BE857539A - Procede pour ajuster un substrat en forme de disque par rapport a un masque photosensible dans un appareil d'exposition au rayonnement x - Google Patents
Procede pour ajuster un substrat en forme de disque par rapport a un masque photosensible dans un appareil d'exposition au rayonnement xInfo
- Publication number
- BE857539A BE857539A BE179952A BE179952A BE857539A BE 857539 A BE857539 A BE 857539A BE 179952 A BE179952 A BE 179952A BE 179952 A BE179952 A BE 179952A BE 857539 A BE857539 A BE 857539A
- Authority
- BE
- Belgium
- Prior art keywords
- disc
- adjusting
- exposure apparatus
- shaped substrate
- ray exposure
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762635275 DE2635275C2 (de) | 1976-08-05 | 1976-08-05 | Verfahren zur Justierung eines scheibenförmigen Substrates relativ zu einer Fotomaske in einem Röntgenstrahlbelichtungsgerät |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
BE857539A true BE857539A (fr) | 1977-12-01 |
Family
ID=5984815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
BE179952A BE857539A (fr) | 1976-08-05 | 1977-08-05 | Procede pour ajuster un substrat en forme de disque par rapport a un masque photosensible dans un appareil d'exposition au rayonnement x |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5318970A (xx) |
BE (1) | BE857539A (xx) |
DE (1) | DE2635275C2 (xx) |
FR (1) | FR2360916A1 (xx) |
GB (1) | GB1589286A (xx) |
IT (1) | IT1081184B (xx) |
NL (1) | NL7708652A (xx) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5655041A (en) * | 1979-10-11 | 1981-05-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Positioning exposure |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1804923A1 (de) * | 1967-10-27 | 1969-07-31 | Hilger & Watts Ltd | Verfahren und Vorrichtung zur Reproduktion eines Musters von einem ebenen Koerper auf einen zweiten ebenen Koerper |
US3745358A (en) * | 1971-05-10 | 1973-07-10 | Radiant Energy Systems | Alignment method and apparatus for electron projection systems |
US3743842A (en) * | 1972-01-14 | 1973-07-03 | Massachusetts Inst Technology | Soft x-ray lithographic apparatus and process |
US3742229A (en) * | 1972-06-29 | 1973-06-26 | Massachusetts Inst Technology | Soft x-ray mask alignment system |
DE2460914C2 (de) * | 1974-12-21 | 1983-08-18 | Ibm Deutschland Gmbh, 7000 Stuttgart | Photolithographische Projektionsvorrichtung |
US4085329A (en) * | 1976-05-03 | 1978-04-18 | Hughes Aircraft Company | Hard X-ray and fluorescent X-ray detection of alignment marks for precision mask alignment |
-
1976
- 1976-08-05 DE DE19762635275 patent/DE2635275C2/de not_active Expired
-
1977
- 1977-07-27 IT IT2616277A patent/IT1081184B/it active
- 1977-08-02 FR FR7723760A patent/FR2360916A1/fr active Granted
- 1977-08-03 JP JP9330377A patent/JPS5318970A/ja active Pending
- 1977-08-04 NL NL7708652A patent/NL7708652A/xx not_active Application Discontinuation
- 1977-08-04 GB GB3267977A patent/GB1589286A/en not_active Expired
- 1977-08-05 BE BE179952A patent/BE857539A/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2635275C2 (de) | 1984-09-06 |
DE2635275A1 (de) | 1978-02-09 |
NL7708652A (nl) | 1978-02-07 |
FR2360916B1 (xx) | 1982-05-21 |
GB1589286A (en) | 1981-05-07 |
FR2360916A1 (fr) | 1978-03-03 |
JPS5318970A (en) | 1978-02-21 |
IT1081184B (it) | 1985-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
BE828479A (fr) | Procede et appareil pour etablir une plaque d'impression a partir d'un substrat poreux | |
FR2504696B1 (fr) | Procede et dispositif pour l'exposition a la lumiere de substances photosensibles, appelees photoresists | |
FR2325988A1 (fr) | Procede et dispositif pour le traitement d'information pour la fabrication d'une forme d'impression | |
ITRM910113A0 (it) | Dispositivo per il riscaldamento dell'immagine impiegando una pellicolaa azionata da un elemento ruotabile | |
BE855977A (fr) | Procede et appareil de montage de dispositifs sur un substrat | |
DK74278A (da) | Vandfremkaldelig litografisk trykplade med dobbelt lysfoelsom belaegning | |
BE871760A (fr) | Procede de fabrication de circuits resistifs a pellicule epaisse | |
FR2300678A1 (fr) | Dispositif d'impression pour imprimantes rapides | |
FR2398330B1 (fr) | Procede de fabrication par voie photographique d'un stencil pour serigraphie | |
BE858942A (fr) | Procede d'impression a demi-tons et film d'impression pour sa mise en oeuvre | |
FR2317669A1 (fr) | Procede pour relier des guides d'ondes lumineuses individuels | |
BE843981A (fr) | Procede pour relier des guides d'ondes lumineuses individuels | |
BE857539A (fr) | Procede pour ajuster un substrat en forme de disque par rapport a un masque photosensible dans un appareil d'exposition au rayonnement x | |
FR2354009A1 (fr) | Procede et appareil pour produire des images sur une surface sensibilisee | |
FR2319145A1 (fr) | Procede d'impression photogra | |
FR2436679B1 (fr) | Dispositif de positionnement de plaques d'impression lithographique | |
BE866917A (fr) | Procede pour la fabrication d'une plaque pour impression planographique | |
FR2295452A2 (fr) | Procede et dispositif de projection d'images sur une plaquette semiconductrice | |
ATA267887A (de) | Vorrichtung zum exponieren eines halbleitersubstrates gegen ein strahlungsmuster | |
FR2347706A1 (fr) | Nouveau procede photographique d'impression en couleurs sur divers substrats | |
FR2341630A1 (fr) | Procede de revetement d'un substrat par coagulation | |
BE842316A (fr) | Procede pour masquer des signaux de parole a l'aide de matrices orthogonales | |
BE836004A (fr) | Procede permettant d'imprimer des signes sur un support | |
FR2311332A1 (fr) | Dispositif de montage d'un appareil de photographie d'imprimes | |
FR2338509A1 (fr) | Procede et appareillage pour le positionnement a plans paralleles d'une plaque de semi-conducteur pour un cliche photographique |