KR980700593A - 평판 디스플레이용 채널 플레이트와 그 플레이트 제작 방법(A channel plate for a flat display, and a method for making such a plate) - Google Patents

평판 디스플레이용 채널 플레이트와 그 플레이트 제작 방법(A channel plate for a flat display, and a method for making such a plate) Download PDF

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KR980700593A
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KR1019970703522A
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요트. 부르그만스 아드리아누스 엘
요트 에르 반 헬레퓨테 헨리 에르
페트루스 에프. 게 본가에르츠
자코브 부류아닌크
카렐 알베르트 쿠이지크
바바르 알이 칸
Original Assignee
제이. 쥐. 에이. 롤페스
필립스 일렉트로닉스 엔. 브이.
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Abstract

인접 채널에 노출된 전극층 측면이 있는 절연 재료의 벽위에 전극층을 갖는 측면의 절연 채널 벽돌 사이의 공간에 형성된 네가티브 경사가 있는 구조를 갖는 절연 재료의 공간이 형성된 벽이 있는 기판상에 전기 절연 재료와 연속적인 전기 전도층을 증착시켜 형성된 플라즈마 채널이 구비된 바람직하게는 PALC 형태의 평판 디스플레이 장치이다. 절연 벽은 리프트-오프 공정에 의해 제거되고, 상기 벽에서 증착된 층은 절연 벽돌 사이에서 증착된 층 뒤에 남게된다. 남아있는 절연 벽은 플레즈마 채널을 형성하기 위해 유전성 박막 부재를 덮는다.

Description

평판 디스플레이용 채널 플레이트와 그 플레이트 제작 방법(A channel plate for a flat display, and a method for making such a plate)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 PALC 칼러 디스플레이에서 사용되는 본 발명에 따른 채널 플레이트의 단면도.

Claims (8)

  1. 채널을 한정하는 측벽이 형성된 유전성 기판 및, 기판상의 전극층과 절연층상의 유전성 박막 부재가 구비된 전극층상의 절연층이 있는 유전성 부재상의 긴 채널과 상기 각각의 채널안의 전극 표면을 포함하는 평판 디스플레이용 채널 플레이트에 있어서, 전극층은 증착으로 형성되며, 절연층은 증착으로 형성되고, 전극층의 측면은 근접된 측벽 사이의 채널에 노출된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 채널 플레이트.
  2. 제 1 항에 있어서, 측벽은 포지티브 경사로 테이퍼진 형태인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 채널 플레이트.
  3. 유전성 투명 기판상에 긴 채널이 있는 PALC 디스플레이용 장치용 플라즈마 채널 플레이트에 있어서, 기판상에 복수의 증착되고 공간진 전기 전도성 전극층이 형성되며, 각각의 전극층상에는 전기 절연층이 증착되고, 각각의 전극층과 절연층은 벽과 유전성 박막 부재에 의해 커버린 채널들중의 하나를 한정하는 2개의 근접된 벽을 형성하며, 각각의 전극층은 근접 채널에서 노출된 전극 표면을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 채널 플레이트.
  4. 제 3 항에 있어서, 각각의 벽은 포지티브 경사로 테이퍼진 형태인 것을 특징으로 하는 플라즈마 채널 플레이트.
  5. 제 4 항에 있어서, 벽은 그 폭이 20 내지 50㎛이며, 높이가 50내지 160㎛이고, 피치가 200 내지 500㎛인 것을 특징으로 하는 플라즈마 채널 플레이트.
  6. 청구항 3항에서 청구된 채널 플레이트와 데이터 전극을 포함하는 제 1 기판 사이에 전자-광학 재료 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마가 어드레스된 디스플레이 장치.
  7. 평판 디스플레이 장치용 채널 플레이트 제작 방법에 있어서, (a) 유전성 투명 기판을 제공하는 단계, (b) 기판상에서 제 1 높이, 기판에 근접된 하부 및, 기판에서 멀고 상기 하부보다 넓은 상부가 있는 절연 재료의 복수의 공간진 벽을 형성하는 단계, (c) 기판상에 절연벽돌 사이에 전극층 제 1 부분을 형성하여 공간지게 하고 절연벽상부에 전극층 제 2 부분을 형성하기 위해 기판위에 걸쳐서 전기 전도재료를 증착하는 단계, (d) 전극층 제 1 부분상에 절연층 제 3 부분과 전극층 제 2 부분상에 절연층 제 4 부분을 형성하기 위해 기판위에 걸쳐서 전기 절연 재료를 증차가는 단계, (e) 절연벽이 기판상에서 제 1 부분, 제 3 부분 뒤로 떨어진 제 2 부분, 제 4 부분과 함께 기판으로 부터 리프트-오프 되는 공정을 실행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 채널 플레이트 제작 방법.
  8. 전자-광학 재료층, 상기 층에 결합되고 상기 층의 활성화되는 부분을 위한 데이터 전압을 수용하도록 된 데이터 전극, 상기 층위에서 스위칭되도록 데이터 전극을 가로질러 확장된 복수의 긴 플라즈마 채널 및, 데이터 전극 측면에서 그 각각이 공간지고 긴 캐소드와 애노드 플라즈마 전극이 있으며 이온화가 가능한 가스로 채워진 플라즈마 채널을 폐쇄하는 유전성 박막을 포함하는 플라즈마가 어드레스된 전자-광학 디스플레이 장치의 플라즈마 채널 제작 방법에 있어서, (a) 유전성 투명 기판을 제공하는 단계, (b) 기판상에 제 1 높이, 기판에 근접된 하부 및, 기판에서 멀고 상기 하부보다 넓은 상부가 있는 절연 재료의 복수의 공간진 벽을 형성하는 단계, (c) 기판상에 절연벽들 사이에 전극층 제 1 부분을 형성하여 공간지게 하고 절연벽 상부에 전극층 제 2 부분을 형성하기 위해 기판위에 걸쳐서 전기 전도 재료를 증착하는 단계, (d) 전극층 제 1 부분상에 절연층 제 3 부분과 전극층 제 2 부분상에 절연층 제 4 부분을 형성하기 위해 기판위에 걸쳐서 전기 절연 재료를 증착하는 단계, (e) 절연벽이 기판상에서 제 1 부분, 제 3 부분상에 유전성 박막 부재를 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마가 어드레스된 전자-과학 디스플레이 장치의 플라즈마 채널 제작 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970703522A 1995-09-28 1996-09-19 평판 디스플레이용 채널 플레이트와 그 플레이트 제작 방법(A channel plate for a flat display, and a method for making such a plate) KR980700593A (ko)

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US08/535,697 US6057895A (en) 1995-09-28 1995-09-28 Plasmas addressed liquid crystal display with deposited plasma channels with tapered edges
US535,697 1995-09-28

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EP (1) EP0795144A1 (ko)
JP (1) JPH10510067A (ko)
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