KR970077458A - 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법 - Google Patents

웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법 Download PDF

Info

Publication number
KR970077458A
KR970077458A KR1019960017382A KR19960017382A KR970077458A KR 970077458 A KR970077458 A KR 970077458A KR 1019960017382 A KR1019960017382 A KR 1019960017382A KR 19960017382 A KR19960017382 A KR 19960017382A KR 970077458 A KR970077458 A KR 970077458A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wafer
chuck
lifter
floating
gas passage
Prior art date
Application number
KR1019960017382A
Other languages
English (en)
Inventor
이우정
Original Assignee
김주용
현대전자산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김주용, 현대전자산업 주식회사 filed Critical 김주용
Priority to KR1019960017382A priority Critical patent/KR970077458A/ko
Publication of KR970077458A publication Critical patent/KR970077458A/ko

Links

Abstract

이 발명은 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법에 관한 것으로, 척과의 접촉에 의해 발생될 수 있는 웨이퍼의 파티클 오염과 디포커스를 방지하고자 한다. 궁극적으로 공정의 중단에 따른 생산성 저하를 극복할 수 있다. 이를 위하여, 이 발명은 이송장치로부터 웨이퍼(2)를 픽업하는 리프터(3)가 설치된 척(10)에 바큠 통로(11)와 가스 통로(12)를 형성하여, 상기 웨이퍼에 동일한 바큠압과 블로우압을 가함으로써, 상기 척과의 사이에 미세한 갭을 유지한 상태로, 상기 웨이퍼가 지지되도록 한다.

Description

웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 이 고안에 의한 웨이퍼용 플로팅 척을 보인 것으로, (가)도는 정면도,(나)도는 사용 상태도로서의 우측면도.

Claims (5)

  1. 이송장치로부터 공급되는 웨이퍼를 픽업하는 리프터와; 상기 리프터에 픽업된 상기 웨이퍼에 동일한 압력의 바큠압과 블로우압을 가하여, 상기 리프터가 리트렉트된 때, 상기 웨이퍼와 상기 척의 사이에 미세한 갭을 형성한 상태로 상기 웨이퍼를 지지하는 플로팅수단; 상기 리프터와 프로팅수단을 지지하며, 웨이퍼 스테이지에 고정되는 바디를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼용 프로팅 척.
  2. 제1항에 있어서, 플로팅수단은 바큠암을 발생하는 바큠 통로와, 블로우압을 발생하는 가스 통로로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 프롤팅 척.
  3. 제2항에 있어서, 바큠 통로와 가스 통로는 바디의 둘레에 서로 교번하도록 복수개가 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 플로팅 척.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 블로우압은 가스 통로에서 분출되는 PN2가수인 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 플로팅 척.
  5. 이송장치로부터 로딩된 웨이퍼를 리프터가 픽업하는 단계와; 상기 리프터가 흡착위치까지 리트렉트된 때, 바큠 통로를 통해 공기를 흡입함과 동시에, 가스 통로를 통해 PN2가스를 분사하는 단계와; 척의 표면과 미세한 갭을 유지하도록 상기 웨이퍼가 지지된 때, 상기 리프터가 척의 내부로 리트렉트되는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼의 비 접촉식 척킹 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960017382A 1996-05-22 1996-05-22 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법 KR970077458A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960017382A KR970077458A (ko) 1996-05-22 1996-05-22 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960017382A KR970077458A (ko) 1996-05-22 1996-05-22 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR970077458A true KR970077458A (ko) 1997-12-12

Family

ID=66219336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960017382A KR970077458A (ko) 1996-05-22 1996-05-22 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR970077458A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030046219A (ko) * 2001-12-05 2003-06-12 주식회사 한본 급속 열처리 장치
KR100392864B1 (ko) * 1999-12-22 2003-07-28 가부시키가이샤 오크세이사꾸쇼 기판반송장치
KR100420983B1 (ko) * 2001-05-04 2004-03-02 주식회사 신성이엔지 웨이퍼 반송 로봇용 핸드

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100392864B1 (ko) * 1999-12-22 2003-07-28 가부시키가이샤 오크세이사꾸쇼 기판반송장치
KR100420983B1 (ko) * 2001-05-04 2004-03-02 주식회사 신성이엔지 웨이퍼 반송 로봇용 핸드
KR20030046219A (ko) * 2001-12-05 2003-06-12 주식회사 한본 급속 열처리 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW357406B (en) Method and apparatus for cleaning and drying a substrate
SG98382A1 (en) Device and process for liquid treatment of wafer-shaped articles
KR970012897A (ko) 성막 장치 및 성막 방법
KR950034488A (ko) 반도체 제조장치 및 반도체장치의 제조방법과 반도체장치
EP0790200B1 (en) A device for conveying empty bottles in a hanging arrangement
SE8603993L (sv) Anordning for kontaktlos stabilisering och stodande av en rorlig bana
KR101865594B1 (ko) 반도체 장비 부품의 세정 장치 및 방법
CA2287889A1 (en) A blow box to be used in the drying section of a paper machine and a method for tightening a pocket provided with a blow box in the drying section of a paper machine
CN105083989A (zh) 无需接触抓取基底的装置
KR970077458A (ko) 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법
GB9929578D0 (en) Bin cleaning apparatus
JP4488590B2 (ja) 被加工物の分割方法
JP4746802B2 (ja) 洗浄装置
JP5040795B2 (ja) 非接触搬送装置
BR9405946A (pt) Processo para embalagem de artigo empilhado
AU2535100A (en) Method and device for blow-moulding containers
JP2006272298A (ja) 容器洗浄装置
ES2189708T3 (es) Valvula.
JPH04242954A (ja) ウェーハチャック
KR100419004B1 (ko) 반도체 폴리싱 장치에서의 웨이퍼 마운팅 및 디마운팅 장치
JPS62201726A (ja) 搬送装置
KR970077136A (ko) 웨이퍼 척을 갖춘 웨이퍼 에지 그라인딩 장치
JPH07120151A (ja) 乾燥装置
KR100582676B1 (ko) 더스트 캡 장치
KR20040081618A (ko) 웨이퍼 라벨링 장비

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application