KR970077073A - 반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법 - Google Patents
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Abstract
반도체 소자 제조장치별로 웨이퍼를 이송하는 캐리어 및 캐리어 이송박스에 흡착되어 있는 불순물에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하는 반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 캐리어 및 캐리어 이송박스에 웨이퍼를 실어서 반도체 소자 공정별 장치로의 이송이 이루어지는 반도체 제조 공정에 있어서, 상기 캐리어 및 캐리어 이송박스를 금속공정후 오염되지 않은 것으로 교체시킴을 구비하여 이루어진다.
따라서, 웨이퍼가 오염되는 것을 방지할 수 있다는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예가 이루어지는 반도체 소자 제조 공정도이다.
Claims (1)
- 캐리어 및 캐리어 이송박스에 웨이퍼를 실어서 반도체 소자 공정별 장치로의 이송이 이루어지는 반도체 제조 공정에 있어서, 상기 캐리어 및 캐리어 이송박스를 금속공정 후 오염되지 않은 것으로 교체시킴을 특징으로 하는 반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960016211A KR970077073A (ko) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1019960016211A KR970077073A (ko) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR970077073A true KR970077073A (ko) | 1997-12-12 |
Family
ID=66219472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960016211A KR970077073A (ko) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 반도체 제조공정의 웨이퍼 오염방지 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR970077073A (ko) |
-
1996
- 1996-05-15 KR KR1019960016211A patent/KR970077073A/ko not_active Application Discontinuation
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