KR970075849A - 유체 유량 측정용 열질량 유랑계 - Google Patents

유체 유량 측정용 열질량 유랑계 Download PDF

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Abstract

비교적 낮은 열전도율을 갖는 재질로 제조된 튜브의 길이에 형성되는 높은 열전도율의 4개의 튜브 부재를 갖는 복합 유동 튜브와, 표면상에 형성되고 4개의 튜브부재 각각의 둘레로 연장되는 박막부재와, 그 부재를 브리지회로로 삽입하기 위한 회로와, 유량 튜브, 부재, 및 회로를 포함하는 하우징으로 이루어지는 유체 열질량 유량계가 개시되었다.

Description

유체 유량 측정용 열질량 유량계
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 박막부재를 사용하여 본 발명에 따른 유량계의 바람직한 실시예를 도시한 분해사시도.

Claims (24)

  1. 하우징과; 표면위에 형성되는 2개 이상의 저항성 박막부재를 갖고, 부재들이 배치되는 곳을 제외한 모든 표면 영역에서 상기 하우징에 열적으로 부착되며, 상기 부재들은 열 질량 유량계를 어셈블리하는 동안 상기 부재와 관련된 저항의 선택 및 트리밍을 허용하는 수단을 가지며, 유체를 측정하기 위한 센서 튜브와; 최소한 몇 개의 상기 부재들에 일정한 전류를 공급하기 위한 전원과; 상기 일정한 전원으로부터 전류를 공급하는 동안 상기 부재에서의 온도변화를 나타내고, 유체 질량 유량에 비례하는 전압변화를 측정하기 위해 상기 부재에 결합되는 전기 회로로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  2. 제1항에 있어서, 상기 각 부재들은 상기 튜브에 형성되는 전기절연층위에 도포된 니켈층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  3. 제1항에 있어서, 상기 튜브는 316스테인레스강 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  4. 제1항에 있어서, 상기 튜브는 상기 부재의 아래에 배치된 니켈 또는 다른 적당한 열전도성 물질의 부분과 튜브의 나머지를 형성하는 316 스테인레스강의 부분을 포함하는 복합체인 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  5. 제1항에 있어서, 상기 전기 회로는 플렉시블 회로를 통해 상기 부재에 결합되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  6. 제1항에 있어서, 상기 전기 회로는 복수의 와이어 리드를 통해서 상기 부재에 연결되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  7. 제6항에 있어서, 상기 와이어 리드는 비전기성 물질 비 열전도성 물질로 형성되고 우수한 전도체로 코팅되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  8. 제5항에 있어서, 상기 플렉시블 회로는 전기전도성 에폭시에 의해 상기 전기 회로에 연결되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  9. 제6항에 있어서, 상기 와이어 리드는 전기 전도성 에폭시에 의해 상기 전기 회로에 연결되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  10. 제5항에 있어서, 상기 플렉시블 회로는 재흐름 납땜에 의해 상기 부재에 연결되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  11. 제6항에 있어서, 상기 와이어 리드는 재흐름 납땜에 의해서 상기 부재에 연결되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  12. 제1항에 있어서, 상기 하우징은 열전도성이고 동일한 온도에서 상기 모든 열부착 표면영역을 유지하기에 충분히 큰 부피인 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  13. 제1항에 있어서, 상기 하우징은 알루미늄 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  14. 제1항에 있어서, 상기 하우징은 상기 부재 둘레에 얇은 환형 또는 공기 충진된 부피를 형성하도록 형상화되는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  15. 제1항에 있어서, 상기 전기 회로는 4개의 액티브 부재 브리지를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  16. 제1항에 있어서, 상기 전기 회로는 2개의 2-액티브 부재 브리지를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  17. 제1항에 있어서, 상기 튜브는 통상적으로 역 “U” 형의 형태인 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  18. 제1항에 있어서, 상기 튜브는 길고, 통상 직선 튜브인 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  19. 제1항에 있어서, 상기 하우징은 상기 부재가 부착된 곳을 제외한 상기 튜브 다발을 수용하기 위하여 형성된 그루브를 갖는 1개 이상의 조각을 갖는 2개 이상의 짝 조각을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  20. 제1항에 있어서, 상기 박막부재는 니켈층 와이어링 포토리쏘그래피법을 사용하여 형성된 것을 특징으로 하는 유체 유량 측정용 열질량 유량계.
  21. 하우징을 공급하고; 2개 이상의 저항성 박막부재를 갖고, 상기 하우징내에 에워싸이고 상기 부재부재들이 배치되는 것을 제외한 모든 영역에서 상기 하우징에 부착되는 센서 튜브를 공급하고; 1개 이상의 상기 부재들에 일정한 전류를 공급하고; 상기 센서 튜브측으로 유체를 통과시키고; 상기 일정한 전류를 인가하는 동안, 상기 부재에서 온도변화를 나타내는 전압변화를 측정하고; 측정된 전압변화를 유체 질량 유량의 지표로서 사용하는 것을 특징으로 하는 열질량 유량계를 사용한 질량 유량의 측정방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 각 부재들은 각각 열질량 유량계의 조립중에 상기 부재와 관련된 저항의 선택 및 트리밍을 허용하기 위한 다중 통로를 갖는 것을 특징으로 하는 열질량 유량계를 사용한 질량 유량의 측정방법.
  23. 제21항에 있어서, 상기 하우징은 동일한 온도에서 하우징내에 모든 포인트들을 유지하기 위해 전도성인 것을 특징으로 하는 열 질량 유량계를 사용한 질량 유량의 측정방법.
  24. 제21항에 있어서, 상기 박막부재는 상기 부재의 경계면을 규정하기 위해 포토리쏘그래피법을 사용하고 상기 튜브의 전 길이 부분에 걸쳐 니켈층을 도포하는 것에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 열질량 유량계를 사용한 질량 유량의 측정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970020001A 1996-05-23 1997-05-22 유체 유량 측정용 열질량 유랑계 KR970075849A (ko)

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