KR970077458A - 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법 - Google Patents

Abstract

이 발명은 웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법에 관한 것으로, 척과의 접촉에 의해 발생될 수 있는 웨이퍼의 파티클 오염과 디포커스를 방지하고자 한다. 궁극적으로 공정의 중단에 따른 생산성 저하를 극복할 수 있다. 이를 위하여, 이 발명은 이송장치로부터 웨이퍼(2)를 픽업하는 리프터(3)가 설치된 척(10)에 바큠 통로(11)와 가스 통로(12)를 형성하여, 상기 웨이퍼에 동일한 바큠압과 블로우압을 가함으로써, 상기 척과의 사이에 미세한 갭을 유지한 상태로, 상기 웨이퍼가 지지되도록 한다.

Description

웨이퍼용 플로팅 척 및 그를 이용한 비 접촉식 척킹방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 이 고안에 의한 웨이퍼용 플로팅 척을 보인 것으로, (가)도는 정면도,(나)도는 사용 상태도로서의 우측면도.

Claims (5)

1. 이송장치로부터 공급되는 웨이퍼를 픽업하는 리프터와; 상기 리프터에 픽업된 상기 웨이퍼에 동일한 압력의 바큠압과 블로우압을 가하여, 상기 리프터가 리트렉트된 때, 상기 웨이퍼와 상기 척의 사이에 미세한 갭을 형성한 상태로 상기 웨이퍼를 지지하는 플로팅수단; 상기 리프터와 프로팅수단을 지지하며, 웨이퍼 스테이지에 고정되는 바디를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼용 프로팅 척.
2. 제1항에 있어서, 플로팅수단은 바큠암을 발생하는 바큠 통로와, 블로우압을 발생하는 가스 통로로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 프롤팅 척.
3. 제2항에 있어서, 바큠 통로와 가스 통로는 바디의 둘레에 서로 교번하도록 복수개가 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 플로팅 척.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 블로우압은 가스 통로에서 분출되는 PN₂가수인 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 플로팅 척.
5. 이송장치로부터 로딩된 웨이퍼를 리프터가 픽업하는 단계와; 상기 리프터가 흡착위치까지 리트렉트된 때, 바큠 통로를 통해 공기를 흡입함과 동시에, 가스 통로를 통해 PN₂가스를 분사하는 단계와; 척의 표면과 미세한 갭을 유지하도록 상기 웨이퍼가 지지된 때, 상기 리프터가 척의 내부로 리트렉트되는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼의 비 접촉식 척킹 방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.