KR970077073A - 반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법 - Google Patents

반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법 Download PDF

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김광호
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

반도체 소자 제조장치별로 웨이퍼를 이송하는 캐리어 및 캐리어 이송박스에 흡착되어 있는 불순물에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하는 반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 캐리어 및 캐리어 이송박스에 웨이퍼를 실어서 반도체 소자 공정별 장치로의 이송이 이루어지는 반도체 제조 공정에 있어서, 상기 캐리어 및 캐리어 이송박스를 금속공정후 오염되지 않은 것으로 교체시킴을 구비하여 이루어진다.
따라서, 웨이퍼가 오염되는 것을 방지할 수 있다는 효과가 있다.

Description

반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예가 이루어지는 반도체 소자 제조 공정도이다.

Claims (1)

  1. 캐리어 및 캐리어 이송박스에 웨이퍼를 실어서 반도체 소자 공정별 장치로의 이송이 이루어지는 반도체 제조 공정에 있어서, 상기 캐리어 및 캐리어 이송박스를 금속공정 후 오염되지 않은 것으로 교체시킴을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960016211A 1996-05-15 1996-05-15 반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법 KR970077073A (ko)

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