NL1028057C2 - Inrichting voor het op zijn plaats houden van verhittingsdraden in een horizontale oven. - Google Patents

Inrichting voor het op zijn plaats houden van verhittingsdraden in een horizontale oven. Download PDF

Info

Publication number
NL1028057C2
NL1028057C2 NL1028057A NL1028057A NL1028057C2 NL 1028057 C2 NL1028057 C2 NL 1028057C2 NL 1028057 A NL1028057 A NL 1028057A NL 1028057 A NL1028057 A NL 1028057A NL 1028057 C2 NL1028057 C2 NL 1028057C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
shaped part
rod
shaped
spacer member
heating wire
Prior art date
Application number
NL1028057A
Other languages
English (en)
Inventor
Barteld Kolk
Original Assignee
Tempress Systems
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tempress Systems filed Critical Tempress Systems
Priority to NL1028057A priority Critical patent/NL1028057C2/nl
Priority to US11/333,120 priority patent/US7595465B2/en
Priority to DE102006002372A priority patent/DE102006002372A1/de
Application granted granted Critical
Publication of NL1028057C2 publication Critical patent/NL1028057C2/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62Heating elements specially adapted for furnaces
    • H05B3/66Supports or mountings for heaters on or in the wall or roof

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Description

--1
Inrichting voor het op zijn plaats houden van verhittingsdraden in een horizontale oven
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het op zijn plaats houden van verhittingsdraden in een oven en meer speciaal in een horizontale oven. In een elektrische oven worden verhittings- of gloeidraden gebruikt om het inwendige van de oven te kunnen verhitten. De verhittingsdraden zijn vervaardigd van een metaal dat goed 5 de elektriciteit kan geleiden en dat tot gewenste hoge temperaturen kan worden verhit zonder dat het materiaal vervormt. De verhittingsdraden dienen op een bepaalde afstand van elkaar gehouden te worden, opdat de oven zo gelijkmatig mogelijk overal op dezelfde temperatuur gehouden kan worden. Hiertoe worden de verhittingsdraden met behulp van afstandstukjes of afstandrepen op een gewenste afstand gehouden. Echter hoe warmer de 10 verhittingsdraden worden hoe zachter het materiaal waaruit de verhittingsdraden zijn vervaardigd zal worden. In een horizontale oven, waarbij de verhittingsdraden schroefvormig of meanderend, dus min of meer heen en weer, zijn aangebracht, zullen de verhittingsdraden wanneer deze in temperatuur stijgen steeds zachter worden, waardoor boven een bepaalde temperatuur de kans steeds groter wordt dat de draden door hun 15 eigengewicht en onder de invloed van de zwaartekracht naar beneden zullen buigen.
Hierdoor zal de oven niet alleen overal niet meer zo gelijkmatig worden verhit als gewenst, maar kunnen de naar beneden gebogen verhittingsdraden ook in aanraking komen met materialen die zich in de oven bevinden. De verhittingsdraden in een horizontale oven dienen dus, zeer zeker indien de draden zich bevinden aan de bovenkant 20 van de oven, te worden ondersteund zodat de draden niet naar beneden kunnen buigen, wanneer door het verhitten van de draden het materiaal waaruit ze zijn vervaardigd zo zacht wordt dat deze door hun eigen gewicht door gaan buigen. Er dient echter ook op gelet te worden, dat de verhittingsdraden niet ingeklemd komen te zitten, daar de draden door het verhitten uitzetten en daarbij voldoende bewegingsvrijheid dienen te hebben, 25 daar anders grote kans bestaat dat de draden knappen. Dit is vooral van belang bij horizontale ovens waarin uit halfgeleider materiaal bestaande materialen worden behandeld, daar in deze ovens de behandeling bij hoge temperaturen gebeuren, waardoor het doorbuigen van te zacht geworden verhittingsdraden kunnen optreden.
Het oogmerk van de uitvinding is een inrichting waarmee het mogelijk is om een 30 verhittingsdraad in een horizontale oven zodanig aan te brengen, dat de verhittingsdraad 1028057 2 wordt opgesloten, zodat deze op zijn plaats blijft, zonder dat de draad wordt ingeklemd. Een bijkomend oogmerk is dat door het toepassen van de inrichting volgens de uitvinding de verhittingsdraden gemakkelijk kunnen worden geïnstalleerd en bij voorkeur geleidelijk ring voor ring kunnen worden aangebracht, waardoor tijd kan worden bespaard.
5 Dit oogmerk wordt bereikt met een inrichting volgens de uitvinding, doordat de inrichting bestaat uit een staaf en een aantal afstandsorganen, waarvan elk afstandsorgaan bestaat uit een staafvormig deel, waarop nabij het midden van het staafvormig deel een Y-vormig deel staat, waarbij het staafvormige deel loodrecht staat op het vlak door het Y-vormige deel en dat het V-vormig deel van het Y-vormig deel de staaf deels kan 10 omsluiten zodat in dwarsdoorsnede door het staafvormige deel en de langsas van het Y-vormige deel het afstandsorgaan T-vormig is.
Met deze maatregelen wordt bereikt, dat bij het aanbrengen van een verhittingsdraad in een oven de verhittingsdraad geleidelijk wikkeling voor wikkeling in de oven kan worden aangebracht, terwijl wanneer de verhittingsdraad met behulp van 15 deze inrichting in een oven is aangebracht, wanneer onder invloed van het verhogen van de temperatuur de verhittingsdraad zacht wordt de verhittingsdraad niet de neiging heeft om onder invloed van de zwaartekracht te gaan doorbuigen. Doordat de verhittingsdraad volgens de uitvinding bij een ophangpunt door de inrichting geheel wordt omsloten zonder dat de verhittingsdraad wordt ingeklemd, heeft de verhittingsdraad genoeg ruimte 20 om onder invloed van de warmte uit te kunnen zetten, maar zal de verhittingsdraad wel ongeveer op zijn plaats blijven, waardoor in de oven een goede homogene warmte verdeling bij elke temperatuur zal kunnen worden verkregen.
In een voorkeursuitvoering van de inrichting volgens de uitvinding, is elk afstandsorgaan aan het ene uiteinde van het staafvormig deel voorzien van een dwarsdeel, 25 dat loodrecht staat op het staafvormig deel en evenwijdig loopt aan het Y-vormige deel, zodat een U-vormige uitsparing ontstaat waarin de verhittingsdraad kan worden opgenomen en dat de andere kant van het Y-vormige deel en het staafvormige deel tezamen een L-vormige uitsparing vormen, waarin eveneens de verhittingsdraad kan worden opgenomen en zijn het staafvormig deel en de afstandsorganen vervaardigd van 30 keramisch materiaal, terwijl van een afstandsorgaan het ene uiteinde van het staafvormig deel, in het verlengde van het staafvormig deel is voorzien van een uitsteeksel en in het andere uiteinde van het staafvormig deel een uitholling is aangebracht zodat het uitsteeksel van het ene afstandsorgaan kan samenwerken met de uitholling die is aangebracht in het andere uiteinde van het staafvormig deel van het er tegenaan geplaatste 1028057 3 afstandsorgaan. Met deze maatregelen wordt bereikt, dat wanneer een aantal afstandsorganen volgens de uitvinding op een keramische staaf zijn aangebracht, de afstandsorganen tezamen een stevig geheel vormen. Hiermee wordt dus bereikt, dat nadat meerdere afstandsorganen bevestigd zijn aan een keramische staaf er een verband is 5 tussen de opvolgende afstandsorganen. De keramische staaf kan of massief of hol zijn. Wanneer een holle staaf wordt toegepast levert dit gewichtsbesparing op.
Aan de hand van de tekening zal de uitvinding nader worden toegelicht. In de tekening toont:
Figuur 1 Een aanzicht van een deel van de verhittingsdraden van een horizontale 10 oven opgehangen met behulp van een inrichting volgens de uitvinding;
Figuur 2 een aanzicht in perspectief van een afstandsorgaan volgens de uitvinding;
Figuur 3 een aanzicht van een afstandsorgaan volgens de lijn III - III uit figuur 4;
Figuur 4 een dwarsdoorsnede door een afstandsorgaan volgens de uitvinding 15 zoals weergegeven in figuur 2 volgens de lijn IV - IV uit figuur 3;
Figuur 5 in dwarsdoorsnede een andere mogelijke uitvoering van een afstandsorgaan volgens de uitvinding met gestippeld een keramische staaf en nog twee afstandsorganen; figuur 6 in dwarsdoorsnede een andere mogelijke uitvoering van een 20 afstandsorgaan volgens de uitvinding;
Figuur 1 toont een deel van een inrichting 1 volgens de uitvinding tezamen met stukken van een verhittingsdraad 2. De inrichting bestaat uit een keramische staaf 3 en een aantal keramische afstandsorganen 4, waarbij de stukken van de verhittingsdraad 2 opgesloten zitten tussen de keramische afstandsorganen 4 en de keramische staaf 3.
25 Figuur 2 toont in aanzicht een afstandsorgaan 4 volgens de uitvinding. Elk afstandsorgaan 4 bestaat uit een staafvormig deel 5, waarop nabij het midden van het staafvormig deel 5 een Y-vormig deel 6 staat. Het staafvormige deel 5 staat loodrecht op het vlak door het Y-vormige deel 6.
Figuur 3 een aanzicht van het afstandsorgaan 4 volgens de lijn III - III uit figuur 4. 30 De opening 7 begrensd door het V-vormig deel 8 van het Y-vormig deel 6 is O-vormig zodat het V-vormige deel 8 de keramische staaf 3 deels kan omsluiten, welke keramische staaf 3 bij voorkeur cilindrisch is.
Figuur 4 toont in dwarsdoorsnede een afstandsorgaan 4 volgens de uitvinding zoals weergegeven in figuur 2 volgens de lijn IV - IV uit figuur 3. Het staafvormig deel 5 1028057 ................................................ ιι ιιιιι ιιι ιιιιιι ιιιιι ιιι 4 is nabij een uiteinde voorzien van een dwarsdeel 9, dat loodrecht staat op het staafvormig deel 5 en evenwijdig loopt aan het Y-vormige deel 6, zodat een U-vormige uitsparing 10 ontstaat waarin de verhittingsdraad 2 kan worden opgenomen. Aan de andere kant van het Y-vormige deel 6 en het staafvormige deel 5 ontstaat een L-vormige uitsparing 11, waarin 5 eveneens de verhittingsdraad 2 kan worden opgenomen. Zowel afmeting van de ruimte begrensd enerzijds door de keramische staaf 3 en anderzijds door de U-vormige uitsparing 10 van een afstandsorgaan 4, evenals afmeting van de ruimte begrensd enerzijds door de keramische staaf 3 en anderzijds door de L-vormige uitsparing 11 van een afstandsorgaan 4 en het dwarsdeel 9 van het aangrenzende afstandsorgaan zijn 10 zodanig gekozen, dat een verhittingsdraad of gloeidraad 2 genoeg ruimte heeft om thermisch te kunnen uitzetten. Het ene uiteinde van het staafvormig deel 5 van het afstandsorgaan 4, is in het verlengde van het staafvormig deel 5 voorzien van een uitsteeksel 12 en in het andere uiteinde van het staafvormig deel 5 is een uitholling 13 aangebracht, zodat het uitsteeksel van het ene afstandsorgaan kan samenwerken met de 15 uitholling die is aangebracht in het andere uiteinde van het staafvormig deel van het er tegenaan geplaatste afstandsorgaan. De lengte van het dwarsdeel 9 komt overeen met de lengte van de steel van het Y-vormige deel, waardoor wanneer een afstandsorgaan op een keramische staaf is bevestigd, het dwarsdeel 9 ongeveer kan steunen tegen de keramische staaf 3.
20 Figuur 5 toont een andere mogelijke uitvoering van een afstandsorgaan 14 volgens de uitvinding met gestippeld nog een tweetal afstandsorganen 14 en een keramische staaf 3, waarop de afstandsorganen zijn geschoven. Hier is het afstandsorgaan 14 eveneens opgebouwd uit een staafvormig deel 5, waarop nabij het midden van het staafvormig deel 5 eveneens een Y-vormig deel 6 staat. Het staafvormige deel 5 staat loodrecht op het vlak 25 door het Y-vormige deel 6. Het ene uiteinde van het staafvormig deel 5 van het afstandsorgaan 4, is in het verlengde van het staafvormig deel 5 voorzien van een uitsteeksel 12 en in het andere uiteinde van het staafvormig deel 5 is een uitholling 13 aangebracht, zodat het uitsteeksel van het ene afstandsorgaan kan samenwerken met de uitholling die is aangebracht in het andere uiteinde van het staafvormig deel van een er 30 tegenaan geplaatst afstandsorgaan 14.
Figuur 6 toont nog een mogelijke uitvoering van een afstandsorgaan 15 volgens de uitvinding. Het staafvormig deel 5 is nabij een uiteinde voorzien van een dwarsdeel 9, dat loodrecht staat op het staafvormig deel 5 en evenwijdig loopt aan het Y-vormige deel 6, 102805? 5 zodat een U-vormige uitsparing 10 ontstaat waarin de verhittingsdraad 2 kan worden opgenomen.
Aan de andere kant van het Y-vormige deel 6 en het staafvormige deel 5 is eveneens een dwarsdeel 16 aangebracht, waardoor ook aan de andere kant van het Y-5 vormige deel een U-vormige 17 uitsparing ontstaat, waarin ook de verhittingsdraad kan worden opgenomen. Aan de andere kant van het dwarsdeel 16 ontstaat een L-vormige uitsparing 18, waarin eveneens de verhittingsdraad 2 kan worden opgenomen. Zowel afmeting van de ruimte begrensd enerzijds door de keramische staaf 3 en anderzijds door de U-vormige uitsparingen 10,17 van een afstandsorgaan 4, evenals de afmeting van de 10 ruimte begrensd enerzijds door de keramische staaf 3 en anderzijds door de L-vormige uitsparing 18 van het afstandsorgaan 15 en het dwarsdeel 9 van het aangrenzende afstandsorgaan 15 zijn zodanig gekozen, dat een verhittingsdraad of gloeidraad 2 genoeg ruimte heeft om thermisch te kunnen uitzetten. Het ene uiteinde van het staafvormig deel 5 van het afstandsorgaan 4, is in het verlengde van het staafvormig deel 5 voorzien van 15 een uitsteeksel 12 en in het andere uiteinde van het staafvormig deel 5 is een uitholling 13 aangebracht, zodat het uitsteeksel van het ene afstandsorgaan kan samenwerken met de uitholling die is aangebracht in het andere uiteinde van het staafvormig deel van het er tegenaan geplaatste afstandsorgaan.
1 0 2 8 0 5 7

Claims (8)

1. Inrichting voor het op zijn plaats houden van een verhittingsdraad (2) in een oven en meer speciaal in een horizontale oven, met het kenmerk, dat de inrichting (1) 5 bestaat uit een staaf (3) en een aantal afstandsorganen (4), waarvan elk afstandsorgaan (4) bestaat uit een staafvormig deel (5), waarop nabij het midden van het staafvormig deel een Y-vormig deel (6) staat, waarbij het staafvormige deel loodrecht staat op het vlak door het Y-vormige deel (6) en dat het V-vormig deel (8) van het Y-vormig deel de staaf deels kan omsluiten. 10
2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het staafvormig deel (5) nabij een uiteinde voorzien is van een dwarsdeel (9), dat loodrecht staat op het staafvormig deel (5) en evenwijdig loopt aan het Y-vormige deel, zodat een U-vormige (10) uitsparing ontstaat waarin de verhittingsdraad (2) kan worden 15 opgenomen en dat de andere kant van het Y-vormige deel en het staafvormige deel tezamen een L-vormige uitsparing (11) vormen, waarin eveneens de verhittingsdraad (2) kan worden opgenomen.
3. Inrichting volgens een van de conclusies 1 of 2, met het kenmerk, dat het 20 staafvormig deel (5) en de afstandsorganen (4) vervaardigd zijn van keramisch materiaal.
4. Inrichting volgens een van de conclusies 1, 2 of 3, met het kenmerk, dat van een afstandsorgaan (4) het ene uiteinde van het staafvormig deel, in het verlengde van het 25 staafvormig deel is voorzien van een uitsteeksel (12) en in het andere uiteinde van het staafvormig deel een uitholling (13) is aangebracht zodat het uitsteeksel van het ene afstandsorgaan kan samenwerken met de uitholling die is aangebracht in het andere uiteinde van het staafvormig deel van het er tegenaan geplaatste afstandsorgaan. 1 1028057
5. Inrichting volgens een van de conclusies 1, 2, 3 of 4, met het kenmerk, dat de lengte van het dwarsdeel overeenkomt met de lengte van de steel van het Y-vormige deel
6. Inrichting volgens een van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het V-vormig deel (8) van het Y-vormig deel O-vormig is, zodat het V-vormige deel de staaf (3) deels kan omvatten.
7. Inrichting volgens een van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de staaf cilindervormig is.
8. Inrichting volgens een van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de staaf hol is. 10 1028057
NL1028057A 2005-01-18 2005-01-18 Inrichting voor het op zijn plaats houden van verhittingsdraden in een horizontale oven. NL1028057C2 (nl)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1028057A NL1028057C2 (nl) 2005-01-18 2005-01-18 Inrichting voor het op zijn plaats houden van verhittingsdraden in een horizontale oven.
US11/333,120 US7595465B2 (en) 2005-01-18 2006-01-17 Device for keeping heating wires in position in a horizontal oven
DE102006002372A DE102006002372A1 (de) 2005-01-18 2006-01-17 Vorrichtung zum Befestigen eines Heizdrahtes

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1028057 2005-01-18
NL1028057A NL1028057C2 (nl) 2005-01-18 2005-01-18 Inrichting voor het op zijn plaats houden van verhittingsdraden in een horizontale oven.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL1028057C2 true NL1028057C2 (nl) 2006-07-19

Family

ID=34974953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1028057A NL1028057C2 (nl) 2005-01-18 2005-01-18 Inrichting voor het op zijn plaats houden van verhittingsdraden in een horizontale oven.

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7595465B2 (nl)
DE (1) DE102006002372A1 (nl)
NL (1) NL1028057C2 (nl)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4331768B2 (ja) * 2007-02-28 2009-09-16 東京エレクトロン株式会社 熱処理炉及び縦型熱処理装置
US8023806B2 (en) * 2007-03-20 2011-09-20 Tokyo Electron Limited Heat processing furnace and vertical-type heat processing apparatus
JP5868619B2 (ja) * 2011-06-21 2016-02-24 ニチアス株式会社 熱処理炉及び熱処理装置
AT17549U1 (de) 2021-05-19 2022-07-15 Plansee Se Halteelement für einen hochtemperaturofen

