KR970063503A - 알루미늄 접촉부용 티타늄 알루미나이드 습윤층 - Google Patents

알루미늄 접촉부용 티타늄 알루미나이드 습윤층 Download PDF

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KR970063503A
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tial
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야오 공다
쑤 젱
키에우 호아
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조셉 스위니
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 개선된 알루미늄 접촉부 및 그 형성 방법에 관한 것으로서, 개구내에서 티타늄 알루미나이드 습윤층을 스퍼터 증착하는 단계와 그위에 알루미늄층을 증착하는 단계를 포함하여 기판내의 개구에 접촉부를 형성하고, 티타늄 알루미나이드 습윤층은 제어된 두께를 갖춘다.

Description

알루미늄 접촉부용 티타늄 알루미나이드 습윤층
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 접촉물의 횡단면도.

Claims (10)

  1. a) 개구의 바닥과 측벽을 커버하도록 시준기를 통해 티타늄 알루미나이드 층을 스퍼터 증착하는 단계와, b) 그위에 알루미늄 층을 스퍼터 증착하는 단계를 연속적으로 포함하는 알루미늄 접촉부 층을 기판의 개구에 증착하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, TiAlx는 X가 1-3인 TiAlx타겟으로부터 스퍼터하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제2항에 있어서, TiAlx가 약 50-500옹그스트롬의 깊이로 스퍼터링되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제2항에 있어서, X가 약 3인 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제2항에 있어서, 알루미늄이 500-550℃의 온도에서 TiAlx층위에 스퍼터 증착되는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제2항에 있어서, 알루미늄이 약 350-400℃의 제1온도에서 TiAlx층위에 스퍼터 증착되고 그리고 이어서 상기 개구를 충전시키도록 500-550℃의 제2온도에서 스퍼터되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 티타늄 질화물이 개구내의 제1층으로서 약 50-200옹그스트롬의 두께로 스퍼터 증착되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 티타늄 질화물이 제1물리 증착 챔버에서 스퍼터되고, 티타늄 알루미나이드가 제2물리 증착 챔버에서 스퍼터되고 그리고 알루미늄이 진공으로 기판을 유지하는 한편 제3물리 증착 챔버에서 스퍼터되는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 약 50-200옹그스트롬 두께의 티타늄 질화물의 제1층, 50-500옹그스트롬 두께를 갖는 X가 1-3인 티타늄 알루미나이드(TiAlx)의 제2층, 및 알루미늄의 제3평탄화된 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 접촉부.
  10. 제9항에 있어서, X가 약 3인 것을 특징으로 하는 알루미늄 접촉부.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970003266A 1996-02-02 1997-02-03 알루미늄 접촉부용 티타늄 알루미나이드 습윤층 KR970063503A (ko)

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EP0788145A2 (en) 1997-08-06
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