NL162313C - Werkwijze voor het behandelen van een substraat van galliumarsenide. - Google Patents

Werkwijze voor het behandelen van een substraat van galliumarsenide.

Info

Publication number
NL162313C
NL162313C NL7303954A NL7303954A NL162313C NL 162313 C NL162313 C NL 162313C NL 7303954 A NL7303954 A NL 7303954A NL 7303954 A NL7303954 A NL 7303954A NL 162313 C NL162313 C NL 162313C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
treating
substrate
gallium arsenide
arsenide
gallium
Prior art date
Application number
NL7303954A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Other versions
NL7303954A (xx
NL162313B (nl
Original Assignee
Western Electric Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US00237060A external-priority patent/US3808072A/en
Application filed by Western Electric Co filed Critical Western Electric Co
Publication of NL7303954A publication Critical patent/NL7303954A/xx
Publication of NL162313B publication Critical patent/NL162313B/xx
Application granted granted Critical
Publication of NL162313C publication Critical patent/NL162313C/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
    • H01L21/30604—Chemical etching
    • H01L21/30612—Etching of AIIIBV compounds
    • H01L21/30621—Vapour phase etching
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02367—Substrates
    • H01L21/0237—Materials
    • H01L21/02387—Group 13/15 materials
    • H01L21/02395—Arsenides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
    • H01L21/02439—Materials
    • H01L21/02455—Group 13/15 materials
    • H01L21/02463—Arsenides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02518—Deposited layers
    • H01L21/02521—Materials
    • H01L21/02538—Group 13/15 materials
    • H01L21/02546—Arsenides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02518—Deposited layers
    • H01L21/0257—Doping during depositing
    • H01L21/02573—Conductivity type
    • H01L21/02576—N-type
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
    • H01L21/02612—Formation types
    • H01L21/02617—Deposition types
    • H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Weting (AREA)
NL7303954A 1972-03-22 1973-03-21 Werkwijze voor het behandelen van een substraat van galliumarsenide. NL162313C (nl)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US00237060A US3808072A (en) 1972-03-22 1972-03-22 In situ etching of gallium arsenide during vapor phase growth of epitaxial gallium arsenide
US24931172A 1972-05-01 1972-05-01

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7303954A NL7303954A (xx) 1973-09-25
NL162313B NL162313B (nl) 1979-12-17
NL162313C true NL162313C (nl) 1980-05-16

Family

ID=26930348

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7303958A NL160989C (nl) 1972-03-22 1973-03-21 Schottky-keerlaagdiode en werkwijze voor het vervaar- digen daarvan.
NL7303954A NL162313C (nl) 1972-03-22 1973-03-21 Werkwijze voor het behandelen van een substraat van galliumarsenide.

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7303958A NL160989C (nl) 1972-03-22 1973-03-21 Schottky-keerlaagdiode en werkwijze voor het vervaar- digen daarvan.

Country Status (6)

Country Link
JP (2) JPS5232831B2 (xx)
FR (2) FR2176998B1 (xx)
GB (2) GB1425102A (xx)
IT (2) IT979892B (xx)
NL (2) NL160989C (xx)
SE (2) SE388972B (xx)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5244582A (en) * 1975-10-06 1977-04-07 New Japan Radio Co Ltd Semiconductor device and process for production of the same
JPS55114620A (en) * 1979-02-22 1980-09-04 Yoshio Kaneda Driver's cab on tractor or the like
JPS56169331A (en) * 1980-05-30 1981-12-26 Nec Corp Vapor phase etching method for compound semiconductor
JPS5770810A (en) * 1980-10-17 1982-05-01 Lion Corp Cosmetic for hair
JPS60222410A (ja) * 1984-04-20 1985-11-07 Asahi Denka Kogyo Kk シヤンプ−組成物

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4916231A (xx) * 1972-06-06 1974-02-13

Also Published As

Publication number Publication date
NL7303954A (xx) 1973-09-25
IT982897B (it) 1974-10-21
NL7303958A (xx) 1973-09-25
JPS5232831B2 (xx) 1977-08-24
FR2176999B1 (xx) 1978-03-03
IT979892B (it) 1974-09-30
NL160989B (nl) 1979-07-16
FR2176998A1 (xx) 1973-11-02
JPS4948281A (xx) 1974-05-10
SE375557B (xx) 1975-04-21
SE388972B (sv) 1976-10-18
GB1425102A (en) 1976-02-18
DE2313768B2 (de) 1975-11-20
GB1425101A (en) 1976-02-18
FR2176998B1 (xx) 1976-11-05
NL162313B (nl) 1979-12-17
DE2313768A1 (de) 1973-10-04
FR2176999A1 (xx) 1973-11-02
JPS5019367A (xx) 1975-02-28
JPS5433711B2 (xx) 1979-10-22
NL160989C (nl) 1979-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL171451C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een verknoopbaar of vulcaniseerbaar mengsel; werkwijze voor het bereiden van zwavelorganotrialkoxysilanen.
NL182723B (nl) Werkwijze voor het chloreren van een aromatische verbinding.
NL167993C (nl) Werkwijze voor het bereiden van bolvormig gegranuleerde enzympreparaten.
NL178748B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een haargroeimiddel.
NL171808B (nl) Werkwijze voor het ozoniseren van alkenen.
NL7400109A (nl) Werkwijze voor het behandelen van water.
NL171010C (nl) Werkwijze voor het conserveren van champignons.
NL7411906A (nl) Werkwijze voor het behandelen van graan.
NL171258C (nl) Werkwijze voor het katalytisch oxyderen van alkanen.
NL179898C (nl) Werkwijze voor het zuiveren van gips.
NL177571C (nl) Werkwijze voor het maken van microdeeltjes van koolstof.
NL175672C (nl) Werkwijze voor het onderscheiden van leukocyten.
NL7606336A (nl) Werkwijze voor het selectief katalytisch alkyleren van alkanen.
NL174456C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een onverzadigd carbonzuur; werkwijze voor het bereiden van een oxydatiekatalysator.
NL180207C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een organisch carbonzuuranhydride.
NL162350C (nl) Werkwijze voor het disproportioneren van acyclische alkenen.
NL162313C (nl) Werkwijze voor het behandelen van een substraat van galliumarsenide.
NL172036C (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van merktekens op gietstukken.
NL175953C (nl) Werkwijze voor het verbeteren van de sensitometrie.
NL169305C (nl) Werkwijze voor het bereiden van perfluorverbindingen.
NL171624B (nl) Werkwijze voor het vloeibaar maken van aardgas.
NL177561C (nl) Werkwijze voor het bestrijden van ongewenste plantensoorten.
NL169293C (nl) Werkwijze voor het transporteren van grote houders.
NL175317C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een amylase-inhibitor.
NL165493C (nl) Werkwijze voor het behandelen van een diolefinen-be- vattend koolwaterstofmengsel.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee