CN209303380U - 清洁装置及清洁系统 - Google Patents

Abstract

一种清洁装置及清洁系统，清洁装置包括：清洗剂容纳单元、水泵、待清洗装置、第一通路、第二通路及第三通路；其中，所述清洗剂容纳单元通过所述第一通路与所述水泵连接；所述水泵通过所述第二通路与所述待清洗装置连接；所述待清洗装置通过所述第三通路与所述清洗剂容纳单元连接。通过第一通道、第二通道、第三通道将清洗剂容纳单元、水泵、待清洗装置单元连接，使得水泵抽取所述清洗剂容纳单元内部的清洗剂传送到所述待清洗装置内部，实现清洗，避免拆卸清洗。并且，清洁系统将多个所述清洁装置连接，根据所述清洗剂容纳单元内的清洗剂的不同，可以完成对所述待清洗装置不同程度不同需求的清洗，并且清洗过程连贯，提高清洗效率。

Description

清洁装置及清洁系统

技术领域

本实用新型涉及半导体设备维护领域，特别涉及一种清洁装置及清洁系统。

背景技术

在半导体测试过程中，分选机会用到温度加热器，温度加热器是用来给半导体功能测试时提供所需温度的，温度加热器性能的好坏非常影响测试结果。

温度加热器内部有导热液流通，在长期的使用过程中，所述温度加热器内部管路上会有杂质残留以及氧化物，杂质及氧化物会阻碍导热液的流通，从而影响温度加热器的性能。现有技术中提供的维护清洗方案中需要将所述加热器内部管路拆开然后进行清洗；然而这种清洗方拆卸非常麻烦，清洗效果差，甚至会对待清洗设备造成损害。

因此，极需提供一种清洗维护装置，避免拆卸步骤，减少清洗过程对设备造成的损害。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是清洗温度加热器时，需要拆卸开对内部进行清洗过程中清洗效果差，效率低。

为解决上述问题，本实用新型提供一种清洗剂容纳单元、水泵、待清洗装置、第一通路、第二通路及第三通路；其中，所述清洗剂容纳单元通过所述第一通路与所述水泵连接；所述水泵通过所述第二通路与所述待清洗装置连接；所述待清洗装置通过所述第三通路与所述清洗剂容纳单元连接。

可选的，还包括：控制装置，所述控制装置固定于所述第二通路和/或所述第三通路上。

可选的，所述控制装置为阀门或开关。

可选的，还包括：过滤装置，所述过滤装置设置于所述第三通路。

可选的，还包括：流量监测装置，所述流量监测装置设置在所述第二通路。

还提供一种清洁系统，包括以上任一所述清洁装置，还包括：第一连接通道，连接相邻两个所述第二通路；第二连接通道，连接相邻两个所述第三通路。

可选的，还包括：排液装置，所述排液装置设置在所述第二连接通道上。

可选的，具有两个所述清洁装置。

可选的，还包括：管路风干装置，所述管路风干装置与所述待清洗装置相连通。

可选的，还包括：保压测漏装置，所述保压测漏装置与所述待清洗装置直接相连通。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：

所述第一通路、所述第二通路以及所述第三通路将所述清洗剂容纳单元、所述水泵、所述待清洗装置连接，组成循环通路；所述水泵将所述清洗剂容纳单元内部的清洗剂抽取到循环通路中，从内部清洗到所述待清洗装置。

进一步，提供清洁系统将多个上述清洁装置连通，通过所述第一连接通道，连接相邻两个所述第二通路；通过第二连接通道，连接相邻两个所述第三通路；使得所述清洁系统对所述待清洗装置可以实现多次清洗，根据所述清洗剂容纳单元内的清洗剂的不同，可以完成对所述待清洗装置不同程度不同需求的清洗，并且清洗过程连贯，提高清洗效率。

进一步，还包括：管路风干装置，所述管路风干装置与所述待清洗装置相连通，所述管路风干装置能够吹干所述待清洗装置内部，有利于所述待清洗装置干燥以及保养维护。

进一步，还包括保压测漏装置，所述保压测漏装置与所述待清洗装置直接相连通，所述保压测漏装置确保被清洗后的所述待清洗装置是否有漏气，如果有漏气，可以用气体检测器确定漏点位置，确保所述待清洗装置的应用性能。

附图说明

图1是本实用新型一实施例中提供的清洁装置示意图；

图2是本实用新型另一实施例中提供的清洁装置示意图；

图3是本实用新型一实施提供的清洁系统部分示意图。

具体实施方式

目前，在温度加热器的维护保养过程中，要先将所述温度加热器内部管路拆开，然后浸泡在清洗剂内进行冲洗。

上述方法的清洗过程不利于所述温度加热器内部管路的维护和保养，拆卸过程繁琐，清洗过程复杂且容易损坏设备，没有一种有效的清洁装置对所述温度加热器内部管道进行清洗。

发明人研究发现，需提供一种清洁装置，将清洗剂通过清洁装置在所述温度加热器内部官道上循环清洗，避免拆卸并实现自动清洗。发明人提供一种清洁装置，通过第一通道、第二通道、第三通道将清洗剂容纳单元、水泵、待清洗装置单元连接，通过水泵抽取所述清洗剂容纳单元内部的清洗剂传送到所述待清洗装置内部，实现清洗，提高清洗效率。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。

图1为本实用新型一实施例提供的清洁装置示意图。

如图1所示，一种清洁装置，包括，清洗剂容纳单元300、水泵200、待清洗装置100、第一通路10、第二通路20及第三通路30；其中，所述清洗剂容纳单元300通过所述第一通路10与所述水泵200连接；所述水泵200通过所述第二通路20与所述待清洗装置100连接；所述待清洗装置100通过所述第三通路30与所述清洗剂容纳单元300连接。

所述第一通路10、第二通路20及第三通路30与所述清洗剂容纳单元300、水泵200、待清洗装置100组成循环回路。所述清洗容纳单元300用于盛放清洗剂，通过所述水泵200将所述清洗容纳单元300内部的清洁洗剂抽出，使得所述清洗剂通过所述第一通路10流向所述待清洗装置100，所述清洗剂具有清洁作用，从内部将所述待清洗装置100清洗干净，避免拆卸所述待清洗装置100。

本实施例中，所述待清洗装置100为半导体测试过程中所用到的温度加热器，所述待清洗装置100可以是一个或多个，所以，所述清洗装置可以同时清洁多个所述待清洗装置100，提高了清洗效率。

本实施例中，参考图1中A区域所示，所述清洁装置同时清洁两个所述待清洁装置100。

在其他实施例中，A区域可以相同方式连接三个所述待清洁装置100。

本实施例中，所述清洁装置还包括：控制装置，所述控制装置固定于所述第二通路20和所述第三通路30上；所述控制装置的设置是为了控制所述清洁装置清洗时间和顺序过程，所述控制装置控制不同阀门的开闭，实现不同清理流程切换，控制装置有定时功能，操作者可以单独设定所述控制装置中定时器的时间。

在其他事实例中，所述控制装置固定于所述第二通路20上。

在其他事实例中，所述控制装置固定于所述第三通路30上。

本实施例中，所述控制装置为阀门40，所述阀门40控制所在的通道的开与闭。当所述阀门40全部打开，所述清洁装置开启清洁工作；当所述阀门40有一个关闭，所述清洁装置无法开启清洁工作。

在其他事实例中，所述控制装置为定时开关，控制所在的通道的开与关。

本实施例中，所述清洁装置还包括过滤装置31，所述过滤装置31设置于所述第三通路30。当所述内部的清洁洗剂通过所述待清洗装置100之后，由于所述清洁剂会清洗掉所述待清洗装置100内部沉积的残留物，在循环清洗的过程中，所述残留物会随着所述清洗剂通过所述第三通路30流入所述清洗容纳单元300；为了防止所述清洁装置被二次污染，所述第三通路30上设置的所述过滤装置31过滤所述残留物。

本实施例中，所述清洗剂可以是苹果醋或者清水。苹果醋作为清洗剂，可以有效的溶解内部的氧化物和杂质，并且不腐蚀所述待清洗装置100内部的加热管路；当将第一次清洗结束后，将所述待清洗装置100内的苹果醋被排除，再使用清水清进行第二次清洗，起到进一步清洁作用。

本实施例中，所述清洁装置中还包括流量监测装置101，所述流量监测装置101设置在所述第二通路20。在所述清洗剂被所述水泵200抽入，并通过所述第二通路20流入所述待清洗装置100进行清洗时，所述清洗剂的流量大小影响清洗效率，同时，流量太大有可能会损坏所述待清洗装置100内部管道，所以所述监测装置101安装在所述待清洗装置100相连的所述第二通路上，检测内部清洗剂流量的大小。

参考图2，本实用新型还提供一种清洁系统，包括至少两个上述任意所述清洁装置，还包括：第一连接通道400，连接相邻两个所述第二通路20；第二连接通道500，连接相邻两个所述第三通路30。

所述第一连接通道400以及所述第二连接通道500将两个或多个所述清洁装置相连接，通过控制装置的调节，可以实现多次清洗所述待清洗装置100。

本实施例中，所述清洁系统还包括排液装置50，所述排液装置50设置在所述第二连接通道500上。当所述清洁装置清洗完毕，通过所述排液装置50将循环系统内部的残留液体排出。

本实施例中，所述清洁系统内包括两个所述清洁装置。在所述清洁系统中，两个所述清洁装置的所述清洗容纳单元300内部分别装有苹果醋与清水；装有苹果醋的清洁装置为除垢清洁装置1，装有清水的清洁装置为残液清洁装置2；当所述清洁系统开始清洁工作时，工作过程如下：

通过设置所述控制装置，分别设定所述除垢清洁装置1的所述水泵200以及所述残液清洁装置2的所述水泵201的清洗时间及阀门开闭时刻；当所述除垢清洁装置1清洗时，所述水泵200工作，阀门41、阀门42打开，此时内所述残液清洁装置2的控制装置控制所述水泵201停止，阀门43、44关闭，所述排液装置50的控制阀门45关闭；所述除垢清洁装置1内部循环清洗，到达预设时间时，所述清洁系统自动切换到所述残液清洁装置2开始清洗，此时，所述控制装置控制所述水泵200停止，所述阀门41、阀门42停止，所述水泵201开始工作，所述阀门43、44阀门打开，同时所述控制装置控制阀门45打开，所述水泵201会抽取所述清洗容纳单元300内的清水清洗所述待清洗装置100的内部管路，进一步冲洗所述待清洗装置100的内部管路残留的苹果醋余液，清洗后的废液通过所述阀门45进入所述排液装置50中，排液足够时间钟后，所述控制装置控制所述阀门45关闭，且所述水泵201继续用清水在加热器内部循环，彻底清除残留苹果醋，循环达到预设时间分钟后，所述水泵201自动停止。这样设置清洁过程，可以节约人力，提高清洗质量稳定性。

需要说明的是，本实施例中，上述清洗过程中，所述除垢清洁装置1循环清洗20分钟，所述残液清洁装置2开始清洗后，排液时间为5分钟后，清水在加热器内部循环20分钟；具体的，可以根据操作时的具体情况设置各个步骤的清洗时间。

在其他实施例中，所述清洁系统中可以使用一个所述清洁装置，也就是说所述在清洗过程中，先将所述清洗容纳单元300内部装有苹果醋，然后进行除垢清洁过程，达到预设时间之后，将所述清洗容纳单元300内部换成清水，然后进行残液清洁过程。这样设置，可以节省装置占用空间。

在其他事实例中，所述清洁系统可以使用三个所述清洁装置，可以分别在所述清洗容纳单元300内部放有苹果醋、清水、清水。经过控制装置设置，第一步先经过苹果醋的所述清洁装置除垢清洁足够时间，第二步使用一个清水的清洁装置实现排液清洗，第三步使用另一个清水的清洁装置进行进一步循环清洗。