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3935376A (en) * 1974-12-18 1976-01-27 Du-Co Ceramics Company Ceramic insulator for supporting a ribbon-type heating element
CA2410001A1 (en) * 2002-10-24 2004-04-24 Camco Inc. Method of assembling an electrical heater support housing
US6807220B1 (en) * 2003-05-23 2004-10-19 Mrl Industries Retention mechanism for heating coil of high temperature diffusion furnace

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1430861A (en) * 1922-10-03 Electric pt
US1698282A (en) * 1925-11-28 1929-01-08 Edison Electric Appliance Co Electric heater
US2035306A (en) * 1933-08-30 1936-03-24 Fmc Corp Electric furnace
USD258877S (en) * 1978-06-15 1981-04-14 Emerson Electric Co. Insulator for an open coil electric heating unit
US4553246A (en) * 1983-10-17 1985-11-12 Christie C T Construction method and apparatus for installing a hanger-supported heating element in an electrical resistance furnace
US4531017A (en) * 1983-11-25 1985-07-23 Tutco, Inc. Insulator for an electric heater
US5038019A (en) * 1990-02-06 1991-08-06 Thermtec, Inc. High temperature diffusion furnace
JPH079036Y2 (ja) * 1990-11-13 1995-03-06 東京エレクトロン東北株式会社 縦型熱処理炉
US5506389A (en) * 1993-11-10 1996-04-09 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Thermal processing furnace and fabrication method thereof
US6285013B1 (en) * 1997-09-29 2001-09-04 Nova Industries, Inc. Heat coil support assembly and method

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3935376A (en) * 1974-12-18 1976-01-27 Du-Co Ceramics Company Ceramic insulator for supporting a ribbon-type heating element
CA2410001A1 (en) * 2002-10-24 2004-04-24 Camco Inc. Method of assembling an electrical heater support housing
US6807220B1 (en) * 2003-05-23 2004-10-19 Mrl Industries Retention mechanism for heating coil of high temperature diffusion furnace

Also Published As

Publication number Publication date
US20060196866A1 (en) 2006-09-07
US7595465B2 (en) 2009-09-29
DE102006002372A1 (de) 2006-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL1028057C2 (nl) Inrichting voor het op zijn plaats houden van verhittingsdraden in een horizontale oven.
KR101078626B1 (ko) 복사 튜브를 포함하는 전기 가열 요소
EP2844103B1 (en) Hair styling appliance
JP2001513871A (ja) 電気炉アセンブリー
CZ20012963A3 (cs) Podpůrná konstrukce ohřívače a ohřívací pec pro ohýbání skleněné tabule
ES2391781T3 (es) Elemento de calentamiento eléctrico para instalación vertical
JP5379024B2 (ja) 電気炉用インサート
US10612853B2 (en) Heating device
KR200441974Y1 (ko) 와이어 형태의 발열체로 이루어진 히터 및 이를 이용한소둔로용 히팅파이프
US7075043B2 (en) Standoff for use with uncoiled bare wire and insulated runs of an open coil electric resistance heater, method of use, and an open coil resistance heater using the standoff
NL8004400A (nl) Verwarmingselement voor een elektrische oven.
JPH03221784A (ja) 組合せ断熱/加熱ユニットおよび材料の高温処理炉
JP5913280B2 (ja) ばねの加熱方法
US1680404A (en) Heating unit
US3495072A (en) Electric heating elements
JP6358904B2 (ja) 熱処理装置
JP4907222B2 (ja) 半導体ウエハの加熱装置
JP4769842B2 (ja) 高温用加熱炉
JP2024000791A5 (nl)
CN112752942B (zh) 加热炉
DE493894C (de) Elektrischer Widerstandsofen
US3476862A (en) Electric resistance heating elements
US1755051A (en) Electric furnace
JPS596316A (ja) 加熱炉の伝熱促進装置
US1738446A (en) Electric furnace

Legal Events

Date Code Title Description
PD2B A search report has been drawn up
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20150801