NL8220164A

NL8220164A - Magnetisch registreermedium.

Info

Publication number: NL8220164A
Application number: NL8220164A
Authority: NL
Original assignee: Sony Corp
Priority date: 1981-05-22
Filing date: 1982-05-21
Publication date: 1983-04-05
Also published as: US4696862A; JPS6218970B2; GB2113898A; EP0079391A4; EP0079391B1; WO1982004158A1; EP0079391A1; GB2113898B; GB8301832D0; JPS57191830A

Description

8220164

Br/Bl/lh/1503

Magnetisch registreermedium.

GEBIED VAN DE TECHNIEK.

Deze uitvinding heeft betrekking op een magnetisch registreermedium en in het bijzonder op een zogenaamd magnetisch dunne-film-registreermedium met een 5 op een niet-magnetisch substraat gevormde magnetische metaallaag, en in het bijzonder op het verbeteren van de duurzaamheid, zoals hechting aan het niet-magnetische substraat, slijtvastheidseigenschap enz. van de magnetische metaallaag.

10 STAND DER TECHNIEK.

Hoewel het bij dit type magnetisch dunne-film-registreermedium reeds was voorgesteld tussen een niet-magnetisch substraat en een magnetische metaallaag een continue film gevormd uit een metaal, zoals Al, Ti enz. of 15 een organische stof, op te nemen met het doel de hechting van de magnetische metaallaag aan het niet-magnetische siibstraat te verhogen, was dit verre van bevredigend.

BESCHRIJVING VAN DE UITVINDING.

Volgens de uitvinding wordt een metaallaag, 20 waarvan tenminste het oppervlak is geoxideerd,genitreerd of gecarboneerd, op een hoofdoppervlak van een niet-magnetisch substraat gevormd, waarop verder een magnetische metaallaag wordt gevormd. Volgens deze uitvinding kan de duurzaamheid van de magnetische metaallaag van het magnetische registreer-25 medium worden verbeterd (van verscheidene malen tot meer dan 10 malen die volgens de stand der techniek), hetgeen leidt tot een magnetisch registreermedium van grote betrouw-baarheid.

KORTE BESCHRIJVING VAN DE TEKENINGEN.

30 Figs. 1-5 zijn schematische beelden in dwarsdoorsneden, die elk een voorbeeld van een magnetisch registreermedium volgens deze uitvinding in volgorde van het produktieproces ervan tonen.

8220164 0140221C .

-2- BESTE UITVOERINGSVORM VAN DE UITVINDING.

Met verwijzing naar de tekeningen zal onderstaand een magnetisch registreermedium volgens deze uitvinding in bijzonderheden worden beschreven aan de hand 5 van het produktieproces daarvan.

Bij de onderhavige uitvinding wordt eerst, zoals weergegeven in fig. 1, een niet-magnetisch substraat, bijvoorbeeld een polyethyleentereftalaat-substraat 1, bereid en wordt vervolgens een hoofdoppervlak 1A van het 10 substraat 1 aan een activeringsbehandeling onderworpen. Deze activeringsbehandeling wordt uitgevoerd door het niet- magnetische substraat in het plasma van een gasatmosfeer te brengen, dat ontwikkeld wordt door corona-ontlading in een atmosfeer, die zuurstof tot een lage druk bevat, waarbij 15 de evacueringsgraad van de atmosfeer bijvoorbeeld 10 ^ tot 10 Torr is. Als atmosfeer kan bij wijze van voorbeeld een atmosfeer van een gemend gas van 70% Ar met 30% 0 worden "3 ^ gebruikt/ waarbij de druk van het 02~gas 10 Torr is (onderstaand wordt deze atmosfeer aangeduid als atmosfeer a).

20 De gasatmosfeer voor het bereiken van deze activeringsbehandeling is echter niet beperkt tot gas, dat zuurstof bevat, maar elk gas, bijvoorbeeld zelfs argongas alleen maakt deze activeringsbehandeling mogelijk.

Vervolgens wordt, zoals weergegeven in 25 fig. 2, volgens een methode, zoals afzetting in vacuo, kathodeverstuiving en dergelijke, op het geactiveerde hoofdoppervlak 1A van het substraat 1 een discontinue film ge-vormd, namelijk eilandvormige gedeelten 2 bestaande uit een metaal of cobalt Co, dat bij het voorbeeld van deze uitvin-30 ding wordt toegepast. De eilandvormige gedeelten 2 bezitten een gemiddelde filmdikte van ongeveer 10-1000 8 of ongeveer 300 8 die bij het voorbeeld van deze uitvinding wordt toegepast. Als het metaal, dat voor het eilandvormige gedeelte 2 wordt gebruikt kan in plaats van Co Al, Ti enz. worden 35 gebruikt. Niettemin verdient Co in het bijzonder de voor- keur op grond van het feit, dat, daar Co dezelfde component , is als die van de magnetische metaallaag, die later zal | worden gevormd, slechts een opdampbron voldoende is, hetgeen 8220164 CM4C221.C .- -3- leidt tot een verbetering van de produktiviteit. Als wijze van opdamping in vacuo maakt, hoewel hetzij vertikale hetzij schuine opdampingen kunnen worden toegepast, het schuine opdampen het eerder mogelijk de discontinue eilandvormige 5 gedeelten vrij gemakkelijk te vormen.

Vervolgens wordt, zoals weergegeven in fig. 3, een oxiderende atmosfeer (gas dat meer dan 20% C^-gas bevat (het resterende gas is inert gas)), nitrerende atmosfeer (gas, dat ^ bevat) of carbonerende atmosfeer 10 (acetyleengas, etheengas enz.) gevormd en wordt op deze gasatmosfeer een gelijkspanning aangelegd om een plasma van de gasatmosfeer te ontwikkelen. Door het fodliesubstraat, waarop de metaallaag in de vorm van eilandjes was gevormd, aan dit plasma bloot te stellen wordt het oppervlak van 15 deze eilandvormige gedeelten 2 of het totale inwendige daarvan omgezet in een oxide, nitride of carbide 3. Voor de plasmatoestand wordt een gasatmosfeer met een gasdruk -1 -4 wisselend van 10 tot 10 Torr verschaft en v/ordt de aan te leggen spanning gekozen binnen het traject van 20 verscheidene honderden volt tot verscheidene duizenden volt. Bij het voorbeeld van deze uitvinding wordt het oppervlak van de eilandvormige gedeelten behandeld in het plasma, dat ontwikkeld wordt in de bovenvermelde atmosfeer a, die zuurstof bevatte, voor de vorming van het oxide 3 van 25 cobalt op het oppervlak van de eilandvormige gedeelten 2, die uit cobalt zijn gevormd.

Bij het proces van fig. 2 kan eveneens onder de oxiderende atmosfeer, nitrerende atmosfeer of de carbonerende atmosfeer het oxide, nitride of carbide 30 van het metaal als de eilandvormige gedeelten 2 worden gevormd volgens een reaktief ionenafzettingsproces of geactiveerd reaktief opdampproces.

Vervolgens wordt, zoals weergegeven in fig. 4, op het hoofdoppervlak 1A van het substraat 1, met 35 inbegrip van de eilandvormige gedeelten 2 een magnetische metaallaag 4 gevormd door afzetting in vacuo, kathode-verstuiving of soortg<£lijke werkwijze. Als magnetische metaallaag 4 kan cobalt, cobalt-nikkel of cobalt-nikkel, dat 8220164

014022U.C

‘ t -4- een kleine hoeveelheid ijzer bevat, en dergelijke worden gebruikt. De magnetische metaallaag 4 bezit een filmdikte in de orde van 700 8 tot 2000 8 of ongeveer 1500 8 volgens . het voorbeeld van deze uitvinding en wordt door schuine 5 opdamping gevormd.

Zoals weergegeven in fig. 5 wordt het buitenoppervlak van de magnetische metaallaag 4 aan een plasmabehandeling onderworpen voor de vorming van een laag 5 bestaande uit oxide, nitride, carbide enz. Bij het voor-10 beeId van deze uitvinding wordt het oppervlak van de magnetische metaallaag behandeld met het plasma, dat in de boven-genoemde zuurstofbevattende atmosfeer a wordt gevormd, onder vorming van de oxidelaag 5 op het oppervlak van de magnetische metaallaag 4.

15 Zo kan dus een gewenst magnetisch regi- streermedium 6 worden vervaardigd.

Volgens een dergelijk magnetisch registreer-medium wordt op edn hoofdoppervlak 1A van het niet-magne-tische substraat 1 het discontinue eilandvormige gedeelte 2 20 gevormd, waarvan tenminste het oppervlak wordt geoxideerd, genitreerd of gecarboneerd, door tussenkomst waarvan de magnetische metaallaag 4 op het substraat 1 wordt gevormd, zodat de magnetische metaallaag 4 sterk aan het substraat 1 kan worden gehecht. Aangenomen kan worden, dat de hechting 25 van het oxide, het nitride of het carbide 3, dat gevormd werd door de plasmabehandeling van het eilandvormige gedeelte 2 op het substraat 1, zo sterk is, dat de hechting van de hierop gevormde magnetische metaallaag 4 op het substraat 1 aan het grensvlak ervan wordt verbeterd. Door op continue 30 wijze de laag 5 bestaande uit het oxide, nitride of carbide aan het buitenoppervlak van de magnetische metaallaag 4 door plasmabehandeling te vormen wordt een verbeterde slijtvast-heidseigenschap van de magnetische metaallaag 4 mogelijk gemaakt.

35 Wanneer de magnetische metaallaag 4 door schuine opdamping wordt gevormd, kan teneinde een invals-hoek Θ, waaronder een dampstroom (stroom van verdampte ; deeltjes) toegevoerd wordt aan het substraat (in dit geval 8220164 in40?2'iX.

* * -5- verkeert het substraat in bandvorm) 1, in het elk gedeelte van het opdamptraject konstant te kunnen houden, het ver-dampen worden uitgevoerd, terwijl het substraat 1 langs * een tevoren bepaalde baan wordt bewogen. De op deze wijze 5 gevormde konstante invalshoek Θ maakt een hoge coercitief-kracht He en vierkantsverhouding, waarvan de instelling tevoren werd bepaald, en eveneens een verbetering van het opdamprendement mogelijk.

8220164

OU02XC

Claims

11 *· -6-

1. Magnetisch registreermedium bestaande uit een niet-magnetisch substraat, een op een hoofdoppervlak van het niet-magnetische substraat gevormde metaallaag, waarvan tenminste het oppervlak is geoxideerd, genitreerd 5 of gecarboneerd, en een op deze metaallaag gevormde magne-tische metaallaag.

2. Magnetisch registreermedium bestaande uit een niet-magnetisch substraat, een op een hoofdopper-vldk van het niet-magnetische substraat gevormde discontinue 10 laag in de vorm van eilandjes, waarvan tenminste het oppervlak is geoxideerd, genitreerd of gecarboneerd, en een zodanig gevormde magnetische metaallaag dat de discontinue laag en het niet-magnetische substraat worden bedekt.

3. Magnetisch registreermedium volgens 15 conclusie 2, waarin het metaal voor het vormen van de discontinue laag cobalt is.

4. Magnetisch registreermedium volgens conclusie 3, waarbij het oppervlak van de discontinue laag bestaat uit cobaltoxide.

5. Magnetisch registreermedium volgens conclusie 2, waarbij de magnetische metaallaag bestaat uit cobalt of een legering, waarvan de hoofdcomponent cobalt is.

6. Magnetisch registreermedium volgens conclusie 2, waarbij de magnetische metaallaag een aan het 25 oppervlak ervan gevormde laag bezit, die bestaat uit oxide, nitride of carbide van het metaal, waaruit de magnetische metaallaag is gevormd.

7. Magnetisch registreermedium volgens conclusie 2, waarbij de discontinue laag een gemiddelde 30 filmdikte van 10-1000 & bezit. 8220164 0HC7<·: C -