NO119659B - - Google Patents

Description

Innretning til avleiring av tynne

ledende eller halvledende belegg.

Hovedpatentet nr. 116.568 går ut på en fremgangsmåte

som tjener til avleiring av tynne belegg, av ledende eller halv-

ledende materiale på overflaten av materialer som metall, keramikk eller plast, og som i fOrste rekke er karakterisert ved at over-

flaten som skal belegges, anbringes i en gassatmosfære som til sta-

dighet fornyes og holdes på et hovedsakelig konstant trykk av størrelsesordenen 10"^" til 10"? mm Hg, og at denne gass får påtrykket et elektromagnetisk felt med spenning 1500 - 3000 Volt og frekvens 2-30 MHz ved hjelp av påtrykningsorganer som er anbragt i gass-

atmosfæren og utftirt av materialet som skal avleires, eller en av dets bestanddeler, for å ionisere gassen og i det minste delvis om-

danne den til plasma, hvis partikler under virkningen av den be-vegelse som meddeles dem, rammer de nevnte påtrykningsorganer for det høyfrekvente hoyspenningsfelt.

Hovedpatentet gir også anvisning på forskjellige utførelses-former av en innretning som egner seg for gjennemførelse av denne fremgangsmåte. Felles for disse utførelser er at det høyfrekvente høyspente elektromagnetiske felt i gassatmosfæren frembringes ved induksjon ved hjelp av en eller flere selvinduksjonsviklinger.

Imidlertid lar det seg også gjore med gunstig resultat å frem-bringe det ønskede felt ved kapasitiv virkning mellem dertil egnede elektroder, og den foreliggende oppfinnelse går ut på en innretning til dette formål. Nærmere bestemt er denne innretning i første rekke karakterisert ved at den omfatter et belegningskammer med kontinuerlig tilførsel av edelgass gjennem en eller flere ledninger og tilsluttet et vakuumpumpesystem som vedlikeholder et hovedsakelig kon-

-I - Q

stant lavt trykk av 10 til 10 mm Hg i kammeret, og at der i dette er anbragt to elektroder som består av det materiale som skal avleires, og er innrettet til å påtrykke gassatmosfæren i kammeret et elektromagnetisk felt med høy spenning og høy frekvens for å ionisere gassen, samtidig som gasstilførselsledningene munner ut enten i midten av den ene eller begge elektroder eller fra siden i rommet mellem /dem.

På tilsvarende måte som selvinduksjonsviklingene ved innretningen ifølge hovedpatentet kan også disse kåpasitivt virkende elektroder ha innvendig kjøling med et sirkulerende varmetransporterende fluidum, og i tilfellet av at materialet som skal avgis, har for lavt smeltepunkt, kan elektrodene på tilsvarende måte som selvinduksjonsviklingene ved innretningen ifølge hovedpatentet dannes av en leder med høyt smeltepunkt dekket med materialet som skal avgis.

Fråsett den nye utførelse av de organer som anvendes til på-trykning av hoyf rekvensfeltet^ og den tilsvarende avpassede form for gasstilførsel kan belegningskammerets utformning og innretningens disposisjon forøvrig og likeledes driftsmåter og anvendelser være som belyst i hovedpatentets fremstilling med tegning. De medfølgende tegninger, som tjener til å anskueliggjøre utførelaesformer av innretningen ifølge den foreliggende oppfinnelse, viser derfor ikke andre detaljer enn dem som har sammenheng med de nye trekk.

Således viser fig. 1 to sylindriske elektroder 11 og 12, som

kan være utført av eller dekket med det materiale som skal avgis, og som er anbragt med aksene på linje, og hvorav den ene 12 er utformet med en aksial kanal til innføring av ioniserende gass.

Ved utførelsen ifølge fig. 2 er to plane elektroder' 13 og 14 anbragt parallelt rett overfor hverandre og aksialt på linje, og med gasstilfOrsel sentralt gjennem den ene.

Fig. 3 viser som alternativ til dette en gasstilførsel (ved 6) med særskilt utløp fra siden ved omkretsen av området mellem et par lignende elektroder og midt mellem disse.

På fig. 4 er gasstilførselen vist anordnet på tilsvarende måte som på fig. 3, mens elektrodene 15 og 16 er utført av tråd viklet til planspiral.

Alle disse utformninger i samsvar med oppfinnelsen arbeider, som det vil forstås, vesentlig'med kapasitiv virkning. Det bor be-merkes at bare elektroden med gasstilførsel varmes opp.

Claims (2)

1«~"" Innretning til utførelse av en fremgangsmåte som angitt i patent nr.116.568j karakterisert ved at den omfatter et belegningskammer med kontinuerlig tilførsel av edelgass gjennem en eller flere ledninger og tilsluttet et vakuumpumpesystem som vedlikeholder et hovedsakelig konstant lavt trykk av 10 -1 til 10 J mm Hg i kammeret, og at der i dette er anbragt to elektroder som hestår av det materiale som skal avleires, og er innrettet til å påtrykke gassatmosfæren i kammeret et elektromagnetisk felt med høy spenning og høy frekvens for å ionisere gassen, samtidig som gasstilførselsledningene munner ut i midten av den ene eller begge elektroder eller fra siden i rommet mellem dem.

2. Innretning som angitt i krav 1, karakterisert

ved at elektrodene har innvendig kjøling med et sirkulerende varmetransporterende fluidum.

3» Innretning som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved at elektrodene i tilfellet av at materialet som skal avgis, har for lavt smeltepunkt, dannes av en leder med høyt smeltepunkt dekket med materialet som skal avgis.