, og det sistnevnte spor bidrar da til å lette deformeringen av grunnplaten. Hoved- og mellomsporet danner mellom seg en formribbe på grunnplaten, som ved innføring av et deformerende verktøy i mellomsporet kan skyves inn i hovedsporets åpningstverrsnitt. Forut for denne plastiske deformering av vedkommende ribbe på grunnplaten innsettes imidlertid holdesokkelen på en fortrinnsvis spesielt fremstilt kjøleribbe i hovedsporet, idet denne sokkel på sidene er forsynt med gripemidler, f.eks. parallelle rifler som danner en sagtannprofil og hvori en del av den deformerte grunnplatematrise griper inn med holdevirkning. Det oppstår således innledningsvis en meget fast foreløpig forbindelse mellom grunnplaten på den ene side og vedkommende kjøleribbe på den annen side. Likewise, the depth of the main groove is preferably greater than the groove depth of the intermediate groove, and the latter groove then helps to ease the deformation of the base plate. Between them, the main and intermediate track form a shaped rib on the base plate, which can be pushed into the opening cross-section of the main track when a deforming tool is inserted into the intermediate track. Prior to this plastic deformation of the relevant rib on the base plate, however, the holding plinth is inserted on a preferably specially produced cooling rib in the main groove, this plinth being provided on the sides with gripping means, e.g. parallel riffles that form a sawtooth profile and in which part of the deformed base plate matrix engages with a holding effect. There is thus initially a very firm preliminary connection between the base plate on the one hand and the heatsink in question on the other hand.

Ved et rent aluminiums-kjølelegeme vil ved tilsvarende grunnplatetykkelse som regel varmefordelingen i selve platen være tilstrekkelig. Da imidlertid ribbeoverflaten ved samme høyde av kjølelegeme reduseres med tiltagende grunnplatetykkelse, kan det imidlertid være påkrevet å forbedre varmefordelingen i selve grunnplaten. Dette oppnås i henhold til oppfinnelsen ved at grunnplaten er forsynt med minst et bånd, en tråd eller lignende innlegg eller overtrekk av godt varmeledende material, fortrinnsvis et kobberbånd eller en kobbertråd. Også her opptrer imidlertid fordelen ved oppdelt fremstilling av grunnplaten, da denne uten problemer kan fremstilles ved samlet ekstrudering av aluminiumslegeme samt overtrekk eller innlegg av kobber, og til og med med innbyrdes metallisk binding mellom de to profilkomponenter. De beskrevne utførelsesformer av kjølelegemer i henhold til oppfinnelsen gjør det mulig å oppnå et ribbeforhold på mer enne 9:1, og til og med mer enn 12:1, hvilket ikke er mulig ved fremstilling av kjølelegemer i et eneste stykke. In the case of a pure aluminum heatsink, the heat distribution in the plate itself will usually be sufficient with a corresponding base plate thickness. However, since the rib surface at the same height of the heat sink is reduced with increasing base plate thickness, it may be required to improve the heat distribution in the base plate itself. This is achieved according to the invention by the fact that the base plate is provided with at least one band, one wire or similar insert or covering of good heat-conducting material, preferably a copper band or a copper wire. Here too, however, the advantage of divided production of the base plate appears, as this can be produced without problems by combined extrusion of the aluminum body as well as covers or inserts of copper, and even with mutual metallic bonding between the two profile components. The described embodiments of heat sinks according to the invention make it possible to achieve a rib ratio of more than 9:1, and even more than 12:1, which is not possible when manufacturing heat sinks in a single piece.

I denne sammenheng henvises ytterligere til DE-OS 3.024.748, hvor det foreslås å forbedre ribbeforholdet for kjøleribbene på et kjølelegeme fremstilt i et stykke, ved hjelp av klemmelignende profilinnsatser. In this context, further reference is made to DE-OS 3,024,748, where it is proposed to improve the rib ratio for the heat sinks on a heat sink produced in one piece, by means of clamp-like profile inserts.

