KR100869221B1 - 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조공정 중 카셋트를 세정하는 장치에 관한 것이다.
본 발명의 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치는 카셋트를 트레이에 세팅하는 로더부, 1차 세정을 수행하는 초음파세정 탱크, 상부노즐과 하부노즐을 구비하여 순수 세정과 CDA 건조처리를 수행하는 챔버, 상기 챔버의 벽에 장착된 히팅 시스템 및 상기 카셋트를 상기 트레이에서 제거하는 언로더부를 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서 본 발명의 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치는 카셋트 세정시 건조불량에 의한 물방울 발생 방지가 가능하고, 물방울이 웨이퍼에 전이되어 제조공정시 손상되는 것을 방지할 뿐만 아니라 건조불량으로 인해 작업자가 발견시 재작업을 해야 하는 문제를 없애므로 시간단축 등의 효과 및 장점이 있다.
카셋트, 건조, 히팅, 물방울

Description

물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치{Cleaning device with heating system for removing a water drop}
도 1은 종래기술에 의한 반도체 웨이퍼 세정장치.
도 2는 본 발명에 따른 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치의 개략도.
도 3은 본 발명에 따른 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치의 챔버의 구성도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
11 : 케미컬 12 : 인너 베스
13 : 아우터 베스 14 : 웨이퍼
15 : 보트 16,16' : 제1/제2 순환라인
17 : 펌프 18 : 필터
19 : 밸브 20 : 노즐
21,21' : 제1/제2 바이패스라인 23 : 밸브
100 : 순수 공급관 110 : 로더부
120 : 언로더부 130 : 초음파 세정 탱크
140 : 배수관 150 : 챔버
160 : 카셋트 180 : 히팅 시스템
본 발명은 제조공정에서 사용되는 카셋트를 세정하는 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 카셋트를 트레이에 세팅하는 로더부, 1차 세정을 수행하는 초음파 세정 탱크, 상부노즐과 하부노즐을 구비하여 순수 세정과 CDA 건조처리를 수행하는 챔버, 상기 챔버의 벽에 장착된 히팅 시스템 및 상기 카셋트를 상기 트레이에서 제거하는 언로더부를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치에 관한 것이다.
도 1은 대한민국 공개실용신안공보 제0039867호에 기재된 종래의 기술로서, 반도체 웨이퍼 세정장치는 상측에 개구되며 케미컬(11)이 수납되는 일정크기의 공간부를 갖는 인너 베스(12)와, 그 인너 베스(12)의 양측 외부에 설치되는 아우터 베스(13)와, 상기 인너 베스(12)의 내측에 설치되며 웨이퍼(14)들이 탑재되는 보트(15)와, 상기 아우터 베스(13)와 인너 베스(12)가 연결되도록 설치되는 제1/제2 순환라인(16, 16')과, 그 제1/제2 순환라인(16, 16') 상에 각각 설치되는 펌프(17), 필터(18), 밸브(19)로 구성되어 있다.
그리고, 상기 보트(15)의 양측에는 일정간격을 두고 노즐(20)이 각각 설치되어 있고, 그 각각의 노즐(20) 후단부에는 필터(18)와 밸브(19) 사이의 제1/제2 순환라인(16, 16') 상에 연결되도록 제1/제2 바이패스라인(21, 21')이 연결되어 있으며, 그 제1/제2 바이패스라인(21, 21') 상에는 각각 밸브(23)가 설치되어서 구성된다.
상기와 같이 구성되어 있는 반도체 웨이퍼 세정장치에서 세정작업이 진행되는 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 인너 베스(12)의 내측에 케미컬(11)을 수납한다. 그런 다음, 제1/제2 순환라인(16, 16') 상에 설치되어 있는 밸브(19)를 닫고, 제1/제2 바이패스라인(21, 21') 상에 설치된 밸브(23)를 연다. 그런 다음, 펌프(17)를 이용하여 케미컬(11)을 펌핑하고, 제1/제2 바이패스라인(21, 21')을 통하여 순환된 케미컬(11)이 노즐(20)을 통하여 보트(15)의 양측에서 보트(15)에 분사되도록 하여 보트(15)에 부착되어 있는 공기방울들을 제거한다.
상기와 같은 공기방울 제거작업을 일정시간 실시한 다음, 다시 제1/제2 바이패스라인(21, 21')에 설치된 밸브(23)를 닫고, 제1/제2 순환라인(16, 16')에 설치된 밸브(19)를 연 다음, 펌프(17)로 펌핑하여 케미컬(11)이 인너 베스(12)에서 아우터 베스(13)로, 또 제1/제2 순환라인(16, 16')으로 순환하며 웨이퍼(14)들의 식각 및 세정이 이루어지도록 한다.
그러나, 건조시에 카셋트에 잔존하고 있는 미세한 물방울이 완벽하게 제거되지 않고, 구조상 상기 프로세스를 완료한 후에도 간헐적으로 물방울이 챔버에 달려 있는 상태로 언로딩되면 상기 카셋트에 떨어져 건조불량이 발생한다. 이후 상기 카셋트에 물방울이 묻어 있는 상태에서 웨이퍼가 처리되면 심각한 손상을 유발시키는 문제가 있었다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 건조시 미세한 물방울을 제거할 수 있도록 하드웨어적으로 보완하여 카셋트 세정시 건조불량에 의한 물방울이 발생되지 않도록 하고, 물방울이 웨이퍼에 전이되어 제조공정시 손상되는 것을 방지하며, 건조불량으로 인한 손실을 최소화하는 물방울 제거용 히팅 시스템을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 카셋트를 트레이에 세팅하는 로더부, 1차 세정을 수행하는 초음파 세정 탱크, 상부노즐과 하부노즐을 구비하여 순수 세정과 CDA(Clean Dry Air) 건조처리를 수행하는 챔버, 상기 챔버의 벽에 장착된 히팅 시스템 및 상기 카셋트를 상기 트레이에서 제거하는 언로더부를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치에 의해 달성된다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치의 개략도이고, 도 3은 본 발명에 따른 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치의 챔버를 나타낸 것이다. 로더부(110)에서 트레이(170)로 세팅된 카셋트(160)는 1차적으로 초음파 세정 탱크(130)로 이송되어 1차 세정을 하고, 챔버(150)에서 세정 및 CDA로 건조를 한다. 또한, 순수 공급관(100)에서 분출된 순수로 세정이 이루어지고 세정이 끝난 순수는 배수관(140)으로 배출된다.
상기의 챔버(150)는 로울러(171)가 좌우로 움직이면서 상기 카셋트(160)를 좌우로 움직여 주고 상부노즐(151)과 하부노즐(152)에서 분사된 순수로 세정을 실시하고 이후 90℃의 고온의 CDA로 최종 건조를 하게 된다.
상기 순수 세정 후 CDA로 건조하는 과정에서 상기 챔버(150)의 내벽에 붙어 있는 물방울들이 남아 있게 된다. 이 현상을 개선하기 위해서 상기 챔버(150)의 안쪽에 별도의 히팅 시스템(180)을 설치한다. 상기 히팅 시스템(180)은 두 개의 평판형 플레이트를 상기 챔버(150)의 내측에 장착하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 히팅 시스템(180)은 상기 챔버(150)에서 발생되는 공정이 시작되는 시점부터 끝나는 시점까지 소정의 온도로 계속 히팅되어 있으며, 미세한 물방울들이 잔존해 있지 않고 열에 의해 건조가 되어 상기 공정의 완료 후 이동과정에서 떨어져 상기 카셋트(160)에 묻는 현상은 사라지게 된다. 상기 히팅 시스템(180)의 온도는 50℃~70℃로, 바람직하게는 50℃로 조정한다.
모든 공정은 로울러(171)에 의해 독립적으로 이동되는 상기 트레이(170)가 이동하며 이루어지고, 공정이 끝나면 언로더부(120)에 의해 상기 트레이(170)에서 상기 카셋트(160)가 제거되며 완료된다.
상세히 설명된 본 발명에 의하여 본 발명의 특징부를 포함하는 변화들 및 변형들이 당해 기술 분야에서 숙련된 보통의 사람들에게 명백히 쉬워질 것임이 자명하다. 본 발명의 그러한 변형들의 범위는 본 발명의 특징부를 포함하는 당해 기술 분야에 숙련된 통상의 지식을 가진 자들의 범위 내에 있으며, 그러한 변형들은 본 발명의 청구항의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.
따라서 본 발명의 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치는 카셋트 세정시 건조불량에 의한 물방울 발생 방지가 가능하고, 물방울이 웨이퍼에 전이되어 제조공정시 손상되는 것을 방지할 뿐만 아니라 건조불량으로 인해 작업자가 발견시 재작업을 해야 하는 문제를 없애므로 시간단축 등의 효과 및 장점이 있다.

Claims (4)

  1. 제조공정에서 사용되는 카셋트를 세정하는 장치에 있어서,
    카셋트를 트레이에 세팅하는 로더부;
    1차 세정을 수행하는 초음파 세정 탱크;
    상부노즐과 하부노즐을 구비하여 순수 세정과 CDA 건조처리를 수행하는 챔버;
    상기 챔버 내부에 구비되고, 상기 세팅된 카셋트를 좌우로 회동시키는 로울러;
    상기 트레이의 좌우측으로 하여 상기 챔버의 양측 내벽에 장착된 두 개의 플레이트 히터를 포함하는 히팅 시스템; 및
    상기 카셋트를 상기 트레이에서 제거하는 언로더부;
    를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 히팅 시스템의 온도는 50℃~70℃임을 특징으로 하는 물방울 제거용 히팅 시스템이 구비된 세정장치.
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