NL7708652A - Werkwijze voor het justeren van een schijfvormig substraat ten opzichte van een fotomasker, in een inrichting voor het belichten met roentgen- stralen. - Google Patents

Werkwijze voor het justeren van een schijfvormig substraat ten opzichte van een fotomasker, in een inrichting voor het belichten met roentgen- stralen.

Info

Publication number
NL7708652A
NL7708652A NL7708652A NL7708652A NL7708652A NL 7708652 A NL7708652 A NL 7708652A NL 7708652 A NL7708652 A NL 7708652A NL 7708652 A NL7708652 A NL 7708652A NL 7708652 A NL7708652 A NL 7708652A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
rony
illuminating
approaching
rays
regard
Prior art date
Application number
NL7708652A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of NL7708652A publication Critical patent/NL7708652A/xx

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
NL7708652A 1976-08-05 1977-08-04 Werkwijze voor het justeren van een schijfvormig substraat ten opzichte van een fotomasker, in een inrichting voor het belichten met roentgen- stralen. NL7708652A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19762635275 DE2635275C2 (de) 1976-08-05 1976-08-05 Verfahren zur Justierung eines scheibenförmigen Substrates relativ zu einer Fotomaske in einem Röntgenstrahlbelichtungsgerät

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7708652A true NL7708652A (nl) 1978-02-07

Family

ID=5984815

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7708652A NL7708652A (nl) 1976-08-05 1977-08-04 Werkwijze voor het justeren van een schijfvormig substraat ten opzichte van een fotomasker, in een inrichting voor het belichten met roentgen- stralen.

Country Status (7)

Country Link
JP (1) JPS5318970A (de)
BE (1) BE857539A (de)
DE (1) DE2635275C2 (de)
FR (1) FR2360916A1 (de)
GB (1) GB1589286A (de)
IT (1) IT1081184B (de)
NL (1) NL7708652A (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5655041A (en) * 1979-10-11 1981-05-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Positioning exposure

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1804923A1 (de) * 1967-10-27 1969-07-31 Hilger & Watts Ltd Verfahren und Vorrichtung zur Reproduktion eines Musters von einem ebenen Koerper auf einen zweiten ebenen Koerper
US3745358A (en) * 1971-05-10 1973-07-10 Radiant Energy Systems Alignment method and apparatus for electron projection systems
US3743842A (en) * 1972-01-14 1973-07-03 Massachusetts Inst Technology Soft x-ray lithographic apparatus and process
US3742229A (en) * 1972-06-29 1973-06-26 Massachusetts Inst Technology Soft x-ray mask alignment system
DE2460914C2 (de) * 1974-12-21 1983-08-18 Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart Photolithographische Projektionsvorrichtung
US4085329A (en) * 1976-05-03 1978-04-18 Hughes Aircraft Company Hard X-ray and fluorescent X-ray detection of alignment marks for precision mask alignment

Also Published As

Publication number Publication date
IT1081184B (it) 1985-05-16
DE2635275C2 (de) 1984-09-06
DE2635275A1 (de) 1978-02-09
JPS5318970A (en) 1978-02-21
FR2360916A1 (fr) 1978-03-03
GB1589286A (en) 1981-05-07
FR2360916B1 (de) 1982-05-21
BE857539A (fr) 1977-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7801701A (nl) Werkwijze voor het vormen van een gedeeltelijk reflecterende tinoxydelaag op een drager.
NL7609815A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd met behulp van de werkwijze.
NL7514287A (nl) Inrichting voor het positioneren van een loper.
NL176818B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting.
NL7612913A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een schijf met integrale schoepen.
NL183746C (nl) Optische inrichting met dubbele heterostructuur en toestel voor het vervaardigen van een dergelijke inrichting.
NL183869C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een semipermeabel membraan.
NL186048C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting met twee passiveringslagen.
NL7707122A (nl) Pedaalmechanisme in het bijzonder voor een fiets.
NL7605535A (nl) Werkwijze voor het polymeriseren van alkenen.
NL7714399A (nl) Halfgeleiderinrichting met passiveringslaag.
NL188668C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderinrichting.
NL7609607A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd met behulp van de werkwijze.
NL7506879A (nl) Fotografische werkwijze, informatiedrager verkre- gen met de werkwijze en inrichting voor het uit- voeren van de werkwijze.
NL188124C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting van het ladinggekoppelde type.
NL7607298A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een inrichting en inrichting vervaardigd volgens de werkwijze.
NL7505134A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting.
NL7507791A (nl) Inrichting voor het afvoeren van een drijflaag in een afscheidingsinrichting.
NL7709846A (nl) Fotoflitslamp, alsmede werkwijze voor het ver- vaardigen hiervan.
NL7800640A (nl) Transporteur, in het bijzonder voor een narijs- kast.
NL180486C (nl) Inrichting voor het dragen van een verloren wasmodel.
NL180124C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een zonnecollector.
NL7703826A (nl) Inrichting voor het vervaardigen van een samengestelde houder.
NL184732C (nl) Werkwijze voor het wijzigen van een glasoppervlak.
NL7703229A (nl) Transportinrichting in het bijzonder voor stortgoed.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed