KR970077122A - 기판의 인도 방법 및 노광 장치 - Google Patents
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Abstract
기판을 기판 홀더에 인도할 때의 기판의 위치 오차 발생을 확실히 억제한다.
기판 W가 반송 암(제3도에서는 도시되지 않음)에 보존되어 인도 위치까지 반송되면, 이 인도 위치에 반송된 기판의 경사가 계측 수단(52A,52B,52C,52D)에 의해 계측되고, 이 계측 결과에 근거하여 기판 홀더 34의 기판과의 접촉이 기판 W와 평행이 되도록 기판 홀더 34의 경사가 조정되고, 그 후, 센터 엎 56이 하강되어 기판 W가 기판 홀더 34상에 올려진다. 이로 인하여, 기판 홀더로 기판 인도를 실시할 때에, 기판 홀더의 기판 접촉면의 경사각과 기판의 경사각의 차가 0이 되어, 이 각도차에 기인하여 기판 홀더로의 인도될 때에 발생되는 기판의 위치 오차를 확실히 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 웨이퍼 상하동 가구 및 레벨링 센서의 개략 구성을 도시한 도면이다.
Claims (8)
- 스테이지상에 설치된 기판 홀더에 기판을 인도하는 기판 인도방법에 있어서, 소정 인도 위치에 반송된 상기 기판 홀더와의 상대적인 경사를 계측하는 제1공정; 상기 인도 위치에 기판을 반송하는 제2공정; 상기 1공정의 게측결과에 근거하여, 상기 기판홀더의 기판과의 접촉면이 상기 인도위치에 반송된 기판과 평행하도록, 상기 인도 위치에 반송된 기판 및 상기 기판 홀더중 적어도 한쪽 경사를 조정하는 제3공정; 및 이어서, 상기 기판 및 기판 홀더의 경사를 유지한 상태에서 상기 기판을 상기 기판 홀더상에 놓는 제4공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 인도 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1공정은, 상기 인도위치에 기판이 반송된 후에 실시되는 것을 특징으로 하는 기판 인도방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1공정은, 상기 기판 홀더 및 상기 기판 홀더에 기판을 인도하기 위한 인도 기구의 조립 조정시에 실시되는 것을 특징으로 하는 기판의 인도방법.
- 제3항에 있어서, 상기 1공정에 있어서, 상기 상대적인 경사 계측은 광전 콜리메이터 또는 수포식 수준기로 실시하는 것을 특징으로 하는 기판 인도방법.
- 마스크에 형성된 패턴을 투영 광학계를 매개하여 감광 기판상의 투영 노광하는 노광장치에 있어서, 2차원 면내에서 이동 가능한 스테이지; 상기 스테이지상에 탑재되고, 상기 투영 광학계의 광축 방향의 이동 및 광축에 대한 경사가 조정가능한 기판 테이블; 상기 기판 테이블 상에 탑재되고, 상기 감광기판이 놓여지는 기판홀더; 상기 감광 기판을 소정 인도 위치까지 반송하는 반송 암; 상기 반송 암과 상기 기판 홀더간의 상기 감광 기판의 인도를 실시하는 인도수단; 상기 감광기판의 경사를 계측하는 계측수단; 및 상기 인도수단에 의해 상기 감광기판이 상기 기판 홀더에 인도될 때마다, 그 인도되는 도중에 상기 계측 수단을 이용하여 상기 감광기판의 경사를 계측하고, 그 계측 결과에 근거하여 상기 기판 홀더의 기판과의 접촉면이 상기 감광 기판과 평행하도록 상기 기판 테이블의 경사를 조정하는 제어 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제5항에 있어서, 상기 제어수단을 대신하여, 상기 계측수단을 이용하여 상기 감광 기판의 경사 계측을 미리 한번 실시함과 동시에, 상기 감광 기판이 상기 기판홀더에 인도될 때마다, 그 인도되는 도중에 상기 기판 홀더의 기판과의 접촉면이 상기 감광 기판과 평행해지도록 상기 경사 계측의 결과를 이용하여 상기 기판 테이블의 경사를 조정하는 제2제어 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 계측수단은, 상기 감광 기판 표면의 복수 개소의 상기 광축 방향 위치를 검출하는 다점 초점 위치 검출기구인 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 계측수단은, 상기 감광 기판 표면에 상기 투영 광확계의 광축에 대해 비스듬한 방향에서 평행 광속을 조사하고, 그 반사 광속의 수광위치에 근거하여 상기 감광 기판의 경사를 검출하는 레벨링 검출기구인 것을 특징으로 하는 노광장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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- 1997-05-26 KR KR1019970020697A patent/KR970077122A/ko not_active Application Discontinuation
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