NL2007777C2 - Component-plaatsingsinrichting voorzien van een machineframe en ten minste twee component-opneemeenheden, alsmede werkwijze voor het aandrijven van een dergelijke component-plaatsingsinrichting. - Google Patents

Description

5

Component-plaatsingsinrichting voorzien van een machineframe en ten minste twee component-opneemeenheden , alsmede werkwijze voor het aandrijven van een dergelij ke component-plaatsingsinrichting

De uitvinding heeft betrekking op een component-plaatsingsinrichting voorzien van een machineframe en ten minste twee component-opneemeenheden die verplaatsbaar zijn ten opzichte van ten minste een door een machineframe ondersteund sub-frame, waarbij elke component-opneemeenheid ten minste 10 verplaatsbaar is in een verplaatsingsrichting.

Een dergelijke component-plaatsingsinrichting is ondermeer uit de Europese octrooiaanvrage EP1937050A1 van aanvraagster bekend.

Bij deze bekende component-plaatsingsinrichting wordt door het machineframe een aantal sub-frames ondersteund. Elk sub-frame is voorzien van een 15 geleiding, waarover een component-opneemeenheid in een zich evenwijdig aan de geleiding uitstrekkende verplaatsingsrichting verplaatsbaar is. Elke component-opneemeenheid is verder ten opzichte van het sub-frame verplaatsbaar in een zich dwars op de verplaatsingsrichting uitstrekkende richting. De geleidingen strekken zich evenwijdig aan elkaar uit. Onder de component-opneemeenheden is een 20 zich dwars op de verplaatsingsrichting uitstrekkende transportinrichting gelegen voor het transporteren van substraten. Elke sub-frame is ten minste voorzien van een motor voor het verplaatsen van de component-opneemeenheid in de verplaatsingsrichting. Met behulp van component-opneemeenheid worden componenten vanaf component-opneemposities opgenomen, waarna de component-25 opneemeenheid tot boven een gewenste positie op het substraat wordt verplaatst om vervolgens de component op de gewenste positie op het substraat te plaatsen.

Het plaatsen van dergelijke componenten dient zo snel en zo nauwkeurig mogelijk plaats te vinden.

Om een dergelijke hoge snelheid snel te bereiken, wordt de component-30 opneemeenheid vanaf de opneempositie met een relatief hoge versnelling verplaatst. Op eenzelfde wijze dient de component-opneemeenheid nabij de gewenste positie op het substraat snel te worden vertraagd oftewel met een relatief hoge negatieve versnelling te worden verplaatst. Ook bij het terug verplaatsen naar de opneempositie treden dergelijke hoge versnellingen op. Door deze versnellingen worden relatief grote 35 reactiekrachten door de component-opneemeenheid op het sub-frame uitgeoefend. Deze reactiekrachten veroorzaken ondermeer trillingen in en vervormingen van het machineframe en andere door het machineframe ondersteunde sub-frame en 2 beïnvloeden aldus de nauwkeurigheid waarmee een andere component-opneemeenheid naar een gewenste positie kan worden verplaatst. Dit effect wordt dynamische overspraak (cross-talk) genoemd, waarmee de invloed van het dynamisch gedrag van de ene component-opneemeenheid op de positioneringsnauwkeurigheid 5 van een andere component-opneemeenheid wordt bedoeld.

Om de invloed van dergelijke reactiekrachten te verminderen, is het mogelijk om de component-opneemeenheid met minder grote versnellingen te verplaatsen. Dit gaat echter ten koste van het aantal componenten dat per tijdseenheid kan worden geplaatst.

10 Een andere mogelijldaeid is het machineframe veel zwaarder en stijver uit te voeren, waardoor de reactiekrachten beter kunnen worden opgevangen. Dit maakt de component-plaatsingsinrichting echter relatief duur om te vervaardigen en in het gebruik.

De uitvinding beoogt een component-plaatsingsinrichting en werkwijze voor 15 het aansturen van een dergelijke component-plaatsingsinrichting te verschaffen, waarbij door de ene component-opneemeenheid uitgeoefende reactiekrachten nagenoeg geen invloed hebben op de positioneringsnauwkeurigheid van een andere component-opneemeenheid.

Dit doel wordt bij de component-plaatsingsinrichting volgens de uitvinding 20 bereikt doordat voor het ten minste gedeeltelijk tegenwerken van de door ten minste een component- opneemeenheid tijdens verplaatsing in de verplaatsingsrichting van de component-opneemeenheid ten opzichte van het sub-frame, op het sub-frame uitgeoefende reactiekracht, de component-plaatsingsinrichting is voorzien van middelen voor het bepalen van de grootte van een op het sub-frame in hoofdzaak in 25 de verplaatsingsrichting uit te oefenen tegenkracht, alsmede van ten minste een aandrijving voor het op het sub-frame in hoofdzaak in de verplaatsingsrichting uitoefenen van de met behulp van de middelen bepaalde tegenkracht.

Door het actief en doelgericht uitoefenen van een tegenkracht in de verplaatsingsrichting, die qua richting tegengesteld is aan de reactiekracht en qua 30 grootte bij voorkeur even groot is als de reactiekracht, wordt de op het sub-frame uitgeoefende reactiekracht ten minste gedeeltelijk en bij voorkeur nagenoeg volledig weerstaan, waardoor het optreden van trillingen en vervormingen van ondermeer het machineframe en de doorgeleiding daarvan naar andere sub-frames ten minste gedeeltelijk en bij voorkeur nagenoeg volledig nabij de oorsprong van de bron, zijnde 35 het sub-frame, worden voorkomen. De dynamische overspraak wordt hierdoor aanzienlijk verminderd of nagenoeg volledig voorkomen. De grootte van de uit te oefenen tegenkracht wordt oftewel door berekeningen oftewel door metingen bepaald.

3

Een uitvoeringsvorm van de component-plaatsingsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat het sub-frame is voorzien van een eerste deel van de aandrijving, terwijl een met het eerste deel van de aandrijving samenwerkend tweede deel van de aandrijving op een van het machineframe vrijstaand hulpframe is 5 gelegen.

Onder een vrij staand hulpframe wordt elke ondersteuning voor een aandrijving verstaan, die in staat is om van het machineframe en de door het machineframe ondersteunde sub-frames afkomstige krachten te onderdrukken of op te heffen, waardoor er minder of geen trillingen ontstaan.

10 Een dergelijk hulpframe kan worden gevormd door een wand van het gebouw waar de component-plaatsingsinrichting zich in bevindt. Een dergelijk hulpframe kan echter ook een bijvoorbeeld metalen constructie zijn dat nabij het machineframe is geplaatst. Hierdoor ondervindt het door het hulpframe ondersteunde tweede deel van de aandrijving geen effect van de door de component-opneemeenheid tijdens 15 verplaatsing van de component-opneemeenheid in de verplaatsingsrichting op het bijbehorende sub-frame uitgeoefende reactiekracht en kan de door het tweede deel op het eerste deel uitgeoefende kracht volledig worden benut voor het tegenwerken van de reactiekracht.

Een andere uitvoeringsvorm van de component-plaatsingsinrichting volgens de 20 uitvinding wordt gekenmerkt doordat het eerste deel ten minste een permanent magneet omvat terwijl het tweede deel ten minste een elektrisch bekrachtigbare spoel omvat of vice versa.

Met behulp van een permanent magneet en een daarmee samenwerkende elektrisch bekrachtigbare spoel kunnen eenvoudig tegenkrachten van verschillende 25 en in de tijd variërende groottes worden opgewekt.

Een weer andere uitvoeringsvorm van de component-plaatsingsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de component-plaatsingsinrichting is voorzien van een aanstuureenheid voor het afgeven van een aanstuursignaal voor het aansturen van de verplaatsing van de component-opneemeenheid in de 30 verplaatsingsrichting, waarbij de aandrijving is voorzien van middelen voor het bepalen van de grootte van de door de aandrijving uit te oefenen tegenkracht afhankelijk van het aanstuursignaal.

Een dergelijk aanstuursignaal omvat gebruikelijk informatie over het gewenst verplaatsingspatroon in de tijd, bijvoorbeeld de verplaatsing gedurende de tijd die 3 5 nodig is om de component-plaatsingseenheid van een component-opneempositie naar de gewenste positie boven het substraat te verplaatsen. Het verplaatsingspatroon omvat bijvoorbeeld drie fases, een eerste versnellingsfase, een tweede fase met een 4 constante hoge snelheid en een derde remfase met een negatieve versnelling. Gedurende de eerste en derde fases wordt door de aandrijving een kracht opgewekt die afhankelijk is van de optredende versnellingen (vertragingen) en de verplaatsende massa.

5 Een nog andere uitvoeringsvorm van de component-plaatsingsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de component-plaatsingsinrichting is voorzien van een krachtsensor voor het bepalen van de door de verplaatsende component-opneemeenheid op het sub-frame uitgeoefende reactiekracht, waarbij de aandrijving is voorzien van middelen voor het bepalen van de grootte van de door de 10 aandrijving uit te oefenen tegenkracht afhankelijk van de door de krachtsensor gemeten, op het betreffende sub-frame uitgeoefende reactiekracht.

Op deze wijze wordt de optredende reactiekracht direct gemeten en is hieruit direct de door de aandrijving uit te oefenen tegenkracht bekend.

Het doel van de uitvinding wordt bij de werkwijze volgens de uitvinding 15 bereikt doordat bij de werkwijze voor het aandrijven van een component-plaatsingsinrichting die is voorzien van een machineframe en ten minste twee component-opneemeenheden die verplaatsbaar zijn ten opzichte van ten minste een door een machineframe ondersteund sub-frame, waarbij elke component-opneemeenheid ten minste verplaatsbaar is in een verplaatsingsrichting, 20 ten minste een component-opneemeenheid in de verplaatsingsrichting ten opzichte van het sub-frame wordt verplaatst, waarbij door de component- opneemeenheid op het sub-frame een reactiekracht wordt uitgeoefend, dat met behulp van middelen een op het sub- frame in hoofdzaak in de verplaatsingsrichting uit te oefenen tegenkracht wordt bepaald voor het ten minste gedeeltelijk tegenwerken van reactiekracht , waarna 25 met behulp van ten minste een aandrijving op het sub-frame in hoofdzaak in de verplaatsingsrichting de met behulp van de middelen bepaalde tegenkracht wordt uitgeoefend

Elke keer dat de component-opneemeenheid ten opzichte van het sub-frame wordt verplaatst en hierbij een reactiekracht op het-sub-frame uitoefent, zal door de 30 aandrijving een tegenkracht op het sub-frame worden uitgeoefend.

Een andere uitvoeringsvorm van de werkwijze volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de grootte van de uit te oefenen tegenkracht ten minste wordt bepaald aan de hand van een aanstuursignaal voor het aansturen van de verplaatsing van de component-opneemeenheid in de verplaatsingsrichting.

35 Uit het aanstuursignaal zijn de optredende versnellingen (vertragingen) te bepalen en in combinatie met de bekende gewicht van de verplaatsende onderdelen kunnen hieruit de krachten die zullen gaan optreden en derhalve de gewenste 5 tegenkrachten worden bepaald.

Een weer andere uitvoeringsvorm van de werkwij ze volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat met behulp van een krachtsensor de door de verplaatsende component-opneemeenheid op het sub-frame uitgeoefende reactiekracht wordt 5 gemeten, waarna ten minste afhankelijk van de door de krachtsensor gemeten, op het sub-frame uitgeoefende reactiekracht, de grootte van de uit te oefenen tegenkracht wordt bepaald.

Met behulp van de krachtsensor wordt direct de optredende reactiekracht en derhalve de gewenste tegenkracht bepaald.

10 De uitvinding zal nader worden toegelicht aan de hand van de tekening, waarin, figuur 1 een schematisch zijaanzicht van een component-plaatsingsinrichting volgens de stand der techniek toont, figuur 2 een schematisch zijaanzicht van een component-plaatsingsinrichting 15 volgens de uitvinding toont, figuren 3A en 3B respectievelijk een bovenaanzicht en een aanzicht in de door pijlen IIIB-IIIB aangegeven richting van een aandrijving van de in figuur 2 weergegeven component-plaatsingsinrichting tonen, figuur 4 een perspectivisch vooraanzicht van een uitvoeringsvorm van een 20 component-plaatsingsinrichting volgens de uitvinding toont, figuur 5 een perspectivisch, gedeeltelijk opengewerkt vooraanzicht van de in figuur 3 weergegeven component-plaatsingsinrichting toont, figuur 6 een perspectivisch, gedeeltelijk opengewerkt achteraanzicht van de in figuur 3 weergegeven component-plaatsingsinrichting toont, 25 figuur 7 een gedeeltelijk opengewerkt zijaanzicht van de in figuur 3 weergegeven component-plaatsingsinrichting toont, figuur 8 een gedeeltelijk opengewerkt zijaanzicht van de in figuur 3 weergegeven component-plaatsingsinrichting toont, waarbij het sub-frame ten opzichte van het machineframe omhoog is gekanteld, 30 figuur 9 een dwarsdoorsnede in de door pijlen VIII-VIII in figuur 6 aangegeven richting van de aandrijving van de component-plaatsingsinrichting volgens de uitvinding toont.

In de figuren zijn overeenkomende onderdelen voorzien van eenzelfde verwij zingscij fer.

35 Figuur 1 toont een schematisch zijaanzicht van een component- plaatsingsinrichting 1 volgens de stand der techniek, die is voorzien van een machineframe 2, een door het machineframe 2 ondersteund sub-frame 3 en ten 6 opzichte van het sub-frame 3 verplaatsbare component-opneemeenheid 4. De component-opneemeenheid 4 is ten minste verplaatsbaar in en tegengesteld aan een door pijl Pi aangegeven uitstrekkende verplaatsingsrichting. Het machineframe 2 omvat een ondersteuningsdeel 5 en aan weerszijden van het ondersteuningsdeel 5 5 gelegen opstaande delen 6. Het ondersteuningsdeel 5 rust met ondersteuningspoten 7 op een ondergrond 8. Tussen de opstaande delen 6 is op het ondersteuningsdeel 5 een transportinrichting (niet weergegeven) gelegen voor het transporteren van substraten 9 in een zich dwars op het vlak van de tekening uitstrekkende richting. De component-opneemeenheid 4 is op gebruikelijke wijze, zoals bijvoorbeeld bekend uit 10 EP1937050A1, verplaatsbaar van een component-opneempositie (niet weergegeven) naar een boven het substraat 9 gelegen gewenste positie voor het opnemen, verplaatsen en vervolgens positioneren van de opgenomen component op het substraat 9. De verplaatsing van de component-opneemeenheid 4 ten opzichte van het sub-frame 3 geschiedt met behulp van een motor die door een aanstuureenheid 15 wordt aangestuurd voor het met de gewenste versnellingen en snelheden verplaatsen van de component-opneemeenheid 4. Tijdens het versnellen van de component-opneemeenheid 4 in de door pijl Pi aangegeven richting, wordt er door de motor een kracht Fi in de door pijl Pi aangegeven richting op de component-opneemeenheid 4 uitgeoefend. Dit resulteert in een reactiekracht F2 van de component-opneemeenheid 20 4 op het sub-frame 3, welke reactiekracht F2 qua grootte gelijk is aan de kracht Ft maar qua richting daar tegengesteld aan is. Deze reactiekracht F2 wordt via het sub-frame 3 uitgeoefend op het opstaande deel 6, dat hierdoor elastisch zal buigen in de door pijl P2 aangegeven richting. De gebogen vorm is met stippellijnen weergegeven. De mate van buiging is voor de duidelijkheid vergroot weergegeven. De vervorming 25 van deel 6, leidt tot verschuiving van het sub-frame 3 in een aan pijl Pi tegengestelde richting. Door de variërende reactiekrachten F2 zullen trillingen ontstaan. Zodra de reactiekracht F2 afneemt, zal het deel 6 terugbuigen. Omdat de reactiekracht F2 afneemt tot nul als de component-opneemeenheid 4 tot stilstand wordt gebracht voor het opnemen of plaatsen van een component, zullen de trillingen uitdempen en 30 beïnvloedt de door reactiekracht F2 veroorzaakte trillingen en verplaatsingen in het machine-frame, de nauwkeurigheid tijdens het plaatsen van de component met de stilstaande de component-opneemeenheid 4 nagenoeg niet.

