NO116568B - - Google Patents

Description

Fremgangsmåte og innretning til avleiring av tynne ledende eller

halvledende belegg.

Den foreliggende oppfinnelse angår en fremgangsmåte og en

innretning til forstCvning, som gj6r det mulig på overflater av vil-

kårlig art og form å avsette belegg av metaller eller legeringer (intermetalliske forbindelser), grafitt eller hvilken som helst form for ledere eller halvledere. Beleggene skal kunne dekke overflater av både metalliske, keramiske og plast-materialer, enten det nu er i form av korrosjonsbeskyttende belegg eller som diffusjonsbarriere, og det såvel på innsiden som på yttersiden av en vilkårlig gjenstand,

eller også utgjQre elektrisk eller termisk ledende overtrekk eller overtrekk med dekorative eller optiske virkninger.

De fysikalsk-kjemiske egenskaper som kreves av beleggene,

kan være folgende:

god vedheftning,

Jevn belegning,

homogen belegning,

meget liten porOsitet (barriere mot gjennemtrengning av gass eller væsker),

meget fin kornstruktur,

god. korrosjonsmotstand.

Blant de lfisninger som allerede har vært anvendt for å gjennemfOre belegning, kan passende nevnes elektrolytisk belegning, belegning ved termisk spaltning av kjemiske produkter, pådampning samt laminering eller påpresning.

Oppfinnelsesgjenstanden kan henregnes til kategorien avleiring ved elektriske utladninger, som på teknikkens nuværende stadium fremfor alt omfatter katodeforstBvning. En kort forklaring av denne metode kan gis som felger: I en vakuumbeholder, i almindelighet en glassklokke,tilveiebringes en atmosfære av argon eller annen gass (f.eks. helium) med lavt absolutt trykk på 1 mm ned til 10"^ mm Hg.

I denne beholder er der i almindelighet plasert to elektroder, nemlig katoden, som selv utgjBr materialet som skal avleires, og anoden, som i almindelighet utgjOres av beholderen (den kan også være en hjélpé-anode eller også en gjenstand som skal belegges)* Mellem disse to elektroder påtrykkes en hOy spenning av stOrrelsesordenen 2000 - 4000 volt. PrOven som skal belegges, plaseres rett overfor katoden.

Den nfiyaktige mekanisme av den konvensjonelle katodeforstOv-ning er ennu ikke særlig godt kjent eller forklart. Imidlertid kan man gi fSigende beskrivelse: Katoden sender ut elektroner som ved kollisjon ioniserer gassen (f.eks. argon). De således frigjorte argon-ioner akselereres

av hCyspenningsfeltet og bombarderer katoden slik at mikroskopiske partikler av denne blir revet 18s og sendt ut i hele beholderen, også mot overflaten av gjenstanden. For tiden foreligger der på markedet

apparater som arbeider efter dette prinsipp, og som til og med oppviser endel forbedringer fremfor metoden i henhold til den ovenstående elementære beskrivelse. I den forbindelse kan nevnes at apparat som i oppviser de følgende trekk: Katoden varmes opp indirekte, men utgjOree ikke av materialet som skal avsettes. I stedet anbringes en hjelpe-katode av stoffet som skal avsettes, overfor gjenstanden som skal belegges. Denne annen katode befinner seg likeledes på negativ spenning, men av mindre stiJrrelse enn spenningen på opphetningskatoden. De ioniserte gasser blir konsentrert i midten av klokken ved hjelp av et magnetfelt på 200 gausa.

Systemet med katodeforstøvning, som er tilfredsstillende for avleiring av ytterst tynne belegg, lider imidlertid av flere ulemper,

som f.eks.:

for lav virkningsgrad for avleiringer av en viss størrelse,

for liten hastighet av belegningen,

elektrodesystemet lar seg ikke lett tillempe for å arbeide effektivt i det indre av spesielt formede rør, f.eks. for innvendig belegning av røret,

som helhet blir innretningen meget lite mobil, og den egner seg meget dårlig for belegninger i industrielle apparater av €n viss størrelse.

Den fremgangsmåte som oppfinnelsen går ut på, og som gjør det

mulig å avhjelpe disse mangler og også å avsette stoffer med meget høyt smeltepunkt, er i første rekkekarakterisert vedat overflaten som skal belegges, anbringes i en gassatmosfære som til stadighet for-

nyes og holdes på et hovedsakelig konstant trykk av størrelsesordenen 10 —1 til 10 — J T mm Hg, og at denne gass får påtrykket et elektromag-

netisk felt med spenning 1500 - 3000 Volt og frekvens 2-30 MHz ved hjelp av påtrykningsorganer som er anbragt i gassatmosfæren og utført av materialet som skal avleires, eller en av dets bestanddeler, for å ionisere gassen og i det minste delvis omdanne den til plasma, hvis partikler under virkningen av den bevegelse som meddeles dem, rammer de nevnte påtrykningsorganer for det høyfrekvente hOyspenningsfelt.

Ved virkningen av anslaget vil disse partikler derved rive løs små stoffpartikler som alt efter arten av den benyttede gass (inert eller reaktiv) avsetter seg som sådanne eller efter forbindelse med gassen,

på de omgivende flater og spesielt på den flate som skal dekkes, og som fortrinnsvis anbringes i umiddelbar, nærhet av de nevnte påtryknings-midler for høyfrekvensfeltet0

For utførelse av fremgangsmåten gir oppfinnelsen også anvisning på en innretning til avleiring av tynne belegg av ledende eller halvledende materiale på overflaten av vilkårlige legemer. Denne inn-

retning er i første rekkekarakterisert vedat den omfatter et belegningskammer med kontinuerlig gasstilførsel gjennem en eller flere ledninger ogi tilsluttet et vaJcuumpumpesystem som vedlikeholder et hovedsakelig) konstant lavt trykk av 10~<*>j til 10~^ mm Hg i kammeret, tog

at der i dette er anbragt en eller flere) selvinduksjonaviklinger som er utført av materialet som skal avleires, og innrettet til å påtrykke gassatmoafasren i kammeret et høyspent og høyfrekvent elektromagnetisk

felt for å ionisere gassen, samtidig som gasstilforselsledningen eller -ledningene fortrinnsvis er plasert i aksen for selvinduksjonsviklingen eller -viklingene og munner ut ved inngangen til denne, resp. disse.

Oppfinnelsen vil forstås bedre på grunnlag av tegningen, hvor deler som er like eller over samme funksjoner, er forsynt med de samme henvisningstall på de forskjellige figurer.

Fig. 1 er et prinsippskjerna for innretningen.

Fig. 2 viser skjematisk snitt av forstøvningskammeret.

Fig. 3 a - h viser forskjellige utf5relsesformer av selv-induks jonsorganer til påtrykning av hoyfrekvensfeltet. Fig. 4 viser et utforelseseksempel på oppfinnelsen anvendt ved en innretning som muliggjør belegning av innerflaten av et ror, og

fig. 5 viser et utforelseseksempel på anvendelsen av oppfinnelsen ved en innretning til belegning av et kar.

Der henvises først til fig. 1 og 2. 1 betegner en høyfrekvens-generator hvis frekvens ved hjelp av en variabel kapasitet 2 kan regu-leres mellem 2 og minst 30 MHz. En spenningshoynende transformator 3 overforer den av generatoren leverte hoyfrekvensstrøm til en spole 5 som er utfort av materialet som skal avgis, og befinner seg i en beholder 4 med lavt absolutt trykk. Hoyfrekvensstrommen filtreres slik at alle parasittiske modulasjoner blir eliminert. En ledning 6 for tilførsel av gass under lavt trykk er fortrinnsvis plasert slik at den blåser inn gassen i det rom som omsluttes av vindingene av spolen 5»Et vakuumpumpeanlegg 9 gjor det mulig å holde det lave gasstrykk i det indre av beholderen 4 hovedsakelig konstant. Den eller de gjenstander 7 som skal belegges, plaseres rett overfor spolen i en avstand av 3-4 cm. I almindelighet (jfr. fig. 1) blir de ledende prøver som skal belegges, understøttet på og forbundet elektrisk med en elek-trode som går gjennem veggen av beholderen og er isolert fra denne, noe som forøvrig også gjelder tilførselslederne til spolen 5»En høy-spennings-likestromgenerator 8 blir dels med sin negative pol tilsluttet prøven som skal belegges, og dels med sin positive pol tilsluttet veggen av beholderen 4»Takket være denne anordning er det mulig, før belegningen på prøven foretas, å utføre en rensning av denne på stedet ved en prosess i likhet med den tidligere kjente katodeforstøvning. Under denne fase virker således stykket som skal renses, som katode hvorfra der rives løs materiale. Det sier seg selv at høyfrekvensgeneratoren 8 frakobles under avleiringsfasen.

Et viktig punkt skal understrekes når det gjelder innføringen

av gassen og trykket av den innforte gass: For å skape optimale be-

tingelser for forstovningen innforer man en liten gass-stråle direkte i spoleaksen.

Innretningens virkemåte er som folger:

Under virkningen av det høyfrekvente elektromagnetiske felt

blir gassen som innfores i det av spolen begrensede rom. sterkt ionisert i form av et plasma. Partiklene av dette plasma blir ved den sterke bevegelse som meddeles dem. slynget mot spolen og løsriver fra denne korpuskler av dens materiale. Disse korpuskler sprer seg i hele beholderen og vil bl. a. avsette seg på gjenstanden 7 som skal belegges. Den store fordel ved den metode og den innretning som er beskrevet, er at hastigheten av avleiringen blir meget større enn i tilfellet av "cathode sputtering". Ennvidere har man iakttatt eksperimentalt at det plasma som dannes av gassen, praktisk talt blir holdt innenfor spolen. Det gasstrykk som hersker utenfor spolen,

blir dermed nødvendigvis meget lavere og svarer noenlunde til det man

måler med vakuum-måleinstrumenter anbragt i beholderen

(10 -1 til 10 -3 J mm Hg). Dette lave trykk av gassen som omgir prøven,

er fordelaktig for beleggets struktur. Således får man takket være dette lave gasstrykk mindre inneslutning av gass i belegget. Den variable kapasitet 2 benyttes til å forandre frekvensen av det elektromagnetiske felt som frembringes av spolen. For til hver gass som benyttes, svarer en foretrukken frekvens for ionisasjonen, og det er således gunstig å tilpasse feltets frekvens efter arten av den an-

vendte gass.

I tilfelle av at den eller de prøver som skal belegges,

ikke er ledende, nøyer man seg med å plasere dem rundt omkretsen av spolen 5 uten noen form for elektrisk tilslutning (jfr. fig. 2).

Innretningen kan også omfatte et manometer 10 til måling av vakuet.

Sluttelig kan nevnes at beholderveggen kan være jordet.

Eksempelvis kan nevnes at man med en innretning utført på

denne måte bl. a. har foretatt følgende belegninger: Nikkel på

zircaloy, nikkel på keramikk, niob på kobber, niob på keramikk (AlgOo),

tantal på keramikk (AlgO^), jern på kobber, nikkel på kobber, niob på

messing, niob på zircaloy, wolfram på keramikk. En digel har vært belagt med wolfram og gjorde det derefter mulig å utfore smeltning av metallisk uran uten oksydasjon av metallet. Likeledes har der vært foretatt belegning med rustfritt stål. Materialet Fe-Ni-Cr har vært overført som sådant fra spolen til gjenstanden som skulde belegges.

Det sier seg selv at det her bare dreier seg om et lite antall av eksempler og den anførte liste på ingen måte blir å anse som begrensende. Generelt kan det sies at de tekniske driftsdata varierer litt fra en prøve til en annen.

Således er avleiringstiden avhengig av metallets art og av den effekt som uttas fra generatoren. Det er mulig å Øke belegnings-mengden pr. minutt og pr. cm ved å Øke antallet av viklinger og av innføringssteder for ioniserende gass. Imidlertid foreligger der også en annen mulighet for å Øke hastigheten av avleiringen. Den består i at man på den prosess som foregår i den beskrevne innretning, overlagrer en konvensjonell katodeforstøvning. Til dette formål er det tilstrekkelig mellem spolen 5°g beholderen 4 å frembringe et kraftig elektrisk likefelt som overlagrer seg på det elektromagnetiske felt. Forøvrig er det mulig å benytte alle forbedringer av denne teknikk.

De beskrevne eksempler gjelder avleiring av selve materialet av spolen 5P8- prøven under utnyttelse av lite reaktive edel-gasser i ren form eller i form av blandinger. Imidlertid skal det bemerkes at oppfinnelsen ikke er begrenset til denne anvendelsesmåte.

Således lar det seg uten videre gjøre, uten å avvike fra oppfinnelsens ramme, å foreta avleiringer av forbindelser som utgjøres dels av materialet i spolen 5 og dels av gassen, som isåfall er reaktiv, og som innføres i naboskapet av spolen. Således har man realisert avleiringer av aluminiumoksyd og av niobnitrid. Spolen 5 besto da av aluminium eller niob og gaasatmosfæren av henholdsvis oksygen eller nitrogen. Det sier seg selv at heller ikke denne oppregning når det gjelder avleiring av forbindelser, er uttømmende, men bare er anført eksempelvis. Således kan man også benytte en blanding av flere reaktive og/eller inerte gasser.

I det følgende vil der bli omtalt endel forskjellige mulige konstruksjonsvarianter av innretningen ifølge oppfinnelsen, spesielt når det gjelder selvinduksjonsviklingens utformning og anordningen av gasstilfØrseleno 1. Fig. 3a viser en spole 5 med flere vindinger som gjennem-flytes av høyfrekvensstrømmen. Dette er en utførelse { ^ . 7 som allerede blev beskrevet i forbindelse med forklaringen av opp-I' finnelsens prinsipp og er antydet mer skjematisk på fig. 1 og £.

i Skjønt der her er vist bare en enkelt spole, kan man Også tanke «ag j en kombinasjon av flere selvinduksjoner, f.eks» som antydet på fig«3b!aller 3°, for A Øke utbyttet av avleiringen»

Innretninger med selvinduksjonsvirkning som de vista^tear i meget vélskikket til gjennomførelse av fremgangsmåten ifølge opp- finnel8en. Således har de meget god virkningsgrad. De er meget lett håndterlige. Særlig fordelaktig, skjønt ikke utelukkende kan de benyttes til å belegge innsiden av rør, selv med stor diameter. Isåfall vil selve røret kunne utgjere vakuumbeholderen. Man behøver

da bare å stenge det, forbinde det med et vakuumpumpeanlegg og an-bringe spolen eller spolene i det. En innretning som virker efter dette prinsipp, er vist på fig. 4. På denne måte har man foretatt korrosjonsbekyttende belegning av innsiden av r6r til bruk i kjerne-reaktorer, og det på minimal tid.

Eksempelvis kan man anvende selvinduksjonsspoler av massiv tråd med en diameter av 2 - 3 mm»men det er ogfeå mulig, f.eks. i. tilfellet av metaller med lavt smeltepunkt, å benytte hule r6r som kjeles med en gass eller væske. Likeledes er det mulig å omkle et rOr med et annet metall, f.eks. omgi et kobberrør med et bånd av aluminium som dermed utgjer metallet som skal avsettes. En annen måte å utfOre spolen på vilde være å vikle et bånd i skruelinjeform. Dette kunde man gjOre for å 6ke sputtering-overflaten under bibehold av en god ionisasjon av gassen, i midten av spolen. For å forenkle matningen med gass som skal ioniseres, er det også mulig å utfere en spole som utgjøres av et r6r av materiale som skal avleires, og vikles i skruelinjeform samt forsynes med hull 17 (fig»3d) som har mikroskopiske dimensjoner og vender innover for å mate det av spolen omsluttede rom med ioniserende gass (fig. 3d). 2. En ionisasjonsvikling i form av en flat spiral. Spiralen kan være helt plan (fig. 3g og 3g<*>) eller svakt konisk (fig. 3e og 3e') med bredsiden vendende mot gjenstanden som skal belegges. Den ioniserende gass innfOres gjennem kjegleaksen, eller man benytter igjen et rør hvor gassen som skal ioniseres, strømmer ut gjennem mikroskopiske hull i spiralen (fig. 3f og 3f).

Denne utførelse er særlig interessant for belegning av

flate gjenstander i form av blikk eller av store sylindre eller store kar, f.eks. (fig. 5) et stålkar 18 som er bestemt for kjemiske pro-sesser, og som skal dekkes av et beskyttende skikt, f.eks. av nikkel. Isåfall lan man utføre flatspiralen av nikkel og la karet dreie seg, det hele selvsagt i et passende vakuum. Dette er ett eksempel blandt mange andre.

3*For metaller som har for lavt smeltepunkt eller også utilstrekkelig mekanisk fasthet, vil man kunne benytte systemet med flatspiraler, men denne gang av flytende metaller, selvsagt under-

støttet av et passende keramisk underlag (fig. 3n°g 3h') hvori der er uttatt en spiralformet renne inneholdende materialet som skal avgis. Argongassen blir selvsagt igjen innfort gjennem spoleaksen.

Dette er av særlig interesse for slike metaller som aluminium, sink, cadmium o.s.v. eller legeringer av disse med lavt smeltepunkt.

Som folge av ionebombardementet'som fremkalles av hoy-frekvensfeltét, blir viklingen eller spolen varmet opp og når tempera-turer som kan variere, men ikke overstige 1200° C, alt efter drifts-betingelsene. Man har gjentatte ganger kunnet iaktta en lokal opp-varmning, fremfor alt hvis gass-strålen kommer inn for nær en vikling eller rettes direkte mot denne. Dette kan til og med fore til en lokal smeltning av viklingen, noe som er ødeleggende for en tilfredsstillende drift. Hvis man stenger gass-tilførselen og lar vakuum-pumpen fortsette å arbeide og suge ut gass fra omslutningen, konstaterei man at spolen kjølner betydelig. Den blir da bare oppvarmet ved hoy-frekvensvirkningen. Dette viser at det virkelig er ionebombarde-mentet som bevirker oppvarmningen av elektroden.

I prinsippet kan alle ledende eller til og med halvledende materialer benyttes som hoyfrekvensvikling. Enda mer generelt kan organene for påtrykning av hoyfrekvensfeltet utfores av hvilket som helst materiale som kan få påtrykket et elektromagnetisk hoyfrekvens-felt. Som understøttelse kan man benytte praktisk talt hvilket som helst materiale, forutsatt at det ikke fordamper under de beskrevne arbeidsbetingelser. Som det fremgår av det foregående, byr den nye fremgangsmåte på tallrike fordeler.

Sammenholdt med den konvensjonelle forstovning blir hastigheten av avleiringen ved fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen større. Videre blir det mulig å realisere industrielle anlegg av store dimensjoner.

Fremgangsmåten behøver ikke noen komplisert apparatur, således er en Rootes-pumpe og en roterende pumpe istand til å skaffe det lave trykk av 1' 0 -1 til 10 J mm Hg som behøves for systemet. Man kan til og med tenke seg en hjelpesirkulasjon av gass i lukket krets.

I elektrisk henseende blir utførelsen meget enkel. Det er nok å ha j til rådighet en hoyfrekvensgenerator, som nu er blitt en meget ut-bredt apparattype. Takket være sin enkelhet og sin store smidighet når det gjelder tillempning i hvilken som helst vakuumbeholder, og også takket være det reduserte omfang av avleiringsapparaturen egner fremgangsmåten seg til mange industrielle anvendelser, såvel nukleære som halvnukleære. Det er mulig å belegge et rør innvendig med et beskyttelsesskikt uten komplikasjon eller modifikasjon av metoden.

Som vakuumbeholder kan man benytte selve roret, som lukkes ved den ene ende og forbindes med en pumpe, eller man innforer roret i en meget lang sylindrisk beholder. Med sikte på ensartet avleiring er det å foretrekke å la roret rotere.

Blant fordelene ved fremgangsmåten ifølge-oppfinnelsen er det ennvidere på sin plass å nevne at det er mulig å realisere en automatisk betjening av avleiringsapparaturen og dermed anvende et minimum av personale. Utbyttet er ypperlig, noe som gjor det mulig å benytte en minimal mengde av utgangsmaterialer. Enkelheten av metoden gjor det også mulig å unnvære diverse stoffer eller kjemiske reagenser. Ennvidere er det mulig, for belegningen foretas, å utfore en rensning av overflaten som skal belegges, og det i samme innretning, noe som forenkler arbeidet betydelig.

Fremgangsmåtens anvendelsesområde er ytterst utstrakt. Det dekker praktisk talt alle områder av industrien hvor der er spørsmål om beskyttende eller dekorativ ledende eller halvledende belegning. a) I den kjemiske industri: Belegg til beskyttelse mot syrer, mot korrosjon o.s.v. b) Innen den metallurgiske industri: Diffusjonsbarriere, dekorativt eller bekyttende belegg, overtrekk til beskyttelse mot

opptagelse av hydrogen, beskyttelse mot korroderende produkter.

c) I den keramiske industri: Metallisk belegning på keramiske gjenstander for dannelse av termisk eller elektrisk ledende skikt

eller for bunnskikt for sveising eller lodding.

d) I den elektroniske industri: Kondensatortråder på keramikk eller plast eller glass eller glimmer, trykte kretser, kretser i

halvledere, forbindelses-, sveise- eller beskyttelses-skikt.

e) I den kjernetekniske industri: Diffusjonsbarrierer på brensel eller kapsling, belegg til beskyttelse mot korrosjon fra

vann eller organiske produkter, diffusjonsbarrierer på reaktor-kanaler, beskyttelsesskikt på keramiske konstruksjoner, digel-foringer, f.eks. av wolfram på aluminiumoksyd for metallurgiske smelteprosesser, ledende tråder for spesielle laboratoriestudier, "coated particles", belegg på kuler av karbid eller oksyd, overtrekk på termioniske ledere, termioniske brenselelementer, metalliske overtrekk på UOg eller UC etc.

Det turde også være på sin plass å tilføye at den veksel-strøm aom går i hvilke som helst av- de benyttede former for organer til påtrykning av høyfrekvensfeltet, kan være av vilkårlig type: sinusformet, sagtakket, pulsformet o.s.v.

Claims (9)

1. Fremgangsmåte til avleiring av tynne belegg av ledende eller halvledende materiale på overflaten av materialer som metall, keramikk eller plast,karakterisert vedat overflaten som skal belegges, anbringes i en gassatmosfære som til stadighet fornyes og holdes på et hovedsakelig konstant trykk av størrelsesordenen 10 1 til 10 _ J Q mm Hg, og at denne gass får påtrykket et elektromagnetisk felt med spenning 1500 - 3000 Volt og frekvens 2-30 MHz ved hjelp av påtrykningsorganer som er anbragt i gassatmosfæren og utført av materialet som skal avleires, eller en av dets bestanddeler, for å ionisere gassen og i det minste delvis omdanne den til plasma, hvis partikler under virkningen av den bevegelse som meddeles dem, rammer de nevnte påtrykningsorganer for det høyfrekvente høy-spenningsfelt.

2. Fremgangsmåte som angitt i krav 1,karakterisertved at gassatmosfæren stadig fornyes ved hjelp av en gasstilførsels-ledning som munner ut i umiddelbar nærhet av påtrykningsorganene for høyfrekvensfeltet, samtidig som trykket holdes hovedsakelig konstant ved hjelp av et vakuumpumpesystem.

3. Fremgangsmåte som angitt i krav 1 eller 2, karakteri-ss r t ved at i tilfellet av at det ledende eller halvledende materiale som danner påtrykningsorganene for høyfrekvensfeltet, utgjør en bestanddel av stoffet som skal avleires, den eller de øvrige bestanddeler leveres av den nevnte gassatmosfære og det nevnte plasma, som utgjøres enten av en reaktiv gass eller av* en blanding av reaktive og/eller inerte gasser.;

4. Fremgangsmåte som angitt i et av kravene 1-3»karakterisert vedat der på det høyfrekvente elektromagnetiske felt overlagres et høyspent elektrisk likefelt mellem gjenstanden som skal belegges,'og som virker som anode eller er nøytral, i hvilket tilfelle omslutningen danner anode og befinner seg på jordpotensial, og påtrykningsorganene for høyfrekvensfeltet, idet disse virker som katode.

5«Innretning til utførelse av en fremgangsmåte som angitt i et av kravene 1-4»karakterisert vedat den omfatter et belegningskammer med kontinuerlig gasstilførsel gjennem en eller flere ledninger og tilsluttet et vakuumpumpesystem (9) som vedlikeholder et hovedsakelig konstant lavt trykk av 10"^" til 10~^ mm Hg i kammeret, og at der i dette er anbragt en eller flere selvinduksjons-vikllnger (5) som er utført av materialet som skal avleires, og innrettet til å påtrykke gassatmosfæren i kammeret et høyspent og høy-frekvent elektromagnetisk felt for å ionisere gassen, samtidig som gasstilførselsledningen eller -ledningene (6) fortrinnsvis er plasert i aksen for selvinduksjonsviklingen eller -viklingene (5) og munner ut ved inngangen til denne, resp disse.

6. Innretning som angitt i krav 5»karakterisertved at matningen med gass skjer gjennem en kanal (6) uttatt i materialet som utgjør viklingens (5) vindinger, og gassen innblåses i det av viklingen omsluttede rom ved hjelp av mikroskopiske hull (17) i vindingene, rettet inn mot dette rom.

7«Innretning som angitt i krav 5»karakterisertved at selvinduksjonsviklingen (5) i tilfellet av at dens smelte-temperatur er lavere enn den temperatur den får under drifts-betingelsene, er dannet av en horisontal plate av ildfast materiale (fig. 3h, 3h<*>), som i overflaten har et spiralformet spor som inne-holder det forlangte viklingsmateriale, samtidig som gassinnløpet stadig skjer sentralt i viklingen.

8. Innretning som angitt i krav 5 eller 6,karakterisert vedat selvinduksjonsviklingen eller -viklingene kjøles ved hjelp av et varmetransporterende fluidum som sirkulerer i dens, resp. deres indre.

9. Innretning som angitt i krav 5 eller 6,karakterisert vedat selvinduksjonsviklingen eller -viklingene i tilfellet av at materialet som skal avgis, har for lavt smeltepunkt, dannes av en leder med høyt smeltepunkt, dekket med materialet som skal avgis.