KR970063649A - 웨이퍼 이송장치 및 이송방법 - Google Patents
웨이퍼 이송장치 및 이송방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 이송장치 및 이송방법에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 웨이퍼 이송장치는 이동 및 정지간에 무게중심과 질량중심이 동일한 부분을 한 구성요소로 하는 수단을 구비하는 웨이퍼 이송장치에 있어서, 상기 수단은 상기 무게중심과 질량중심이 동일한 부분대신에 상기 무게중심과 질량중심이 최대한 이격된 부분을 한 구성요소로 구비하는 다관절 암인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 웨이퍼 이송장치는 웨이퍼를 세로로 세워서 이송하는 다관절 암을 구비한다. 이와 같은 다관절 암을 사용하여 웨이퍼를 종래와 달리 수직으로 세워서 이송하면, 공정진행중에 오염입자가 웨이퍼 상에 적층되는 것을 크게 줄일 수 있다. 또한, 웨이퍼 자중에 의한 웨이퍼중앙의 쳐짐을 예방할 수 있다. 더우기 웨이퍼를 세워서 취급하므로 이송장치가 차지하는 면적이 종래 이송장치가 차지하는 면적보다 작다. 따라서 종래와 동일한 작업라인이라도 종래보다 많은 이송장치를 설치할 수 있으므로 생산성을 높일 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (4)
- 이동 및 정지간에 무게중심과 질량중심이 동일한 부분을 한 구성요소로 하는 수단을 구비하는 웨이퍼 이송장치에 있어서, 상기 수단은 상기 무게중심과 질량중심이 동일한 부분대신에 상기 무게중심과 질량중심이 최대한 이격된 부분을 한 구성요소로 구비하는 다관절 암인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
- 제1항에 있어서, 상기 무게중심과 질량중심이 최대한 이격된 부분은 상기 다관절 암의 끝부분인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
- 웨이퍼의 무게중심과 질량중심을 항상 일치시키는 웨이퍼 이송방법에 있어서, 상기 무게중심과 질량중심을 최대한 이격시키는 수단을 사용하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송방법.
- 제3항에 있어서, 상기 수단으로는 세로로 세워서 웨이퍼를 이송하는 다관절 암을 사용하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004466A KR970063649A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 웨이퍼 이송장치 및 이송방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960004466A KR970063649A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 웨이퍼 이송장치 및 이송방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970063649A true KR970063649A (ko) | 1997-09-12 |
Family
ID=66222086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960004466A KR970063649A (ko) | 1996-02-24 | 1996-02-24 | 웨이퍼 이송장치 및 이송방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970063649A (ko) |
-
1996
- 1996-02-24 KR KR1019960004466A patent/KR970063649A/ko not_active Application Discontinuation
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