Den plastiske deformering av kjøleribbene kan ganske enkelt finne sted ved innføring av meisler i mellomsporene, hvilket imidlertid medfører forholdsvis høye arbeidsomkostninger. For denne deformeringsprosess anvendes derfor i henhold til oppfinnelsen fortrinnsvis et rullende verktøy i mellomsporene. The plastic deformation of the cooling fins can simply take place by inserting chisels into the intermediate grooves, which, however, entails relatively high labor costs. For this deformation process, therefore, according to the invention, a rolling tool is preferably used in the intermediate grooves.

Oppfinnelsen omfatter derfor også et slikt verktøy, hvis særtrekk i henhold til oppfinnelsen ligger i at det er utstyrt med trykkskiver som holdes i innbyrdes avstand ved hjelp av mellomlegg og har radialt avsmalende trykkanter, hvis største bredde (u) er større enn bredden (s) av mellomsporene, og hvor den fri radiale lengdeutstrekning av hver trykkskive er større enn den fri høyde (h) av'kjøleribbene. The invention therefore also includes such a tool, whose distinctive feature according to the invention is that it is equipped with pressure discs that are kept at a distance from each other by means of spacers and have radially tapering pressure edges, whose greatest width (u) is greater than the width (s) of the intermediate grooves, and where the free radial longitudinal extent of each thrust disc is greater than the free height (h) of the cooling fins.

Takket være dette verktøy kan deformeringsprosessen automati-seres, og utover dette kan rullelegemet i henhold til oppfinnelsen innstilles på den ønskede fordeling av mellomribbene. Thanks to this tool, the deformation process can be automated, and in addition to this, the rolling body according to the invention can be adjusted to the desired distribution of the intermediate ribs.

Det vil forstås at fremstilling av kjølelegemer med høyt ribbeforhold nå kan utføres på enkel måte og uten risiko for verktøybrudd. It will be understood that the production of heat sinks with a high rib ratio can now be carried out in a simple way and without the risk of tool breakage.

Ytterligere fordeler, særtrekk og enkelheter ved foreliggende oppfinnelsesgjenstand vil fremgå av den etterfølgende be-skrivelse av foretrukkede utførelseseksempler under henvisning til de vedføyde tegninger, hvorpå: Fig. 1.viser et snitt gjennom en del av et skråstilt kjølelegeme. Further advantages, distinctive features and simplicities of the present object of invention will be apparent from the subsequent description of preferred embodiments with reference to the attached drawings, on which: Fig. 1 shows a section through part of an inclined cooling body.

Fig. 2 viser et delsnitt gjennom et kjølelegeme. Fig. 2 shows a partial section through a cooling body.

Fig. 3 viser et forstørret utsnitt av fig. 2. Fig. 3 shows an enlarged section of fig. 2.

Fig. 4 er en skisse i skjematisk tverrsnitt for forklaring av Fig. 4 is a sketch in schematic cross-section for explanation of

en fremgangsmåte for fremstilling av de viste kjøle-legemer i fig. 1 og 2. a method for producing the cooling bodies shown in fig. 1 and 2.

Fig. 5 viser et forstørret utsnitt av fig. 4. Fig. 5 shows an enlarged section of fig. 4.

Fig. 6 viser et tverrsnitt gjennom en annen utførelse av Fig. 6 shows a cross-section through another embodiment of

kj ølelegemet. kj beer body.

Fig. 7 viser et forstørret utsnitt fra fig. 6 innenfor det Fig. 7 shows an enlarged section from fig. 6 within it

viste område VII. showed area VII.

Fig. 8 et tverrsnitt gjennom en ytterligere utførelsesform av Fig. 8 a cross-section through a further embodiment of

kj ølelegemet. kj beer body.

Fig. 9-11 viser tverrsnitt gjennom forskjellige utførelses Fig. 9-11 shows cross-sections through different designs

former av en del av'kjølelegemet. shapes of part of the heat sink.

