KR970052690A - 웨이퍼 세정장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 스핀드라이기에 고온순수를 반복적으로 분사하면서 고온질소를 불어넣어 건조시키므로서 세정불량에 따른 디펙을 신뢰성있게 감소시키는 웨이퍼 세정장치 및 방법에 관한 것으로, 웨이퍼에 유입되는 질소를 소정높이의 고온으로 하기 위하여 스핀드라이에 연결되는 질소라인의 소정위치에 소정길이만큼 감아 고정한 히팅테이프를 구비한 웨이퍼 세정장치와, 탈이온수에 의해 세척된 웨이퍼를 스핀드라이기상에 장착되는 제1단계; 상기 웨이퍼사에 장착된 웨이퍼에 1차 고온순수를 소정수압으로 좌우 이동시키면서 분사하여 웨이퍼에 달라붙은 디펙을 제거하는 제2단계; 상기 단계수행후 스핀드라이기를 회전시키면서 질소라인에 감겨진 히팅테이프에 의해 가열된 고온의 질소를 유입시켜 1차적으로 건조하는 제3단계; 상기 1차 건조에서 제거되지 않은 세정및 건조불량성 디펙을 제거하기 위해 2차 고온순수를 웨이퍼상에 분사하는 제4단계; 상기 제2단계 내지 제4단계를 소정횟수만큼 반복수행하는 제5단계; 및 상기 제5단계 수행후 최종적으로 회전시켜 건조하는 제6단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 웨이퍼 세정장치 및 방법의 일실시예 구성도.
Claims (2)
- 세정완료된 웨이퍼에 회전력을 가하여 원심력으로 세정순수를 이탈시키는 스핀드라이기를 포함하여 웨이퍼 건조공정을 수행하는 웨이퍼 세정장치에 있어서, 상기 스핀드라이기의 일측에 장착되되, 상기 회전하는 웨이퍼상에 외부로부터 질소를 불어넣어줄수 있도록 공급하는 질소라인; 및 상기 웨이퍼에 유입되는 질소를 소정높이의 고온으로 하기위하여 스핀드라이에 연결되는 질소라인의 소정위치에 소정길이만큼 감아 고정한 히팅테이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장치.
- 세정완료된 웨이퍼에 회전력을 가하여 원심력으로 세정순수를 이탈시키는 스핀드라이기와, 상기 스핀드라이기의 일측에 장착되되, 상기 회전하는 웨이퍼상에 외부로부터 질소를 불어넣어줄 수 있도록 공급하는 질소라인과, 웨이퍼에 유입되는 질소를 소정높이의 고온으로 하기위하여 스핀드라이의 입구측에 연결되는 질소라인에 소정길이만큼 감아 고정한 히팅테이프를 포함하는 웨이퍼 세정장치에 적용되어 탈이온수에 의한 세정과 건조공정시 잔존하는 수용성디펙을 제거하기 위한 웨이퍼 세정방법에 있어서, 탈이온수에 의해 세척된 웨이퍼를 스핀드라이기상에 장착하는 제1단계; 상기 웨이퍼상에 장착된 웨이퍼에 1차 고온순수를 소정수압으로 좌우 이동시키면서 분사하여 웨이퍼에 달라붙은 디펙을 제거하는 제2단계; 상기 단계수행후 스핀드라이기를 회전시키면서 질소라인에 감겨진 히팅테이프에 의해 가열된 고온의 질소를 유입시켜 1차적으로 건조하는 제3단계; 상기 1차 건조에서 제거되지 않은 세정 및 건조불량성 디펙을 제거하기 위해 2차 고온순수를 웨이퍼상에 분사하는 제4단계; 상기 제2단계 내지 제4단계를 소정횟수만큼 반복수행하는 제5단계; 및 상기 제5단계 수행후 최종적으로 회전시켜 건조하는 제6단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950064528A KR970052690A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 웨이퍼 세정장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950064528A KR970052690A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 웨이퍼 세정장치 및 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970052690A true KR970052690A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66623529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950064528A KR970052690A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 웨이퍼 세정장치 및 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970052690A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100375005B1 (ko) * | 2000-07-26 | 2003-03-06 | 한주테크놀로지 주식회사 | 웨이퍼 클리닝 설비 및 이의 클리닝 방법 |
| KR100416298B1 (ko) * | 1998-01-09 | 2004-01-31 | 매트슨 웨트 프로덕츠 게엠베하 | 기판을 건조하기 위한 방법 및 장치 |
-
1995
- 1995-12-29 KR KR1019950064528A patent/KR970052690A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100416298B1 (ko) * | 1998-01-09 | 2004-01-31 | 매트슨 웨트 프로덕츠 게엠베하 | 기판을 건조하기 위한 방법 및 장치 |
| KR100375005B1 (ko) * | 2000-07-26 | 2003-03-06 | 한주테크놀로지 주식회사 | 웨이퍼 클리닝 설비 및 이의 클리닝 방법 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |