KR970052841U - 반도체장비의 케미칼 공급 시스템 - Google Patents
반도체장비의 케미칼 공급 시스템Info
- Publication number
- KR970052841U KR970052841U KR2019960003191U KR19960003191U KR970052841U KR 970052841 U KR970052841 U KR 970052841U KR 2019960003191 U KR2019960003191 U KR 2019960003191U KR 19960003191 U KR19960003191 U KR 19960003191U KR 970052841 U KR970052841 U KR 970052841U
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- supply system
- semiconductor equipment
- chemical supply
- semiconductor
- chemical
- Prior art date
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960003191U KR970052841U (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체장비의 케미칼 공급 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960003191U KR970052841U (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체장비의 케미칼 공급 시스템 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970052841U true KR970052841U (ko) | 1997-09-08 |
Family
ID=60931817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019960003191U KR970052841U (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체장비의 케미칼 공급 시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970052841U (ko) |
-
1996
- 1996-02-27 KR KR2019960003191U patent/KR970052841U/ko not_active Application Discontinuation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ITMI941043A0 (it) | Apparecchiatura per la realizzazione di tracheostoria translaringea | |
| KR970052841U (ko) | 반도체장비의 케미칼 공급 시스템 | |
| KR970052840U (ko) | 반도체장비의 케미칼 공급 시스템 | |
| KR970052833U (ko) | 반도체 제조 장치 | |
| KR970046695U (ko) | 반도체 제조 장비의 케미칼 공급 장치 | |
| KR970003212U (ko) | 반도체 p-5000 장비의 전원 공급 시스템 | |
| KR970025778U (ko) | 반도체 제조장치의 용액 공급장치 | |
| KR970059867U (ko) | 반도체 장비의 웨이퍼 홀더 | |
| KR970007234U (ko) | 반도체 제조장비의 배기장치 | |
| KR970050339U (ko) | 반도체 장치의 가스 공급 시스템 | |
| KR970046897U (ko) | 반도체 제조장비의 히터블럭 | |
| KR970052796U (ko) | 반도체 포토레지스트 도포 시스템 | |
| KR960025257U (ko) | 반도체 제조장비의 배기시스템 | |
| KR980005307U (ko) | 반도체 제조장비의 배기장치 | |
| KR970052842U (ko) | 반도체설비의 온도측정 시스템 | |
| KR970015299U (ko) | 반도체 제조장비의 배기장치 | |
| KR960027779U (ko) | 반도체 제조장비의 냉각수 공급장치 | |
| KR980005370U (ko) | 웨이퍼 건조장치 | |
| KR970056062U (ko) | 에싱장비의 가스공급장치 | |
| KR970059843U (ko) | 웨이퍼의 에칭장치 | |
| KR950031468U (ko) | 반도체 노광장비의 조명계 | |
| KR980005382U (ko) | 반도체 제조장비의 반응로 | |
| KR980005306U (ko) | 반도체 제조장비의 반응로 | |
| KR970052816U (ko) | 반도체 제조 장치 | |
| KR970052819U (ko) | 반도체 제조 장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |