KR980005396A - 이온 빔 가공장치 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 스팀 가스를 포함하는 보조 가스를 활용하여 집속 이온 빔으로 가공을 수행하기 위한 것이다. 스팀 가스를 포함하는 보조가스를 활용하는 집속 이온 빔에 의한 가공 작동에 있어서, 스팀 가스를 공급하는 방법에 따라, 상기 스팀 가스는 염수화물로부터 공급되며, 스팀 가스의 압력은 염수화물의 온도를 제어함으로써 제어된다. 스팀 가스를 공급하기 위한 방법에 따라, 상기 스팀 가스가 진공 챔버내로 도입될 경우, 그 유속은 물의 증기 압력이 매우 높은 관계로 제어 밸브에 의해 제어될 필요가 있으며, 이것은 복합 가스 공급 시스템에 상당하여, 고가의 장비로 된다. 그러나, 저압의 스팀 증기가 염수화물을 활용함에 의해 공급되어, 상기 진공 챔버로의 가스의 도입은 마찰 파이프를 통해 상기 가스를 통과함에 따라 최적 실행되게 되어, 도입 가스량은 상기 염수화물의 최적 온도가 저가의 온도 콘트롤러에 의해 제어되는 간단한 시스템에 의해 제어되게 된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일 실시예를 도시한 도면이다.
Claims (5)
- 이온 공급원으로 부터 생성된 이온은 진공펌프에 의해 뽑아 내어진 진공 탱크내의 이온 렌즈 시스템에 의해 집속 이온 빔으로 밀집되며, 상기 집속 이온 빔은 스캐닝 전국에 의해 조사되며, 샘플로 부터 방사된 2차 입자는 검출기에 의해 검출되며, 상기 검출기로 부터의 신호는 AD 변환기를 경유하여 디스플레이 장치로 공급됨으로써, 상기 샘플을 이미징하게 되며, 이온 빔 가공이 이미징의 결과를 기초로 한 설정 영역에 관련하여 수행되는 집속 이온 빔 가공장치에 있어서, 설정 영역으로 스팀가스를 포함하는 최소의 보조 가스를 공급하기 위해 보조 가스를 블로우하기 위한 노즐로 구성된 가스 인젝터를 가지는 보조 가스 공급 유닛과, 에칭 가스 공급원을 구성하는 하나 이상의 리저버와, 상기 적어도 하나의 리저버를 가열하기 위한 히터와, 상기 리저버의 온도를 측정하기 위한 온도 센서와, 온도 콘트롤러로서, 상기 온도 센서의 측정치와 상기 온도 콘트롤러와 상기 가스 인젝터 사이에 인스톨된 값을 기초로 상기 리저버의 온도를 제어하기 위한 히터 온도 콘트롤러와, 상기 히터와 상기온도 센서가 설치된 상기 리저버내로 충전된 상기 스팀 가스를 공급하기 위한 염수화물과, 상기 염수화물을 가열함으로써 공급된 설정 영역에 블로우하기 위한 스팀 가스를 포함하며, 상기 스팀 가스의 량은 상기 온도 센서, 상기 히터 및 상기 온도 콘트롤러에 의해 상기 리저버의 온도를 제어함으로써 제어되는 것을 특징으로 하는 집속 이온 빔 가공장치.
- 기판상에 형성된 필름 패턴을 보정하기 위한 집속 이온 빔 가공방법에 있어서, 마스크 패턴을 가지는 샘플의 특정 영역에서 스캐닝 집속 이온 빔을 가지고 조사하며; 습증기를 생성하기 위한 리저버내에 저장된 염수화물을 가열하며; 습증기의 생성량을 제어하기 위해 상기 가열을 제어하며; 상기 접속 이온 빔을 조사함과 동시에 상기 샘플의 특정 영역에 가스 인젝터로부터의 상기 습증기를 지향하는 것을 포함하는 집속 이온 빔 가공방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 습증기는 할로겐 증기를 함유하는 것을 특징으로 하는 집속 이온 빔 가공방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 염수화물은 요오드화 철(FeI 2 nH 2 O)인 것을 특징으로 하는 집속 이온 빔 가공방법.
- 제 3 항에 있어서, 상기 할로겐 증기는 요오드 증기인 것을 특징으로 하는 집속 이온 빔 가공방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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