KR970067595A - 다이아몬드 단결정 박막 제조 방법 - Google Patents
다이아몬드 단결정 박막 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명에 따른 다이아몬드 단결정 박막 제조 방법은 진공 챔버내의 메탄을 포함하는 탄화 수소 가스를 플라즈마 이온 상태로 만드는 단계; 질량 여과기를 이용하여 상기 플라즈마 이온중에서 탄소 이온12C+만을 추출하는 단계; 및 상기 추출된 탄소 이온12C+을 기판에 충돌시켜 기판위에 단결정 다이아몬드 박막을 성장시키는 단계를 포함한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 다이아몬드 단결정 박막 제조 방법을 실시하기 위한 설비를 개략적으로 난타낸 도면이다.
Claims (4)
- 진공 챔버내의 메탄을 포함하는 탄화 수소 가스를 플라즈마 이온 상태로 만드는 단계; 질량 여과기를 이용하여 상기 플라즈마 이온중에서 탄소 이온12C+만을 추출하는 단계; 및 상기 추출된 탄소 이온12C+을 기판에 충돌시켜 기판위에 단결정 다이아몬드 박막을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 다이아몬드 박막 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 탄화 수소 가스는 잔자총으로부터 발생된 전자에 의해 충돌됨으로써 플라즈마 이온상태로 되는 것을 특징으로 하는 단결정 다이아몬드 박막 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 탄소 이온12C-은 4극 질량 여과기에 의해 추출되는 것을 특징으로 하는 단결정 다이아몬드 박막 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 기판에는 음의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 단결정 다이아몬드 박막 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960006321A KR970067595A (ko) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 다이아몬드 단결정 박막 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1019960006321A KR970067595A (ko) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 다이아몬드 단결정 박막 제조 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR970067595A true KR970067595A (ko) | 1997-10-13 |
Family
ID=66216077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1019960006321A KR970067595A (ko) | 1996-03-11 | 1996-03-11 | 다이아몬드 단결정 박막 제조 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR970067595A (ko) |
-
1996
- 1996-03-11 KR KR1019960006321A patent/KR970067595A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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WITN | Withdrawal due to no request for examination |