KR970065778A - 실리콘 단결정 제조장치 - Google Patents

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마사노리 기무라
쇼조 무라오까
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Abstract

실리콘 단결정 제조장치가 도가니, 히터, 전극 및 자석을 포함한다.
복수의 발열부 및 2개의 주전극부 이외에도, 상기 히터는 2 이상의 보조 전극부를 갖는다.
절연성을 갖는 2 이상의 히터 지지부재가 상기 보조전극부를 통해 히터를 지지하도록 제공된다.
히터 지지부재와 전극사이 및 인접한 히터지지부재사이에 존재할 수 있는 발열부의 수는 4 이하이다.
히터의 각 발열부는 25㎜ 이상의 두께를 갖는다.
이 구조는, 히터를 통해 다량의 전류가 흐르는 경우라도, 도가니내의 실리콘 용해물에 고강도의 자장이 인가되는 경우에도, 그리고 히터의 직경이 보다 큰 경우에도, 히터를 파손시킴이 없이 실리콘 단결정을 제조 가능하다.

Description

실리콘 단결정 제조장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 실리콘 단결정 제조장치의 일실시예의 개략단면도.

Claims (5)

  1. 실리콘 용해물을 수용하는 회전도가니; 상기 도가니의 외주연을 둘러싸도록 배치되어 있으며, 복수의 발열부, 직류를 받기 위한 2개의 주전극부 및 2 이상의 보조전극부를 갖는 히터; 절연성을 갖고 상기 보조전극부를 통해 상기 히터를 지지하게 되어 있는 2 이상의 히터 지지부재; 및 상기 도가니내에 포함된 실리콘 융해물에 수평자장을 인가하는 자석;을 포함하여 구성되며, 상기 히터지지부재와 전극사이 및 서로 인접한 히터 지지부재사이에 존재하는 발열부의 수는 4 이하인, 실리콘 단결정 제조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 히터의 발열부 각각은 25㎜ 이상의 두께를 가짐을 특징으로 하는 장치.
  3. 실리콘 융해물을 수용하는 회전도가니; 상기 도가니의 외주연을 둘러싸도록 배치되어 있으며, 복수의 발열부, 직류를 받기 위한 2개의 주전극부 및 2 이상의 보조전극부를 갖는 히터; 절연성을 갖고 상기 보조전극부를 통해 상기 히터를 지지하게 되어 있는 2 이상의 히터 지지부재; 및 상기 도가니내에 포함된 실리콘 융해물에 수평자장을 인가하는 자석;을 포함하고, 상기 히터의 발열부 각각은 25㎜ 이상의 두께를 가지는, 실리콘 단결정 제조장치.
  4. 제3항에 있어서, 히터 지지부재와 전극사이 혹은 서로 인접한 히터 지지부재사이에 존재하는 발열부의 수는 4 이하임을 특징으로 하는 장치.
  5. 실리콘 융해물을 수용하는 회전도가니; 상기 도가니의 외주연을 둘러싸도록 배치되어 있으며, 복수의 발열부, 직류를 받기 위한 2개의 주전극부 및 2 이상의 보조전극부를 갖는 히터; 절연성을 갖고 상기 보조전극부를 통해 상기 히터를 지지하도록 되어 있는 2 이상의 히터 지지부재; 및 상기 도가니내에 포함된 실리콘 융해물에 수평자장을 인가하는 자석;을 포함하여 구성되며, 히터 지지부재와 전극사이 및 서로 인접한 히터지지 부재사이에 존재하는 발열부의 수는 4 이하이며, 히터의 발열부 각각은 25㎜ 이상의 두께를 갖는, 실리콘 단결정 제조장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970010889A 1996-03-27 1997-03-27 실리콘단결정제조장치 KR100482812B1 (ko)

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