继续参考图3，为本实用新型一实施提供的清洁系统部分示意图。

本实施例中，所述清洁系统还包括：管路风干装置，所述管路风干装置与所述待清洗装置100相连通。所述管路风干装置为了风干所述待清洗装置100，使得所述待清洗装置100内部环境干燥清洁。

所述清洁系统包括：干燥空气60，压力调节表61，干燥过滤器62，风干装置上的阀门46，以上所述干燥空气60、压力调节表61、干燥过滤器62、风干装置上的阀门46通过气体管道连接在所述待清洗装置100上；当上述清洗过程完成后，控制装置控制所述管路风干装置开启，使用所述干燥空气吹干所述待清洗装置100的内部管道。所述压力调节表61的作用是调节所述干燥空气60的压力，确保所述待清洗装置100的内部管道不被损坏，所述干燥过滤器62确保所述清洁系统通入所述干燥空气60的过程中不含有其他杂质或水蒸气。

需要说明的是，进行干燥的过程中，吹入所述干燥空气60，所述干燥空气60通过所述待清洗装置100之后，需要输出，所以，所述清洗系统中，所述管路风干装置还连接有气体回收灌80，所述气体回收罐具有控制阀门48。

本实施例中，所述清洁系统还包括：保压测漏装置，所述保压测漏装置与所述待清洗装置直接相连通。由于清洗过程中可能会影响到所述待清洗装置100内部的密闭性，通过集成所述保压测漏装置，用于检测所述待清洗装置100被清洗后的密闭性。

所述保压测漏装置包括：保压气体70，保压表71，保压测漏上的保压阀门47，所述保压气体是氮气，如果有漏气，可以用气体检测器确定漏点位置。

检测过程如下：

关闭阀门46和阀门48，打开保压阀门47，氮气充入所述待清洗装置100，稳定后，关闭保压阀门47，保压15分钟，如果压力表无变化，则所述待清洗装置100密闭性是完好的，如果有变化，用气体检测器查看漏点，给维修工程师维修。

本实用新型通过将水泵与清洁剂连接，通过控制器连接，并集成了清洗和干燥以及测漏功能，使得避免拆卸就可实现清洗，省去人力，提高效率。

虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (10)

1.一种清洁装置，其特征在于，包括：

清洗剂容纳单元、水泵、待清洗装置、第一通路、第二通路及第三通路；

其中，所述清洗剂容纳单元通过所述第一通路与所述水泵连接；

所述水泵通过所述第二通路与所述待清洗装置连接；

所述待清洗装置通过所述第三通路与所述清洗剂容纳单元连接。

2.如权利要求1所述清洁装置，其特征在于，还包括：控制装置，所述控制装置固定于所述第二通路和/或所述第三通路上。

3.如权利要求2所述清洁装置，其特征在于，所述控制装置为阀门或定时开关。

4.如权利要求1所述清洁装置，其特征在于，还包括：过滤装置，所述过滤装置设置于所述第三通路。

5.如权利要求1所述清洁装置，其特征在于，还包括：流量监测装置，所述流量监测装置设置在所述第二通路。

6.一种清洁系统，包括至少两个如权利要求1-5任一所述清洁装置，其特征在于，还包括：

第一连接通道，连接相邻两个所述第二通路；

第二连接通道，连接相邻两个所述第三通路。

7.如权利要求6所述清洁系统，其特征在于，还包括：排液装置，所述排液装置设置在所述第二连接通道上。

8.如权利要求6所述清洁系统，其特征在于，具有两个所述清洁装置。

9.如权利要求6所述清洁系统，其特征在于，还包括：管路风干装置，所述管路风干装置与所述待清洗装置相连通。

10.如权利要求6所述清洁系统，其特征在于，还包括：保压测漏装置，所述保压测漏装置与所述待清洗装置直接相连通。