Indien echter op het machineframe 2 naast het eerste sub-frame 3 een tweede sub-frame 3 is gelegen, welk tweede sub-frame 3 eveneens is voorzien van een ten 35 opzichte van het tweede sub-frame 3 verplaatsbare tweede component-opneemeenheid 4, dan zal tijdens het nauwkeurig willen plaatsen van een component met die tweede component-opneemeenheid 4, hinder worden ondervonden van door 7 de reactiekracht F2 op het eerste sub-frame 3 veroorzaakte vervormingen en trillingen in het machineframe 2 aangezien deze via de met stippellijnen aangegeven lus 10, de onderlinge posities van de in de lus 10 gelegen onderdelen beïnvloeden. Hierdoor is nauwkeurig plaatsen van een component met de component-opneemeenheid 4 van 5 het tweede sub-frame met een nauwkeurigheid van minder dan 15 micron of minder niet mogelijk. Uiteraard geldt ook dat tijdens verplaatsing van de component-opneemeenheid 4 over het tweede sub-frame, de daarbij optredende reactiekrachten een negatief effect hebben op de plaatsingsnauwkeurigheid van de component-opneemeenheid 4 van het eerste sub-frame.

10 Figuur 2 toont een schematisch zijaanzicht van een component- plaatsingsinrichting 21 volgens de uitvinding die zich onderscheidt van de in figuur 1 weergegeven component-plaatsingsinrichting 1 doordat het naast een machineframe 2, een sub-frame 3, component-opneemeenheid 4, een ondersteuningsdeel 5 en delen 6 is voorzien van een hulpframe 22. Het hulpframe 22 omvat onder het 15 ondersteuningsdeel 5 gelegen profielen 23 die steunen op de ondersteuningspoten 7 van het machineframe 2. Het hulpframe 22 omvat verder zich evenwijdig aan de delen 6 uitstrekkende staanders 24 en een zich tussen uiteinden van de staanders 24 gelegen ligger 25. Doordat de verbinding tussen het machineframe 2 en het hulpframe 22 op relatief grote afstand van de lus 10 is gelegen, worden krachten nabij de component-20 opneemeenheid 4 niet waarneembaar doorgegeven naar het hulpframe 22 en vice versa. Het hulpframe 22 is bijvoorbeeld van metaal vervaardigd.

De component-plaatsingsinrichting 21 is verder voorzien van een aandrijving 26 die in de figuren 3A en 3B vergroot zijn weergegeven. De aandrijving 26 omvat een met het uiteinde 27 van het sub-frame 3 verbonden eerste deel dat twee op afstand 25 van elkaar gelegen blokken 28, 29 met permanent magneten 30, 31 omvat. De magneten 30 van de blokken 28, 29 zijn tegenover elkaar gelegen en op eenzelfde wijze gepolariseerd. De magneten 31 van de blokken 28, 29 zijn tegenover elkaar gelegen en op eenzelfde wijze gepolariseerd maar zijn tegengesteld gepolariseerd aan de magneten 30. De polarisatierichtingen strekken zich uit in een evenwijdig aan de 30 transportrichting van het substraat 9 uitstrekkende richting. De aandrijving 26 omvat verder een tweede deel dat is voorzien van een met de ligger 25 verbonden elektrisch be krach tigbare spoel 32 waarvan een linker gedeelte tussen de magneten 30 en een rechter gedeelte tussen de magneten 31 is gelegen.

De verplaatsing van de component-opneemeenheid 4 ten opzichte van het sub-35 frame 3 geschiedt met behulp van een motor die door een aanstuureenheid 33 wordt aangestuurd voor het met de gewenste versnellingen en snelheden verplaatsen van de component-opneemeenheid 4. Tijdens het versnellen van de component- 8 opneemeenheid 4 in de door pijl Pi aangegeven richting, wordt er door de motor een kracht Fi in de door pijl Pi aangegeven richting op de component-opneemeenheid 4 uitgeoefend. Dit resulteert in een reactiekracht F2 van de component-opneemeenheid 4 op het sub-frame 3, welke reactiekracht F2 qua grootte gelijk is aan de kracht Fi 5 maar qua richting daar tegengesteld aan is. Tegelijkertijd wordt door de aanstuureenheid 33 het aanstuursignaal naar een hulpaanstuureenheid 34 gestuurd, waarin op grond van een versnelling-tijd profiel in het aanstuursignaal en de bekende verplaatsende massa, de te verwachten reactiekracht F2 wordt berekend. Op grond van deze te verwachten reactiekracht F2, wordt met behulp van de 10 hulpaanstuureenheid 34 een elektrische stroom naar de spoel 32 geleid die een tegen Dacht in de aandrijving 26 opwekt die qua grootte gelijk is aan de te verwachten reactiekracht F2 maar qua richting dezelfde richting heeft als de lcracht Fi. De Dachten Ft, F2 en de door de aandrijving 26 opgewekte Dacht liggen bij voorkeur in eikaars verlengde gelegen. Hierdoor wordt vermeden dat de door de aandrijving 15 opgewekte Dachten een koppel introduceren. Door de door de aandrijving 26 opgewekte tegenDacht zal de op de sub-frame 3 uitgeoefende reactieDacht F2 worden tegengewerkt en opgeheven. Aangezien er geen resulterende Dacht op het sub-frame 3 wordt uitgeoefend, zullen er geen trillingen en vervormingen in de component-plaatsingsinrichting 21 optreden. Aldus beïnvloedt de verplaatsing van de component-20 opneemeenheid 4 ten opzichte van het sub-frame 3 niet de nauwkeurigheid waarmee met behulp van een daarnaast gelegen component-opneemeenheid 4 een component op een substraat 9 kan worden geplaatst. In figuur 2 zijn met stippellijnen de vervormingen weergegeven die het hulpframe 22 door de daarop uitgeoefende Dachten ondervindt. Doordat het hulpframe 22 vrijstaand is, worden deze Dachten 25 niet door geleidt naar het machineframe 5 en hebben deze vervormingen en daarbij optredende trillingen geen invloed op de plaatsingsnauwkeurigheid van de component-opneemeenheid 4.

De figuren 4-9 tonen diverse aanzichten van een uitvoeringsvorm van een component-plaatsingsinrichting 41 volgens de uitvinding, die is voorzien van een 3 0 machineframe 42, een door het machineframe 42 ondersteunende transportinrichting 43 voor substraten 44 en drie sub-frames 45 die elk twee naast elkaar gelegen geleidingen 46 omvatten. Over elke geleiding 46 is een component-opneemeenheid 47 verplaatsbaar, die ondermeer is voorzien van een mondstuk 147 waarmee een component kan worden opgenomen. De component-plaatsingsinrichting 41 omvat aan 35 een voorzijde een aantal component-toevoerinrichtingen 48 die in verwisselbare houders 49 zijn gelegen. De component-plaatsingsinrichting 41 is verder voorzien van een hulpframe 50 dat twee zich onder het machineframe gelegen profielen 51, twee 9 zich dwars daarop uitstrekkende, aan de achterzijde van de component-plaatsingsinrichting 41 gelegen staanders 52 en een tussen de staanders 52 uitstrekkende ligger 53 omvat. De profielen 51 zijn via poten 54 met het machineframe 55 verbonden. Door de relatief grote afstand tussen de poten 54 en de component-5 opneemeenheid 47, kan een dergelijke opstelling van het hulpframe 50 toch als vrijstaand worden beschouwd. Elk sub-frame 45 is nabij de ligger 53 en in het verlengde van elke geleiding 46, voorzien van permanent magneten 54 die tussen met de ligger 53 verbonden spoelenblokken 55 zijn gelegen. De permanent magneten 54 zijn via een verbindingsprofiel 56 met het sub frame 45 verbonden.

10 De werking van de door de permanent magneten 54 en de spoelenblokken 55 gevormde aandrijving 57 is vergelijkbaar met de aan de hand van de figuren 2, 3A3B beschreven aandrijving 26. Bij elk sub-frame 45 behoren twee aandrijvingen 57, waarbij met behulp van de eerste respectievelijk tweede aandrijving 57 een tegenkracht wordt gegenereerd voor het opheffen van de reactiekracht afkomstig van de eerste 15 respectievelijk tweede component-opneemeenheid 47 over de eerste respectievelijk tweede geleiding 46 verplaatsende component-opneemeenheid 47.

Om toegang tot de onder de sub-frames 45 gelegen ruimte, bijvoorbeeld voor onderhoud, mogelijk te maken, kan een elk sub-frame 45 in een door pijl P3 aangegeven richting worden gezwenkt om een nabij de ligger 53 gelegen zwenkas 58. 20 Deze gezwenkte stand van het sub-frame 45 is in figuur 8 weergegeven, waarbij de permanent magneten 54 tussen de spoelenblokken 55 uit zijn gezwenkt.

Opgemerkt wordt dat bij de in de figuren 4-9 weergegeven component-plaatsingsinrichting 41 zes geleidingen zich parallel aan elkaar uitstrekken, die elk zijn voorzien van een component-opneemeenheden 47. In bedrijf wordt bijvoorbeeld door 25 een eerste van de zes component-opneemeenheden 47 een component op een substraat 9 geplaatst, terwijl de andere vijf component-opneemeenheden 47 met relatief hoge versnellingen worden verplaatst. Door het gebruik van de aandrijvingen 57 die op de sub-frames 45 krachten uitoefenen om de door de verplaatsende component-opneemeenheden 47 op de sub-frames 45 uitgeoefende reactiekrachten 30 tegen te werken, worden trillingen en vervormingen aanzienlij kverminderd of volledig voorkomen, waardoor de component door het eerste component-opneemeenheid 47 nauwkeurig op het substraat kan worden geplaatst, waarbij een nauwkeurigheid van minder dan 10-15 micron realiseerbaar is.

Het is ook mogelijk dat de verplaatsingsrichtingen van de verschillende 35 component-opneemeenheden 47 zich dwars op elkaar uitstrekken of een andere hoek met elkaar insluiten.

Indien de component-opneemeenheid 47 tevens verplaatsbaar is in een zich 10 dwars op de verplaatsingsrichting uitstrekkende verdere verplaatsingsrichting, is het ook mogelijk om de component-plaatsingsinrichting te voorzien van aandrijvingen voor het genereren van tegenkrachten in die verdere verplaatsingsrichting.

Het is ook mogelijk om voor de aandrijving ander combinaties van magneten 5 en spoelen toe te passen zoals Lorentz-actuatoren. Ook hydraulische aandrijvingen zijn mogelijk.

Claims (7)

1. Component-plaatsingsinrichting voorzien van een machineframe en ten minste twee component-opneemeenheden die verplaatsbaar zijn ten opzichte van ten minste 5 een door een machineframe ondersteund sub-frame, waarbij elke component-opneemeenheid ten minste verplaatsbaar is in een verplaatsingsrichting, met het kenmerk, dat voor het ten minste gedeeltelijk tegenwerken van de door ten minste een component- opneemeenheid tijdens verplaatsing in de verplaatsingsrichting van de component-opneemeenheid ten opzichte van het sub-frame, op het sub-frame 10 uitgeoefende reactiekracht, de component-plaatsingsinrichting is voorzien van middelen voor het bepalen van de grootte van een op het sub-frame in hoofdzaak in de verplaatsingsrichting uit te oefenen tegenkracht, alsmede van ten minste een aandrijving voor het op het sub-frame in hoofdzaak in de verplaatsingsrichting uitoefenen van de met behulp van de middelen bepaalde tegenkracht. 15

2. Component-plaatsingsinrichting volgen conclusie 1, met het kenmerk, dat het sub-frame is voorzien van een eerste deel van de aandrijving, terwijl een met het eerste deel van de aandrijving samenwerkend tweede deel van de aandrijving op een van het machineframe vrijstaand hulpframe is gelegen. 20

3. Component-plaatsingsinrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat het eerste deel ten minste een permanent magneet omvat terwijl het tweede deel ten minste een elektrisch bekrachtigbare spoel omvat of vice versa.

4. Component-plaatsingsinrichting volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de component-plaatsingsinrichting is voorzien van een aanstuureenheid voor het afgeven van een aanstuursignaal voor het aansturen van de verplaatsing van de component-opneemeenheid in de verplaatsingsrichting, waarbij de aandrijving is voorzien van middelen voor het bepalen van de grootte van de door 30 de aandrijving uit te oefenen tegenkracht afhankelijk van het aanstuursignaal. 1 Component-plaatsingsinrichting volgens een der voorgaande conclusies 1-3, met het kenmerk, dat de component-plaatsingsinrichting is voorzien van een krachtsensor voor het bepalen van de door de verplaatsende component-opneemeenheid op het 3 5 sub-frame uitgeoefende reactiekracht , waarbij de aandrijving is voorzien van middelen voor het bepalen van de grootte van de door de aandrijving uit te oefenen tegenkracht afhankelijk van de door de krachtsensor gemeten, op het betreffende sub-frame uitgeoefende reactiekracht.

6. Werkwijze voor het aandrijven van een component-plaatsingsinrichting die is voorzien van een machineframe en ten minste twee component-opneemeenheden die 5 verplaatsbaar zijn ten opzichte van ten minste een door een machineframe ondersteund sub-frame, waarbij elke component-opneemeenheid ten minste verplaatsbaar is in een verplaatsingsrichting, met het kenmerk, dat ten minste een component-opneemeenheid in de verplaatsingsrichting ten opzichte van het sub-frame wordt verplaatst, waarbij door de component- opneemeenheid op het 10 sub-frame een reactiekracht wordt uitgeoefend, dat met behulp van middelen een op het sub- frame in hoofdzaak in de verplaatsingsrichting uit te oefenen tegenkracht wordt bepaald voor het ten minste gedeeltelijk tegenwerken van reactiekracht , waarna met behulp van ten minste een aandrijving op het sub-frame in hoofdzaak in de verplaatsingsrichting de met behulp van de middelen bepaalde tegenkracht wordt 15 uitgeoefend.

7. Werkwijze volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat de grootte van de uit te oefenen tegenkracht ten minste wordt bepaald aan de hand van een aanstuursignaal voor het aansturen van de verplaatsing van de component-opneemeenheid in de 20 verplaatsingsrichting.

8. Werkwijze volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat met behulp van een krachtsensor de door de verplaatsende component-opneemeenheid op het sub-frame uitgeoefende reactiekracht wordt gemeten, waarna ten minste afhankelijk van de door 25 de krachtsensor gemeten, op het sub-frame uitgeoefende reactiekracht, de grootte van de uit te oefenen tegenkracht wordt bepaald.