KR980005632A - 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 제조방법 - Google Patents
액정표시소자용 박막 트랜지스터의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 액정표시소자에 사용되는 백-채널-에치드(Back-Chanel-Etched:BCE)형 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 제조방법을 개시한다. 이 방법은 유리기판상에 게이트 전극을 형성하는 단계; 게이트 전극을 절연하는 제1, 제2게이트 절연층을 형성하는 단계; 제2게이트 절연층 상에 비정질 반도체 층, n+불순물 함유 비정질 반도체층, 금속층을 소정 두께로 증착하는 단계; 소정 분위기에서 열처리하여 금속과 비정질 반도체층과의 화합물인 실리사이드층을 형성하는 단계; 적층된 실리사이드층, n+불순물 함유비정질 반도체층, 비정질 반도체층, 제2게이트 절연층을 사진식각법으로 식각하여 패턴을 형성하는 단계; 제1게이트 전극상의 소정 부분에 투명화소전극을 형성하는 단계; 소오스, 드레인 전극 및 수분침투를 방지하기 위한 보호층을 형성하는 단계를 포함한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 내지 제4도는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 제조방법을 나타내는 단면도.
Claims (6)
- 유리기판상에 게이트 전극을 형성하는 단계; 상기 게이트 전극을 절연하는 제1, 제2게이트 절연층을 형성하는 단계; 상기 제2게이트 절연층 상에 비정질 반도체 층,n+불순물 함유 비정질 반도체 층, 금속층을 소정 두께로 증착하는 단계; 소정 분위기에서 열처리하여 상기 금속과 비정질 반도체층과의 화합물인 실리사이드층을 형성하는 단계; 상기 적층된 실리사이드층, n+불순물 함유 비정질 반도체층, 비정질 반도체층, 제2게이트 절연층을 사진식각법으로 식각하여 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1게이트 전극상의 소정 부분에 투명화소전극을 형성하는 단계; 소오스, 드레인 전극 및 수분 침투를 방지하기 위한 보호층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 게이트 전극은 Cr, MoTa, MoW로 이루어지는 그룹중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 박막 트랜지스터.
- 제1항에 있어서, 상기 반도체는 실리콘인 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 보호금속막은 Mo 또는 Cr인 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 보호금속막은 스퍼터링법에 의하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 열처리 온도는 150 내지 250℃인 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 박막 트랜지스터.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960026288A KR980005632A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960026288A KR980005632A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005632A true KR980005632A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66241500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960026288A KR980005632A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 액정표시소자용 박막 트랜지스터의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005632A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486719B1 (ko) * | 1998-12-12 | 2005-08-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치및그제조방법 |
-
1996
- 1996-06-29 KR KR1019960026288A patent/KR980005632A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486719B1 (ko) * | 1998-12-12 | 2005-08-17 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치및그제조방법 |
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