JP2686132B2 - キャリア乾燥装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 洗浄したキャリヤを乾燥させる装置に関し、清浄度の
向上及び乾燥効率の向上を可能とすることを目的とし、 内側面に溝を備えてなるキャリアを乾燥させるための
キャリア乾燥装置であって、所定位置にセットされた上
記キャリアの内部に進入するように配設された内側ノズ
ルと、前記所定位置にセットされた上記キャリアの外側
面に対向するように配設された外側ノズルと、上記内側
ノズル及び外側ノズルを水平方向に繰り返し往復移動さ
せると共に垂直方向に移動させるノズル移動機構とを有
し、上記各ノズルより噴射された気体流が上記キャリア
の内側面及び外側面を走査するよう構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明はキャリヤを乾燥させる装置に関する。

ウェハ処理においては、ウェハの各工程間の搬送を行
うために、複数枚のウェハを面対向させて収納する容器
であるキャリヤが使用される。

ウェハ表面を汚染しないように、キャリヤは使用時に
は清浄であることが必要ある。従って使用後、キャリヤ
は水洗されて清浄な状態とされ、その後乾燥した後、ス
トッカに収容されて次の使用に供される。

ここで、水滴が一部付着していつまでも残るとこれが
汚れの原因となるため、まず水滴の除去が完全である必
要がある。

また、使用済キャリヤの数は多く、これらについて一
つずつ洗浄と乾燥を順次行うため、作業能率上乾燥は短
時間で完了することが望ましい。

〔従来の技術〕

第４図は従来例を示す。

従来はブロワー1,2からの温風を矢印で示すように洗
浄済のキャリヤ３に当てて乾燥させていた。キャリヤ３
は合成樹脂製であり、水分が浸透する。

キャリヤ３のウェハを二点鎖線で示すように支持する
ための溝４は、幅Ｗが２〜3mmと狭く、深さｄが5mmと深
いものであり、水切れが良くなく、溝４の奥に水滴が残
り易い。

〔発明が解決しようとする課題〕

ブロワー1,2からの温風を当てるだけでは上記溝４内
の水滴を吹き飛ばすことは困難であり、結果として乾燥
ムラが生じてしまい、洗浄度が低下してしまう。

また乾燥に時間もかかってしまう。

本発明は洗浄度の向上及び乾燥効率の向上を可能とす
るキャリヤ乾燥装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、内側面に溝を備えてなるキャリアを乾燥さ
せるためのキャリア乾燥装置であって、所定位置にセッ
トされた上記キャリアの内部に進入するように配設され
た内側ノズルと、前記所定位置にセットされた上記キャ
リアの外側面に対向するように配設された外側ノズル
と、上記内側ノズル及び外側ノズルを水平方向に繰り返
し往復移動させると共に垂直方向に移動させるノズル移
動機構とを有し、上記各ノズルより噴射された気体流が
上記キャリアの内側面及び外側面を走査するよう構成し
たものである。

〔作用〕

ノズル移動機構により、各ノズルよりの気体流がキャ
リヤの内側面及び外側面を満遍なく走査する。

これにより、全部の溝に付着している水滴が吹き飛ば
されて除去され、水滴除去が完全となる。

この結果、ムラを生ずることなく乾燥される。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例になる洗浄済キャリヤ乾燥
装置を示す。

10はテーブルであり、四隅をＺ方向移動用エアシリン
ダ11−_１〜11−_４により支持されており、Ｚ方向（高さ
方向）に昇降する。

12は内側ノズルであり、パイプ13の上端に固定してあ
り、キャリヤ３が上方より降下して所定位置にセットさ
れたときに、底面の開口５を通ってキャリヤ３の内部に
進入するように配設してある。

この内側ノズル12は、平面状六角形状をなし、キャリ
ヤ３のうち一方の内側の溝面（Ｘ−Ｚ面）3aに対向して
山形をなす各面に夫々一のノズル孔12−_１,12−_２を有
し、他方の内側の溝面（Ｘ−Ｚ面）3bに対向して山形を
なす各面に夫々一のノズル孔12−_３,12−_４を有する。

14,15は夫々長手方向外側ノズルであり、パイプ16,17
の上端に固定してあり、キャリヤ３の長手方向外側面3c
及び3dに対向する。

このノズル14,15は夫々キャリヤ３の長手方向外側面3
c,3dに対向する側を山形とされ、各面にノズル孔14
−_１,14−_２,15−_１,15−_２を有する。

18,19は夫々端面側外側ノズルであり、パイプ20,21の
上端に固定してあり、キャリヤ３の端面（Ｙ−Ｚ面）3
e,3fに対向する。

このノズル18,19も上記のノズル14,15と同じく、端面
3e,3fに対向する側を山形とされ、各面にノズル孔18−
_１,18−_２,19−_１,19−_２を有する。

各ノズル12,14,15,18,19は同じ高さの位置にある。

また各ノズル12,14,15,18,19は平面図的にはキャリヤ
３に対して第２図に示すように配設してある。

パイプ13,16,17は、同じベース25に立設してある。

パイプ20はベース26に立設してあり、パイプ21はベー
ス27に立設してある。

テーブル10上には、その中央にＸ方向移動用エアシリ
ンダ28、左右側にＹ方向移動用エアシリンダ29,30が設
けてある。

上記のベース25はエアシリンダ28により移動されるよ
うに、ベース26,27は夫々エアシリンダ29,30により移動
されるように設けてある。

31は圧縮空気源、32,33,34は制御弁、35は制御弁32〜
34を制御する制御装置である。

制御装置35はエアシリンダ28を反復往復移動させ、エ
アシリンダ29,30を同期して反復往復移動させ、且つエ
アシリンダ11−_１〜11−_４をステップ的に移動させるよ
うに制御弁32〜34を制御する。

36は遠赤外線ヒータであり、キャリヤ３の下側に設け
てある。

37は圧縮窒素ガス源、38はフィルタである。

また上記の各ノズル孔12−_１等の径は0.5mmである。

またテーブル10を底面とする四方側面は壁（図示せ
ず）により囲まれており、槽を構成している。

次に上記乾燥装置の動作について説明する。

洗浄済の水滴が付着したキャリヤ３は搬送機構（図示
せず）により搬送されて、ノズル12,14,15,18,19に対し
て第１図及び第２図に示すようにセットされる。

即ち、ノズル12はキャリヤ３の底面開口５を通ってキ
ャリヤ３の内側に入り、内側溝面3a,3bに対向し、ノズ
ル14,15はキャリヤ３の長手方向外側面3c,3dに対向し、
ノズル18,19はキャリヤ３の端面3e,3fに対向する。

この状態で、第１には、弁39が開き、各ノズル12,14,
15,18,19の各ノズル孔12−_１等より窒素ガスを噴射（パ
ージ）させる。窒素ガス流は第２図中符号40を付した矢
印で示す如く、キャリヤ３の内側面及び外側面に斜めに
噴き付けられる。窒素ガス流のガス圧は約2kg/cm²であ
る。

第２には、制御装置35により制御弁32,33,34が制御さ
れる。

制御弁32の動作によって、エアシリンダ28が往復反復
駆動され、制御弁33の動作によってエアシリンダ29,30
が同期して往復反復駆動され、更には制御弁34の動作に
よってエアシリンダ11−_１〜11−_４が下方向にステップ
的に駆動される。

第３には、遠赤外線ヒータ36が動作される。

エアシリンダ28とエアシリンダ11−_１〜11−_４の駆動
により、内側ノズル12は、第３図中矢印で示すように
（第２図中矢印41で示す）、ａ→ｂ→ｃ…ｇ→ｉ→ｊ
と、水平方向上一方向にキャリヤの略全幅に亘って移動
するとＺ方向に一段下がり、その後水平方向上逆方向に
移動し、更に一段下がるようにジグザグ状にＸ−Ｚ面を
移動する。

これにより、ノズル孔12−_１,12−_２よりの窒素ガス
噴射流40がキャリヤ３の一の内側溝面3aを走査し、ノズ
ル孔12−_３,12−_４よりの窒素ガス噴射流40がキャリヤ
３の反対側の内側溝面3bを走査する。

従って、窒素ガス噴射流40が全部の溝４に吹き付けら
れ、且つ溝４の奥部まで吹き付けられ、各溝４の奥部に
付着している水滴までもが吹き飛ばされて除去される。
即ち、水滴の除去は完全となる。

これにより遠赤外線ヒータ36による加熱と相俟って、
キャリヤ３の全部の溝４はムラなく且つ迅速に乾燥され
る。

また、ノズル14,15は上記のノズル12と同様に移動し
てキャリヤ３の長手方向外側面3c,3dをその全面に亘っ
て第２図中矢印42,43で示すように走査する。

これにより、キャリヤ３の長手方向外側面3c,3dに付
着している水滴が完全に吹き飛ばされて除去される。

またノズル18,19はＹ−Ｚ面内でジグザグに移動す
る。第２図中、矢印44,45は夫々移動軌跡を示す。

これにより、キャリヤ３の端面3e,3fに付着している
水滴が完全に吹き飛ばされて除去される。

この結果、洗浄されたキャリヤ３は、完全に水滴を除
去され、乾燥ムラを生ずることなく乾燥され、乾燥され
たキャリヤ３は高い清浄度を有する。

また、圧縮窒素ガス源27の窒素ガスは圧縮空高純度の
ものがよく、更にエアフィルタ38を通しており、キャリ
ヤ乾燥時にパーティクルの増加は無い。尚、この圧縮窒
素ガス源27は、清浄空気や清浄な別の不活性ガスに代え
てもよい。

また遠赤外線ヒータ36を使用しているため、赤外線ヒ
ータを使用した場合に比べて、キャリヤ内に浸透した水
分を除去することが出来、乾燥の効率が向上する。

また乾燥されたキャリヤはストッカ（図示せず）に保
管され、ヘパフィルタを通過したダウンフローφで清浄
度を維持して更に完全に乾燥される。

またキャリヤの内側及び外側の各面に対向させて所定
の間隔で複数のノズルを設けることにより上記と同様の
効果が得られるが、この場合には必要なノズルの数が増
えてしまい好ましくない。

〔発明の効果〕

以上説明した様に、本発明によれば、ノズルにより噴
射された気体流が溝の全部に対して吹き付けるため、全
部の溝に付着している水滴を完全に吹き飛ばすことが出
来、水滴除去が完全となり、ムラなく乾燥させることが
出来、キャリヤを清浄度良く乾燥させることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例になる清浄済キャリヤ乾燥装
置の概略斜視図、 第２図は乾燥動作時の各ノズルのキャリヤに対する動き
を説明する平面図、 第３図は乾燥動作時の内側ノズルのキャリヤに対する動
きを説明する立面図、 第４図は従来例を示す図である。 図において、 ３はキャリヤ、3a,3bは内側溝面、3c,3dは長手方向外側
面、3e,3fは端面、４はウェハ支持用溝、５は底面開
口、10はテーブル、11−_１〜11−_４はエアシリンダ、12
は内側ノズル、14,15は外側ノズル。18,19は端面側外側
ノズル、28はＸ方向移動用エアシリンダ、29,30はＹ方
向移動用エアシリンダ、31は圧縮空気源、32〜34は制御
弁、35は制御装置、36は遠赤外線ヒータ、37は圧縮窒素
ガス源、38はフィルタ、40は窒素ガス噴射流、41〜45は
ノズルの移動軌跡 を示す。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−189921（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−136336（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−181795（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】内側面に溝（４）を備えてなるキャリア
   （３）を乾燥させるためのキャリア乾燥装置であって、 所定位置にセットされた上記キャリアの内部に進入する
   ように配設された内側ノズル（12）と、 前記所定位置にセットされた上記キャリアの外側面に対
   向するように配設された外側ノズル（14,15,18,19）
   と、 上記内側ノズル及び外側ノズルを水平方向に繰り返し往
   復移動させると共に垂直方向に移動させるノズル移動機
   構（28,30,11−１〜11−４）とを有し、 上記各ノズルより噴射された気体流（40）が上記キャリ
   ア（３）の内側面（3a,3b）及び外側面（3c,3d,3e,3f）
   を走査することを特徴とするキャリア乾燥装置。