NL187325C - Werkwijze voor het regelen van de samenstelling van een chemische koperbekledingsoplossing. - Google Patents

Werkwijze voor het regelen van de samenstelling van een chemische koperbekledingsoplossing.

Info

Publication number
NL187325C
NL187325C NLAANVRAGE8005140,A NL8005140A NL187325C NL 187325 C NL187325 C NL 187325C NL 8005140 A NL8005140 A NL 8005140A NL 187325 C NL187325 C NL 187325C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
composition
controlling
coating solution
copper coating
chemical copper
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE8005140,A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Other versions
NL8005140A (nl
NL187325B (nl
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL8005140A publication Critical patent/NL8005140A/nl
Publication of NL187325B publication Critical patent/NL187325B/xx
Application granted granted Critical
Publication of NL187325C publication Critical patent/NL187325C/xx

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601—Process or apparatus
    • C23C18/1633—Process of electroless plating
    • C23C18/1675—Process conditions
    • C23C18/1683—Control of electrolyte composition, e.g. measurement, adjustment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
NLAANVRAGE8005140,A 1980-02-29 1980-09-12 Werkwijze voor het regelen van de samenstelling van een chemische koperbekledingsoplossing. NL187325C (nl)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2404880A JPS56120943A (en) 1980-02-29 1980-02-29 Manufacture of ph-detecting electrode
JP2404880 1980-02-29

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL8005140A NL8005140A (nl) 1981-10-01
NL187325B NL187325B (nl) 1991-03-18
NL187325C true NL187325C (nl) 1991-08-16

Family

ID=12127581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE8005140,A NL187325C (nl) 1980-02-29 1980-09-12 Werkwijze voor het regelen van de samenstelling van een chemische koperbekledingsoplossing.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4310563A (ja)
JP (1) JPS56120943A (ja)
DE (1) DE3034749C2 (ja)
NL (1) NL187325C (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60104246A (ja) * 1983-11-11 1985-06-08 C Uyemura & Co Ltd 化学銅めつき浴中のホルムアルデヒドの分析方法
US4534797A (en) * 1984-01-03 1985-08-13 International Business Machines Corporation Method for providing an electroless copper plating bath in the take mode
US4666858A (en) * 1984-10-22 1987-05-19 International Business Machines Corporation Determination of amount of anionic material in a liquid sample
US4814197A (en) * 1986-10-31 1989-03-21 Kollmorgen Corporation Control of electroless plating baths
US5117370A (en) * 1988-12-22 1992-05-26 Ford Motor Company Detection system for chemical analysis of zinc phosphate coating solutions
US20070048447A1 (en) * 2005-08-31 2007-03-01 Alan Lee System and method for forming patterned copper lines through electroless copper plating

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3951602A (en) * 1974-06-25 1976-04-20 E. I. Du Pont De Nemours And Company Spectrophotometric formaldehyde-copper monitor
US4096301A (en) * 1976-02-19 1978-06-20 Macdermid Incorporated Apparatus and method for automatically maintaining an electroless copper plating bath
JPS6016516B2 (ja) * 1978-05-01 1985-04-25 株式会社日立製作所 処理液の管理方法と装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE3034749A1 (de) 1981-09-17
NL8005140A (nl) 1981-10-01
JPS56120943A (en) 1981-09-22
US4310563A (en) 1982-01-12
JPS6154178B2 (ja) 1986-11-21
DE3034749C2 (de) 1983-11-10
NL187325B (nl) 1991-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7806638A (nl) Werkwijze voor het regelen van de samenstelling van een beitsoplossing.
NL7900906A (nl) Werkwijze voor het metalliseren van een substraat.
NL189237C (nl) Inrichting voor het verstuiven van vloeistoffen.
NL193064B (nl) Werkwijze voor het hydroformyleren van een olefineverbinding.
NL191424C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde schakeling.
NL189820C (nl) Werkwijze voor het verwijderen van afzetting van een oppervlak.
NL7713596A (nl) Stelsel voor het besturen van een electronen- kanon.
NL188550C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleidersubstraat.
NL187085C (nl) Stelsel voor het regelen van een electromagnetische koppeling.
NL188432C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een mosfet.
NL7904393A (nl) Werkwijze voor het behandelen van oppervlakken.
NL190711B (nl) Inrichting voor het besturen van een aantal functies.
NL7902501A (nl) Oplossing voor het behandelen van een oppervlak van metaal.
NL190661C (nl) Werkwijze voor de automatisch regelbare ontgifting van nitrietionen-bevattende afvoerwaters.
NL189550C (nl) Werkwijze voor het behandelen van koperen buizen.
NL184769C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van ureumkorrels.
NL193722B (nl) Werkwijze voor het bekleden van een substraat.
NL187325C (nl) Werkwijze voor het regelen van de samenstelling van een chemische koperbekledingsoplossing.
NL7804102A (nl) Werkwijze voor het besturen van de migratie van een chemische stof in een vast substraat.
NL188349C (nl) Werkwijze voor het zuiveren van een waterige acrylamide-oplossing.
NL7706222A (nl) Werkwijze voor het instellen van de samen- stelling van een zoutsmeltbad voor een elektrolyse.
NL187851C (nl) Werkwijze voor het stabiliseren van 1,1,1-trichloorethaan.
NL188633C (nl) Werkwijze voor het bereiden van ortho-gemethyleerde fenolverbindingen.
NL183756B (nl) Inrichting voor het vormen van een opstellaag uit baksteenvormlingen.
NL7801396A (nl) Werkwijze voor het besturen van ondergrondse processen.

Legal Events

Date Code Title Description
A1A A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
A85 Still pending on 85-01-01
BC A request for examination has been filed
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee