KR970077458A - 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법 - Google Patents
웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법 Download PDFInfo
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 claims 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract 1
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Abstract
이 발명은 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법에 관한 것으로, 척과의 접촉에 의해 발생될 수 있는 웨이퍼의 파티클 오염과 디포커스를 방지하고자 한다. 궁극적으로 공정의 중단에 따른 생산성 저하를 극복할 수 있다. 이를 위하여, 이 발명은 이송장치로부터 웨이퍼(2)를 픽업하는 리프터(3)가 설치된 척(10)에 바큠 통로(11)와 가스 통로(12)를 형성하여, 상기 웨이퍼에 동일한 바큠압과 블로우압을 가함으로써, 상기 척과의 사이에 미세한 갭을 유지한 상태로, 상기 웨이퍼가 지지되도록 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 이 고안에 의한 웨이퍼용 플로팅 척을 보인 것으로, (가)도는 정면도,(나)도는 사용 상태도로서의 우측면도.
Claims (5)
- 이송장치로부터 공급되는 웨이퍼를 픽업하는 리프터와; 상기 리프터에 픽업된 상기 웨이퍼에 동일한 압력의 바큠압과 블로우압을 가하여, 상기 리프터가 리트렉트된 때, 상기 웨이퍼와 상기 척의 사이에 미세한 갭을 형성한 상태로 상기 웨이퍼를 지지하는 플로팅수단; 상기 리프터와 프로팅수단을 지지하며, 웨이퍼 스테이지에 고정되는 바디를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼용 프로팅 척.
- 제1항에 있어서, 플로팅수단은 바큠암을 발생하는 바큠 통로와, 블로우압을 발생하는 가스 통로로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 프롤팅 척.
- 제2항에 있어서, 바큠 통로와 가스 통로는 바디의 둘레에 서로 교번하도록 복수개가 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 플로팅 척.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 블로우압은 가스 통로에서 분출되는 PN2가수인 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 플로팅 척.
- 이송장치로부터 로딩된 웨이퍼를 리프터가 픽업하는 단계와; 상기 리프터가 흡착위치까지 리트렉트된 때, 바큠 통로를 통해 공기를 흡입함과 동시에, 가스 통로를 통해 PN2가스를 분사하는 단계와; 척의 표면과 미세한 갭을 유지하도록 상기 웨이퍼가 지지된 때, 상기 리프터가 척의 내부로 리트렉트되는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼의 비 접촉식 척킹 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960017382A KR970077458A (ko) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960017382A KR970077458A (ko) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970077458A true KR970077458A (ko) | 1997-12-12 |
Family
ID=66219336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960017382A Ceased KR970077458A (ko) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970077458A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030046219A (ko) * | 2001-12-05 | 2003-06-12 | 주식회사 한본 | 급속 열처리 장치 |
| KR100392864B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2003-07-28 | 가부시키가이샤 오크세이사꾸쇼 | 기판반송장치 |
| KR100420983B1 (ko) * | 2001-05-04 | 2004-03-02 | 주식회사 신성이엔지 | 웨이퍼 반송 로봇용 핸드 |
-
1996
- 1996-05-22 KR KR1019960017382A patent/KR970077458A/ko not_active Ceased
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100392864B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2003-07-28 | 가부시키가이샤 오크세이사꾸쇼 | 기판반송장치 |
| KR100420983B1 (ko) * | 2001-05-04 | 2004-03-02 | 주식회사 신성이엔지 | 웨이퍼 반송 로봇용 핸드 |
| KR20030046219A (ko) * | 2001-12-05 | 2003-06-12 | 주식회사 한본 | 급속 열처리 장치 |
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Legal Events
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| A201 | Request for examination | ||
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 19960522 |
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| PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 19960522 Comment text: Request for Examination of Application |
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| PG1501 | Laying open of application | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 19990127 Patent event code: PE09021S01D |
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Patent event date: 19990426 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 19990127 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |