NO157435B - Piezoelektrisk drivmotor til vibrering av ringlasergyroskop. - Google Patents

Piezoelektrisk drivmotor til vibrering av ringlasergyroskop. Download PDF

Info

Publication number
NO157435B
NO157435B NO814339A NO814339A NO157435B NO 157435 B NO157435 B NO 157435B NO 814339 A NO814339 A NO 814339A NO 814339 A NO814339 A NO 814339A NO 157435 B NO157435 B NO 157435B
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
transducer
spoke
drive motor
electrodes
hub
Prior art date
Application number
NO814339A
Other languages
English (en)
Other versions
NO814339L (no
NO157435C (no
Inventor
Bo Hans Gunnar Ljung
Original Assignee
Singer Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Singer Co filed Critical Singer Co
Publication of NO814339L publication Critical patent/NO814339L/no
Publication of NO157435B publication Critical patent/NO157435B/no
Publication of NO157435C publication Critical patent/NO157435C/no

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/58Turn-sensitive devices without moving masses
    • G01C19/64Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
    • G01C19/66Ring laser gyrometers
    • G01C19/68Lock-in prevention
    • G01C19/70Lock-in prevention by mechanical means
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/101Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2041Beam type
    • H10N30/2042Cantilevers, i.e. having one fixed end

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

Oppfinnelsen vedrører en forbedret piezoelektrisk drivmotor til å vibrere et ringlasergyroskop. Mer spesielt vedrører oppfinnelsen forbedringer av de piezoelektriske transdusere som brukes ved slike motorer.
Piezoelektriske motorer er tidligere blitt brukt til
det formål å vibrere ringlasergyroskop. I forbindelse med en slik motor blir en eller flere piezoelektriske transdusere festet til bøyelige eiker, som forbinder den ytre bevegelige krans av gyroskopet til et indre fast nav. Transduserene blir drevet ved hjelp av passende vekselspenning og bøyer seg idet de beveger den ytre krans frem og tilbake i en oscillatorisk bevegelse. Ved denne kjente konstruksjon er transduserene festet til et sterkt belastet område nær eikenavet ved hjelp av et klebemiddel som har en tendens til å svikte under driften av motoren på grunn av den høye påkjenning. På grunn av den høye påkjenningen må der dessuten benyttes meget tynne piezoelektriske elementer i transduserene, hvilket gjør motorkonstruk-sjonen kostbar.
En annen ulempe ved denne konstruksjon er det forhold
at den ene side av transduseren nødvendigvis" må være jordet til den eike som den er festet til. Transduserdrivstrømmene som går gjennom gods eller jord, bevirker at der opptrer feil-spenninger i andre kretser som bruker den samme jording. I
noen tilfeller kan dette problem være så alvorlig at det nød-vendiggjør bruken av en isolasjonstransformator for driften av motoren. En slik isolasjonstransformator er tung og er høyst uønsket når ringlasergyroskopet skal brukes i forbindelse med luftbårent navigasjonsutstyr.
En hensikt med den foreliggende oppfinnelse er å skaffe en piezoelektrisk motor for drift av ringlasergyroskop, som ikke er beheftet med de ovennevnte ulemper.
Denne hensikt oppnås ved en drivmotor av den i innled-ningen til krav 1 beskrevne art. Ytterligere trekk og fordeler ved oppfinnelsen fremgår av de vedføyde underkrav.
I henhold til oppfinnelsen blir senteret av hver piezoelektrisk transduser som danner et påvirkningsorgan for driv-motoren, festet til den tilhørende eike på et punkt som utgjør "nøytral radius", på en slik måte at den del av transduseren som ligger nærmere navet og den del av transduseren som ligger nærmere den bevegelige ytre krans av gyroskopet, blir påvirket av hovedsakelig like og motsatte krefter når eiken og transduseren blir bøyet. Ytterflaten av det piezoelektriske element som danner den aktive del av transduseren, er forsynt med to separate elektroder, kalt henholdsvis den første eller indre og den andre eller ytre elektrode, mens den side av transduseren som er festet til eiken, bare har en bakre elektrode. De indre og ytre elektroder blir drevet motsatt ved påtrykking av vekselspenning. Ved å drive den indre og ytre elektrode i mottakt med en vekselspenning, oppnår man en symmetrisk drift og den bakre elektrode forblir på et egentlig jordpotensial. Vekselspenningen får de respektive ender av transduseren til å bøye seg i en rekke S-former og gir som resultat en frem- og tilbake-bevegelse av den ytre krans.
Endene av det piezoelektriske element smalner av for
å redusere virkningen av påkjenningene ved elementendene, idet feil og forringelse av elementet i disse regioner blir redusert til et minimum. Fordi behovet for en god elektrisk kontakt mellom eiken og transduseren er eliminert, kan transduseren festes på en bærer med et klebemiddel med høy strukturell styrke, således kan der benyttes transduserelementer og proble-met med delaminering som opptrådde ved kjente innretninger, blir eliminert. Det medfører reduserte tap fra håndtering av de tykkere elementer w Sluttelig resulterer bruken av en bakre elektrode som holdes på egentlig jordpotensial, i en balansert konstruksjon som eliminerer jordstrømmer og tillater bruken av lette mottaktforsterkere i steden for isolasjonstransformatorer.
Oppfinnelsen vil i det følgende bli beskrevet under hen-visning til tegningen.
Figur 1 anskueliggjør skjematisk en tidligere kjent piezoelektrisk drivmotor. Figur 2 er et snitt gjennom en del av den konstruksjon som er vist på figur 1. Figur 3 er et skjematisk sideriss av en piezoelektrisk motor i henhold til den foreliggende oppfinnelses lære, og
figur 4 er et snitt gjennom en piezoelektrisk drivmotor i henhold til oppfinnelsen.
Figurene 1 og 2 anskueliggjør en tidligere kjent piezoelektrisk motor til å vibrere et ringlasergyroskop.
Gyroskopet har et fast nav 2 og en bevegelig ytre krans 4
som er forbundet med navet ved hjelp av en flerhet av radiale eiker 6. Bare én eike er vist. Drivelementet omfatter en piezoelektrisk transduser 8 som er elektrisk og mekanisk forbundet med eiken 6 nær navet 2, og som drives ved hjelp av en spenning som tilføres via forbindelsesledninger 10 og 12 fra en forsterker 14. En annen ikke vist transduser kan festes til yttersiden av eiken. En vekselspenning som påtrykkes inngangen 16 til forsterkeren 14, blir forsterket og påtrykket på motsatte sider av transduseréh 8 for å fremskaffe en bøyning av eiken 6. På figur 1 er tilbakeveien via eiken 6, navet 2 og gods eller jord 12. Jordingsretur-veien er en delt vei, idet den også tjener som returvei for andre gyroskopsignaler som ikke har forbindelse med vibrasjons-driften. Vekselspenningen som påtrykkes transduseren 8, får denne til vekslende å forlenge seg og trekke seg sammen.
Denne lengdeendring overføres til eiken, idet der fremskaffes utbøyning og til slutt deformasjon av eiken,slik det er vist ved de stiplede linjer 6'.
Som vist er en transduser festet til den ene side av en eike. Det vil forståes av fagfolk på området at mer enn en eike kan bli påvirket,og at der kan plasseres transdu-
ser på begge sider av en gitt eike. I henhold til tidligere kjent teknikk viser figur 1 den vanlige plassering av transduser 8 med en posisjon nær det indre faste nav 2,
hvor navet blir meget sterkt påkjent. Selv om bøyningen av
eiken i praksis ikke er så stor som indikert på figur 1,
ved henholdsvis i heltrukne og stiplede stillinger 6 og 6', finner der likevel sted en betydelig bøyning av eiken, noe som overføres til selve transduserelementet og bevirker at det bøyer seg. I den hensikt å unngå feil på grunn av bøyning krever denne konstruksjon bruken av piezoelektriske transduserelementer som er meget tynne.
Figur 2 anskueliggjør mer detaljert, hvordan man ifølge kjent teknikk fester transduseren til eiken 6. På denne figur er elementet 8 vist med elektroder 22 og 24 på respektive langsgående flater. Disse elektroder er dannet på stedet ved overtrekking av transduserelementet med, f .eks. en sølv- >. pasta som deretter blir smeltet for å fremskaffe ledende overflater på elementet. Elektrisk forbindelse blir utført mellom den indre sølvelektrode 22 og metalleiken 6 i gyroskopet ved hjelp av et lag av ledende epoxy 18. Sammen-stillingen sluttføres ved overtrekking av transduseren 8
med et formtilpasset belegg 20, som effektivt avtetter og isolerer transduseren fra atmosfæriske påvirkninger.
Det formdannede belegg 20 kan være en silikon- epoxy-
skjellakk- eller en annen velkjent isolasjonssammensetning. Hoveddelene i transduseren 8 kan tildannes av et hvilket som helst materiale som har piezoelektriske egenskaper.
Et slikt materiale kan være en keramikk. Et foretrukket materiale er strontiumdopet blyzirkonium-titan. Polarisasjonsretningen i transduserelementet er vist ved pilen 23. Pilen 23 viser også påtrykningsretningen for det elektriske felt mellom elektrodene 22 og 24 for fremskaffelse av en deformasjon av transduserelementet.
Figurene 3 og 4 anskueliggjør en piezoelektrisk drivmotor som er fremstilt i henhold til den foreliggende oppfinnelses lære. Som tidligere er motoren vist med en eneste transduser festet til den ene side av eiken 6, mellom et stasjonært ringlasergyroskop- nav 2 og den bevegelige ytre krans 4. Transduserelementet 30 bærer nå to elektroder 32 og 34 som er anordnet på avstand fra hverandre på den
siden av elementet 30 som vender bort fra eiken 6.
Elektrodene 32 og 34 er forbundet med en forsterker 14a
ved hjelp av forbindelsesledninger, henholdsvis 38 og 40. Forsterkeren 14a har en mottaktsutgang som leverer vekselspenning til forbindelsesledningene 38 og 40. Som det fremgår av figur 3,er elektrodene 32 og 34 elektrisk separert ved hjelp av en ikkeledende spalte 33 ved midtpartiet av transduktoren. Spalten 33 er plassert på en radial avstand r målt fra senteret av navet 2. Radius for navet 2 er betegnet med a og radien til den indre flate av den bevegelige ytre krans 4 er betegnet med 1. Radius r indikerer avstanden fra navsenteret til eikens lavpåkjenningsområde hvor spalten 33 er plassert.
Lavpåkjenningsområdet eller knutepunktet for eiken er anordnet nær eikens geometriske senter. For noen situasjoner kan det geometriske senter bli brukt til lokalisering av spalten i drivtransduseren. Det vil bli forstått av fagfolk på området at den nøyaktige plassering av knutepunktet kan fremskaffes analytisk eller grafisk ved konstruksjon av et momentdiagram for eiken.
Den måte på hvilken et påvirkningsorgan eller transduktor blir konstruert for hver motor,fremgår tydelig av tverrsnittet vist på figur 4. På denne figur har den transduser 31 som ligger nærmest eiken,en jevn, ledende bakre elektrodeflate 36. Et par ledende elektrodeflater 32 og 34
er plassert på den motsatte utovervendende flate av elementet. Siden av elementet 30, som bærer elektroden 36, er fortrinnsvis festet til eiken 6 ved hjelp av et lag av isolerende epoxy 44. Dette lag kan, fordi det ikke trenger å være fylt av metall, gjøres betydelig sterkere enn det ledende epoxylag 18 på
figur 2. Epoxylaget 44 blir fortrinnsvis påført eiken 6
i form av et epoxyimpregnert fiberglass eller nylonmatte. Konstruksjoner av denne art er tilgjengelige i uherdet form, idet de bare trenger å bli tilskåret med saks,påført og herdet for å skaffe den ønskede hefting for sammenkobling av eike-6 og transduser 31. Elektrodene 32, 34 dg 36 kan
fremstilles på samme måte som dem på figurene 1 og 2.
En typisk drivtransduser 31 kan være en tynn firkantet skive av samme materiale som ble brukt ved drivelementet 8
på figurene 1 og 2. Elementet 30 kan ha en side på ca.
10,2 mm og være 0,5 mm tykk. Spalten-33 er ca. 0,9 mm og vinkelen for endeskråflåtene 46 er ca. 15°. For å unngå skade under håndteringen blir de skarpe kanter av de skrå ender 46 fjernet. Spalten 33 mellom elektrodene 32 og 34 trenger bare å være så bred som elementet er tykt.
Selv om det ville være ventet at breddene av spalten 3 3
burde være dobbelt så stor som tykkelsen av elementet 30
i den hensikt å redusere risikoen for overslag mellom elektrodene 32 og 34 til et minimum, så er det funnet at denne foranstaltning er unødvendig. I virkligheten er det funnet fordelaktig å gjøre spalten så liten som mulig fordi det forbedrer følsomheten hos den piezoelektriske transdusers struktur på grunn av forskyvning. Det er fordi piezoelektrisk forskyvning blir forsterket og der påføres en større utbøyning på eiken under påvirkning av transduseren. Det er også funnet hensiktsmessig å påføre elektrodene 32
og 34 som en eneste sammenhengende elektrode og deretterr-fremskaffe spalten 33 ved kjemisk etsing av overflaten for fremskaffelse av adskilte elektroder med hovedsaklig samme areal.
Et annet trekk ved oppfinnelsen er anordningen med skrå ender 4 6 ved hver ende av det piezoelektriske element 30. Ved å skrå endene av elementet oppnår man at den påkjenning som resulterer fra koblingen av mekanisk påkjenning til eiken 6, blir gradert ved transduserendene. Hver skrå ende har den virkning at forskyvningskreftene fordeles i klebe-midlet over en vesentlig del av krystallengden sammenlignet med den konsentrasjon av påkjenning som opptrer ved bruk av rektangulære ender. Det er funnet ved beregning av spenning-ene i elementet ved punktene for spenningskonsentrasjon ved de respektive ytre stumpvinkelavfasede hjørner at dersom der skal fremskaffes en spenning under grensen på 2 758 N/cm<2 >gitt av materialstyrken for et blyzirkoniumtitankrystall ved minimering av krystalltykkelse,er den foretrukne vinkel for de avfasede ender ca. 15°.
Under drift går virkningen ved å påføre spenninger
til elektrodene 32 og 34 ut på motsatt påvirkning av endene av det piezoelektriske element 30. Fordi elementet ikke er blitt polarisert (slik tilfellet var ved tidligere kjente krystaller) vil hele lengden av elementet reagere ved deformasjon til en S-form. Ombytting av den påtrykte polaritet reverserer retningen av S-formen. Bruken av en vekselspenning blir derfor virksom til å drive endene av eiken 6 frem og tilbake og resultatet blir den ønskede skjelve- eller vibrasjonsbevegelse av den ytre krans 4
i forhold til navet 6. Virkningen av påtrykkingen av motsatte spenninger på elektrodene 32 og 34 er også å gjøre elektroden 36 på den annen side av elementet 30 til virkelig jord. Som et resultat vil ingen spenning fra drivorganet komme gjennom isolasjonsepoxyen 44 mellom den bakre elektrode 36 og eiken 6. Denne balanserte konstruksjon eliminerer jordkontakt og tillater bruken av lette mottaktforsterkere i steden for isolasjonstransformatorer.
Selv om oppfinnelsen er blitt beskrevet ovenfor i forbindelse med en foretrukket utførelsesform hvor der benyttes spesielle materialer og en spesiell anskueligbar konstruksjon, så skal det forståes at den foreliggende oppfinnelses lære kan benyttes i forbindelse med bruken av andre materialer og tidligere kjente konstruksjonsformer.
De etterfølgende krav må derfor bli tolket som omfattende
den foreliggende oppfinnelses idé héller enn å være be-grenset til de spesielle detaljer som er beskrevet og vist ovenfor.

Claims (7)

1. Piezoelektrisk drivmotor til å vibrere et ringlasergyroskop, hvor motoren omfatter et nav (2), en bevegelig ytre krans (4), minst en langstrakt bøyelig eike (6) som forbinder navet (2) til den ytre krans (4), og minst en transduser (30) festet til eiken (6) for utbøyning av denne, samt organer (14a,38,40) for spenningsforsyning til transduseren, karakterisert ved at transduseren (30) omfatter et piezoelektrisk element med en eneste elektrode (36) på den side av elementet som er festet til eiken (6), og et par elektroder (32,34) på motsatt side, idet den ene (32) av elektrodene i paret er anordnet nærmere navet (2) og den andre (34) er anordnet nærmere kransen (4), og at organene (14a,38,40) for spenningsforsyning til transduseren (30) er koblet til elektrodeparet (32,34) for å tilføre dette drivspenning.
2. Drivmotor som angitt i krav 1, karakterisert ved at elektrodene i elektrodeparet (32,34) ved sentrum for den mekaniske virkning av transduseren (30) er skilt fra hverandre av en spalte (33), og at spalten (33) er anordnet i et mekanisk lavspenningsområde for eiken (6).
3. Drivmotor som angitt i krav 1, karakterisert ved at de endeflater (46) av det piezoelektriske element som vender bort fra spalten (33) skråner mot eiken (6).
4. Drivmotor som angitt i krav 3, karakterisert ved at hver skrå endeflate (46) danner en vinkel på tilnærmet 15° med en side av elementet.
5. Drivmotor som angitt i krav 1, karakterisert ved at paret av elektroder (32,34) er anordnet symmetrisk på hver side av et mekanisk lavspenningsområde for eiken (6) og har hovedsakelig like over-flatearealer.
6. Drivmotor som angitt i krav 1, karakterisert ved at den side av transduseren (30) som har en eneste elektrode (36) er festet til eiken (6) ved hjelp av et elektrisk isolerende klebemiddel (44).
7. Drivmotor som angitt i et av kravene 1-7, karakterisert ved en mottaktforsterker (14a) som er forbundet med elektrodeparet (32,34).
NO814339A 1981-01-16 1981-12-18 Piezoelektrisk drivmotor til vibrering av ringlasergyroskop. NO157435C (no)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/225,490 US4370583A (en) 1981-01-16 1981-01-16 Piezoelectric motor for dithering ring laser gyroscopes

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NO814339L NO814339L (no) 1982-07-19
NO157435B true NO157435B (no) 1987-12-07
NO157435C NO157435C (no) 1988-03-16

Family

ID=22845089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO814339A NO157435C (no) 1981-01-16 1981-12-18 Piezoelektrisk drivmotor til vibrering av ringlasergyroskop.

Country Status (10)

Country Link
US (1) US4370583A (no)
JP (1) JPS57129178A (no)
AU (1) AU543272B2 (no)
CA (1) CA1154814A (no)
DE (1) DE3150801A1 (no)
FR (1) FR2498316A1 (no)
GB (1) GB2091495B (no)
IT (1) IT1149448B (no)
NO (1) NO157435C (no)
SE (1) SE456529B (no)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3167430D1 (en) * 1980-06-27 1985-01-10 Hitachi Ltd Piezoelectric resonator
US4431938A (en) * 1981-12-09 1984-02-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Grooved piezoelectric resonating element and a mounting therefore
US4531267A (en) * 1982-03-30 1985-07-30 Honeywell Inc. Method for forming a pressure sensor
US4445384A (en) * 1982-03-30 1984-05-01 Honeywell Inc. Piezoelectric pressure sensor
US4536862A (en) * 1982-05-24 1985-08-20 Texas Instruments Incorporated Seismic cable assembly having improved transducers
US4849668A (en) * 1987-05-19 1989-07-18 Massachusetts Institute Of Technology Embedded piezoelectric structure and control
US5012174A (en) * 1988-06-20 1991-04-30 Sperry Marine Inc. Method and apparatus for countering vibrations of a platform
US4988908A (en) * 1989-05-31 1991-01-29 Honeywell Inc. Piezoelectric transducers for a ring laser gyroscope dither motor
GB2242779A (en) * 1990-04-03 1991-10-09 British Aerospace Dither spring assembly for laser gyroscope.
US5950995A (en) * 1997-12-04 1999-09-14 Honeywell Inc. Ring laser gyroscope dither motor structure
US5867270A (en) * 1997-12-04 1999-02-02 Honeywell Inc. Mechanism and method for mounting piezoelectric transducers
GB9823028D0 (en) * 1998-10-22 1998-12-16 Lucas Ind Plc Fuel injector
JP2002261577A (ja) * 2001-03-02 2002-09-13 Seiko Epson Corp 振動片、振動子、発振器及び携帯用電話装置
US6683692B2 (en) 2001-06-21 2004-01-27 Honeywell International Dither system for motion sensors
EP1489740A3 (en) * 2003-06-18 2006-06-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Electronic component and method for manufacturing the same
CN101237946B (zh) * 2005-08-08 2013-03-27 皇家飞利浦电子股份有限公司 超声换能器阵列
US7375816B2 (en) * 2005-09-29 2008-05-20 Honeywell International Inc. Dither motor having integrated drive and pickoff transducers
JP4756461B2 (ja) * 2005-10-12 2011-08-24 宇部興産株式会社 窒化アルミニウム薄膜およびそれを用いた圧電薄膜共振子
US8259302B2 (en) 2010-07-30 2012-09-04 Honeywell International Inc. Variable path length control modulation frequency

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3225226A (en) * 1961-09-08 1965-12-21 Toko Radio Coil Kenkyusho Kk Electrical vibrator
US3167667A (en) * 1962-08-08 1965-01-26 Lear Siegler Inc Piezoelectric force controller
US3304773A (en) * 1964-03-26 1967-02-21 Vernon L Rogallo Force transducer
US3373650A (en) * 1965-04-02 1968-03-19 Honeywell Inc Laser angular rate sensor
AT320794B (de) * 1970-09-11 1975-02-25 Braun Ag Dt Piezoelektrischer antrieb
DE2109063C3 (de) * 1971-02-25 1979-07-19 Braun Ag Piezoelektrischer Antrieb
US4167686A (en) * 1973-12-21 1979-09-11 Hitohiro Fukuyo Miniaturized at-cut piezoelectric crystal resonator
US4113387A (en) * 1977-02-14 1978-09-12 Rockwell International Corporation Dual mode laser optics control for ring laser gyro
US4160184A (en) * 1978-01-09 1979-07-03 The Singer Company Piezoelectric actuator for a ring laser

Also Published As

Publication number Publication date
IT8219086A0 (it) 1982-01-13
GB2091495B (en) 1983-09-14
IT1149448B (it) 1986-12-03
FR2498316B1 (no) 1985-03-01
NO814339L (no) 1982-07-19
AU7862381A (en) 1982-07-22
JPS57129178A (en) 1982-08-11
GB2091495A (en) 1982-07-28
AU543272B2 (en) 1985-04-18
CA1154814A (en) 1983-10-04
SE456529B (sv) 1988-10-10
NO157435C (no) 1988-03-16
DE3150801A1 (de) 1982-10-21
SE8200151L (sv) 1982-07-17
US4370583A (en) 1983-01-25
FR2498316A1 (fr) 1982-07-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO157435B (no) Piezoelektrisk drivmotor til vibrering av ringlasergyroskop.
JP3118251B2 (ja) 超音波駆動装置及びその方法
US2558563A (en) Piezoelectric strain gauge
US6119518A (en) Angular velocity sensor
US4257686A (en) Multiple layer piezoelectric wavefront modulator
WO2013136759A1 (ja) 光学反射素子とアクチュエータ
US11835338B2 (en) Sensor element, angular velocity sensor, and multi-axis angular velocity sensor
US11195984B2 (en) Piezoelectric transformer
US20190265033A1 (en) Angular velocity sensor, sensor element, and multi-axis angular velocity sensor
WO2015045621A1 (ja) 角速度検出素子
JPH0937571A (ja) 積層型アクチュエータおよび移動装置
JPS61223683A (ja) 超音波素子および超音波素子の駆動方法
JP3326735B2 (ja) 圧電アクチュエータ
JPS62188975A (ja) 圧電体角速度センサ−
JP2557287B2 (ja) 圧電振動ジャイロ
JP3343798B2 (ja) 圧電トランス
JP3261686B2 (ja) 超音波モータ
JPS62140016A (ja) 圧電体角速度センサ−
JPH0527045B2 (no)
JP3511243B2 (ja) 圧電振動ジャイロ
JPS6289483A (ja) 微動装置
JPS61129077A (ja) 複数の振動方向を有する片持梁状超音波振動子
JPH05306935A (ja) 圧電振動ジャイロ
JPS6342417A (ja) 圧電体角速度センサ−
JPH0132758Y2 (no)