Et kjølelegeme 10 med kamlignende tverrsnitt og utført i lettmetall for påføring av halvlederelementer som av oversikts-grunner ikke er vist på tegningen, oppviser i henhold til fig. 1 en grunnplate 11 av tykkelse f.eks. 15 mm og med utragende kjølelegemer 20 fra sin overflate 12. Ribbenes frie lengde, nemlig den viste avstand h fra vedkommende overflate 12 av grunnplaten 11 til de avrundede fri ribbekanter 21, utgjør i foreliggende utførelseseksempel ca. 56 mm mens den midlere avstand e mellom ribbene er ca. 7 mm. According to fig. 1 a base plate 11 of thickness e.g. 15 mm and with heat sinks 20 projecting from its surface 12. The free length of the ribs, namely the shown distance h from the relevant surface 12 of the base plate 11 to the rounded free rib edges 21, in the present design example amounts to approx. 56 mm, while the average distance e between the ribs is approx. 7 mm.

Særlig av fig. 2 vil det tydelig fremgå at grunnplaten 11 er fremstilt adskilt fra vedkommende kjøleribber 20, samt også liksom disse sistnevnte ved hjelp av strengekstrudering av lettmetallprofiler. I grunnplaten 11 er det utifrå dens overflate 12 utformet hovedspor 14 med en dybde a på ca. 5 mm og en bredde b på omkring halvparten av dybden a. Especially of fig. 2, it will be clearly seen that the base plate 11 is produced separately from the cooling fins 20 in question, as well as the latter by means of string extrusion of light metal profiles. In the base plate 11, from its surface 12, main grooves 14 are formed with a depth a of approx. 5 mm and a width b of about half the depth a.

I det gjenværende overfiateparti mellom hvert par av nabospor 14 er det i grunnplaten 11 utformet et såkalt mellomspor 15 med trekantformet tverrsnitt og hvis dybde f er mindre enn dybden av hovedsporene 14. In the remaining overlap between each pair of neighboring tracks 14, a so-called intermediate track 15 with a triangular cross-section and whose depth f is less than the depth of the main tracks 14 is formed in the base plate 11.

Ved den ytterkant som ligger motsatt den fri endekant. 21 av den skiveformede kjøleribbe 20 er det videre utformet en holdesokkel 22, hvis bredde m omtrent tilsvarer bredden b av hovedsporene 14 samt er større enn bredden n av den egentlige kjøleribbe 20. Høyden q av sokkelen 22 er lik eller noe større enn dybden a av vedkommende hovedspor 14. I sideflatene 23 av sokkelen 22 er det antydet sokkelrifler 24 for dannelse av gripetenner 25 som rager ut sideveis. At the outer edge opposite the free end edge. 21 of the disk-shaped heatsink 20, a holding base 22 is further designed, whose width m roughly corresponds to the width b of the main grooves 14 and is greater than the width n of the actual heatsink 20. The height q of the base 22 is equal to or somewhat greater than the depth a of the relevant main track 14. In the side surfaces 23 of the base 22, there are indicated base riffles 24 for the formation of gripping teeth 25 which protrude laterally.

Etter ekstrudering av grunnplaten 11 fra en Al/Mg/Si-legering påføres kjøleribber 20 med sine sokkler 22 innsatt i hovedsporene 14, hvor ribbene festes ved plastisk deformering av sporveggene 16. Ved denne deformering bringes fremspringende materialpartier 17 fra sporveggen 16 mot sporaksen A for inngrep i sokkelriflene 24 på den innførte kjøleribbe 20 i sporet slik det fremfor alt tydelig vil fremgå i fig. 5. Etter denne innklemning varmeherdes det således dannede kjølelegeme 10. After extrusion of the base plate 11 from an Al/Mg/Si alloy, cooling ribs 20 are applied with their sockets 22 inserted in the main grooves 14, where the ribs are attached by plastic deformation of the groove walls 16. During this deformation, projecting material parts 17 are brought from the groove wall 16 towards the groove axis A for engagement of the socket riffles 24 on the introduced cooling fin 20 in the groove as will above all be clearly seen in fig. 5. After this clamping, the cooling body 10 formed in this way is heat hardened.

Innklemningsprosessen utføres ved hjelp av mellomsporene 15, hvor det for dette formål enten kan innføres meiselspisser 28 eller avsmalende trykk-kanter 29 av skive 3 0 på et rullelegeme 31. The clamping process is carried out by means of the intermediate grooves 15, where for this purpose either chisel points 28 or tapering pressure edges 29 of disk 30 can be introduced on a roller body 31.

I henhold til fig. 4 er et sådant rullelegeme 31, som er anordnet dreibart om en ikke vist akse, sammensatt av nevnte skive 3 0 samt avstandsinnlegg 3 2 som opprettholder en avstand t mellom skivene, og endeplater 33, som med sine skrå sidekanter 34 føres langs grunnplaten 11. According to fig. 4 is such a roller body 31, which is arranged to be rotatable about an axis not shown, composed of said disc 30 and spacers 32 which maintain a distance t between the discs, and end plates 33, which with their slanted side edges 34 are guided along the base plate 11.

Da den største bredde u av den jevnt avskrånede meiselspiss 28 eller trykk-kant 29 er større enn bredden s av mellomsporet 15 eller kantvinkelen w av klemverktøyene 28, 29 er større enn mellomsporets åpningsvinkel, vil de formribber 19 som dannes mellom hvert hovedspor og de inntilliggende meliomspor 14 As the largest width u of the evenly beveled chisel tip 28 or pressure edge 29 is greater than the width s of the intermediate groove 15 or the edge angle w of the clamping tools 28, 29 is greater than the opening angle of the intermediate groove, the form ribs 19 that are formed between each main groove and the adjacent melioma track 14

(fig. 5) deformeres på ønsket måte. (fig. 5) is deformed in the desired way.

Ved det viste utførelseseksempel i fig. 6, 7 er det på grunnplaten lla på begge sider av kjølelegemets akse M anordnet en ribbevegg 3 6 som sideveis avgrenser grunnplaten lla og er utformet med nesefremspring 37 som peker i retning av aksen M og har en innbyrdes avstand d på ca. 5 mm. I dette tilfellet er det i hovedsporene 14 innført sokler 22 av kjøleribber 20a som smalner av i retnng av sin ytterste ribbekant 21 og i innbyrdes avstand d er forsynt med fremspringende tverrribber 38. Tverr-ribbene 38 på den ene side av kjøleribben 20a er høydeforskyvet i forhold til tverr-ribbene på den annen kjøleribbeside med den halve avstand d (altså d/2) , således at nesefremspringene og tverr-ribbene 38 langs en og samme rette horisontale referanselinje H peker i en og samme retning. På denne måte oppnås ved en forholdsvis bred strømningskanal en betraktelig • overflateøkning ved hjelp av nesefremspringene 37 og tverr-ribbene 38, således at dette utførelseseksempel er særlig egnet for så vel tvangsluftkjøling som for konveksjon. In the embodiment shown in fig. 6, 7, on the base plate lla on both sides of the heat sink's axis M, a rib wall 3 6 is arranged which laterally delimits the base plate lla and is designed with a nose projection 37 that points in the direction of the axis M and has a mutual distance d of approx. 5 mm. In this case, plinths 22 of heat sinks 20a are introduced in the main grooves 14 which taper in the direction of their outermost rib edge 21 and are provided with projecting transverse ribs 38 at a mutual distance d. The transverse ribs 38 on one side of the heat sink 20a are shifted in height in relative to the transverse ribs on the other heatsink side by half the distance d (i.e. d/2), so that the nose projections and transverse ribs 38 along one and the same straight horizontal reference line H point in one and the same direction. In this way, with a relatively wide flow channel, a considerable • increase in surface area is achieved by means of the nose projections 37 and the transverse ribs 38, so that this design example is particularly suitable for forced air cooling as well as for convection.

På grunnplaten llj-, i fig. 8 er det ved ekstrudering utformet flere kjøleribber 40 parallelt med hverandre i avstand g og ved siden av hvert sitt mellomspor 15. On the base plate llj-, in fig. 8, several heat sinks 40 are formed by extrusion parallel to each other at a distance g and next to each of the intermediate grooves 15.

To mellomspor 15 flankerer her da et felles hovedspor 14. Dette kjølelegeme 10^ oppviser et lavt ribbeforhold og kan i langstrakt utførelse med fordel anvendes for konveksjonskjøling. Ønskes,imidlertid en kort utførelse eller anvendelse ved tvangsluftkjøling, innklemmes separate kjøleribber 20a i hovedsporene 14. Here, two intermediate tracks 15 flank a common main track 14. This cooling body 10^ exhibits a low rib ratio and can be advantageously used for convection cooling in an elongated design. If, however, a short design or application with forced air cooling is desired, separate cooling fins 20a are clamped in the main grooves 14.

Da ved uforandret kjølelegemehøyde (i+h) ribbeoverflaten vil avta med tiltagende tykkelse av grunnplaten 11, er det i den viste grunnplate llc i fig. 9 innlagt et bånd 43 av kobber. As with an unchanged heat sink height (i+h) the rib surface will decrease with increasing thickness of the base plate 11, in the shown base plate llc in fig. 9 inlaid with a band 43 of copper.

Grunnplate 1IC i fig. 10 og II oppviser henholdsvis en rundtråd eller flat tråd 44 av kobber, som ved strengekstrudering i metallisk kombinasjon innleires i le ttraetallma trisen. Base plate 1IC in fig. 10 and II respectively show a round wire or flat wire 44 of copper, which, by strand extrusion in a metallic combination, is embedded in the light metal matrix.

Claims

1. Method for manufacturing a cooling body (10) for semiconductor components, particularly by string extrusion of light metal, and equipped with cooling fins (20) which have an elongated cross-section and protrude from a base plate (11), as the base plate is extruded with main grooves (14) in which separately produced cooling fins (20) are inserted, characterized in that, together with the main grooves (14), shaped ribs (19) are formed which flank the main grooves and separate these from applied intermediate grooves (15), as these shaped ribs (19) are deformed plastically after the introduction of the heat sinks in the main grooves (14) in such a way that the heat sinks (20) is clamped firmly in the main grooves (14).

2. Method as stated in claim 1, characterized in that the form ribs (19) are at least partially pressed into recesses (24) in the cooling ribs (20).

3. Method as stated 1 or 2, characterized in that material beads (17) are formed from a groove wall (16) in the main groove (14) which are caused to engage in the recesses (24) on the cooling fins (20).

4. Method as stated in one of claims 1 to 3, characterized in that the intermediate grooves (15) are formed with a triangular cross-section.

5. Method as stated in one of claims 1 to 4, characterized in that the main grooves (14) are made with a greater depth (a) than the depth (f) of the intermediate grooves (15).

6. Method as stated in one of claims 1 to 5, characterized in that the cooling fins (20, 40). produced alternately on one side in one piece with the base plate (11) and on the other side as a separately produced profile that is clamped into the base plate (11).

7. Method as stated in claim-6, characterized in that a main track is produced between each pair of designed cooling fins (40) in the base plate (11).

8. Method as set forth in one of claims 1 to 7, characterized in that the separately produced cooling fins (20) are provided with transverse fins (38) which extend in the direction of flow.

9. Method as stated in one of claims 1 to 8, characterized in that the base plate (llc) is provided with at least one band (43), wire (44) or the like as an insert or covering of good heat-conducting material.

10. Method as stated in one of claims 1 to 9, characterized in that the form ribs (19) are deformed by means of a rolling tool in the intermediate grooves (15).

11. Method as set forth in one of claims 1 to 10, characterized in that the cooling body (10) is heat hardened after the deformation.

12. Tool for carrying out the specified method in claim 10, characterized by pressure washers that are kept at a distance from each other by means of spacers (32) and have radially tapering pressure edges (29), whose greatest width (u) is greater than the width (s) of the intermediate grooves (15), and where the free radial longitudinal extent of each thrust disc is greater than the free height (h) of the cooling fins (20).