KR970067595A - 다이아몬드 단결정 박막 제조 방법 - Google Patents

다이아몬드 단결정 박막 제조 방법 Download PDF

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KR1019960006321A
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박영수
김성훈
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김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 다이아몬드 단결정 박막 제조 방법은 진공 챔버내의 메탄을 포함하는 탄화 수소 가스를 플라즈마 이온 상태로 만드는 단계; 질량 여과기를 이용하여 상기 플라즈마 이온중에서 탄소 이온12C+만을 추출하는 단계; 및 상기 추출된 탄소 이온12C+을 기판에 충돌시켜 기판위에 단결정 다이아몬드 박막을 성장시키는 단계를 포함한다.

Description

다이아몬드 단결정 박막 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 다이아몬드 단결정 박막 제조 방법을 실시하기 위한 설비를 개략적으로 난타낸 도면이다.

Claims (4)

  1. 진공 챔버내의 메탄을 포함하는 탄화 수소 가스를 플라즈마 이온 상태로 만드는 단계; 질량 여과기를 이용하여 상기 플라즈마 이온중에서 탄소 이온12C+만을 추출하는 단계; 및 상기 추출된 탄소 이온12C+을 기판에 충돌시켜 기판위에 단결정 다이아몬드 박막을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 다이아몬드 박막 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 탄화 수소 가스는 잔자총으로부터 발생된 전자에 의해 충돌됨으로써 플라즈마 이온상태로 되는 것을 특징으로 하는 단결정 다이아몬드 박막 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 탄소 이온12C-은 4극 질량 여과기에 의해 추출되는 것을 특징으로 하는 단결정 다이아몬드 박막 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 기판에는 음의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 단결정 다이아몬드 박막 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960006321A 1996-03-11 1996-03-11 다이아몬드 단결정 박막 제조 방법 KR970067595A (ko)

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