KR970052804U - 반도체 스퍼터링설비의 웨이퍼 홀더 - Google Patents
반도체 스퍼터링설비의 웨이퍼 홀더Info
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960003187U KR970052804U (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체 스퍼터링설비의 웨이퍼 홀더 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960003187U KR970052804U (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체 스퍼터링설비의 웨이퍼 홀더 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970052804U true KR970052804U (ko) | 1997-09-08 |
Family
ID=60931816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019960003187U KR970052804U (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체 스퍼터링설비의 웨이퍼 홀더 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970052804U (ko) |
-
1996
- 1996-02-27 KR KR2019960003187U patent/KR970052804U/ko not_active Application Discontinuation
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