KR100697630B1 - 배럴 건조 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 배럴 건조 장치는 랩핑된 웨이퍼를 배럴에 로딩하여 에칭한 후 이 웨이퍼를 언로딩한 상태의 배럴에 잔류하는 케미컬을 제거하면서 효과적으로 건조하기 위한 것으로서, 대상 배럴이 로딩되는 로딩 유닛, 이 로딩 유닛으로부터 이송되어 안착된 배럴에 에어를 분사시켜 배럴에 부착되어 있는 이물질을 제거하는 에어 브러시 유닛, 이 에어 브러시 유닛으로부터 이송되어 안착된 배럴을 건조하여 잔류하는 이물질을 제거하는 진공 유닛, 이 진공 유닛으로부터 언로딩된 배럴을 안착시키는 언로딩 유닛, 및 각 유닛으로 배럴을 이송시키는 이송 유닛을 포함한다.
에어 브러시, 진공, 배럴, 건조

Description

배럴 건조 장치 {A Barrel Drying Apparatus}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배럴 건조 장치를 개념적으로 도시한 개략도이다.
도 2는 도 1의 A-A선에 따른 로딩 유닛의 단면도이고, 도 1의 B-B선에 따른 언로딩 유닛의 단면도이다.
도 3은 도 2의 우측면도이다.
도 4는 도 1의 C-C선에 따른 에어 브러시 유닛의 단면도이다.
도 5는 도 4의 D-D선에 따른 단면도이다.
도 6은 도 4의 좌측면도이다.
도 7은 도 4의 우측면도이다.
도 8은 도 1의 E-E선에 따른 진공 유닛의 정면도이다.
도 9는 도 8의 F-F선에 따른 단면도이다.
도 10은 도 1의 G-G선에서 본 제1 이송 유닛의 정면도이고, 도 1의 H-H선에서 본 제2 이송 유닛의 배면도이다.
도 11은 도 10의 좌측면도이다.
본 발명은 배럴 건조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 랩핑(lapping)된 웨이퍼(wafer)를 배럴(barrel)에 로딩(loading)하여 에칭(etching)한 후, 이 웨이퍼를 언로딩(unloading)한 상태의 빈 배럴(barrel)을 세밀한 부분까지 효과적으로 건조하는 배럴 건조 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 제조 공정은 잉곳(ingot) 공정, 슬라이싱(slicing) 공정, 에지 그라인딩(edge grinding) 공정, 랩핑 공정, 에칭 공정, 백 사이드 폴리싱(back side polishing) 공정, 프리 어닐 크린(pre anneal clean) 공정, 에지 폴리싱 공정, 및 프론트 폴리싱(front polishing) 공정을 포함한다. 상기 잉곳 공정은 모래에서 규소(Si)를 추출 정제하여 실리콘 원재료를 생성한 후 원하는 불순물을 주입하여 N형 또는 P형 실리콘 덩어리를 만든다. 슬라이싱 공정은 잉곳 공정에서 생성된 실리콘 덩어리를 원하는 두께로 잘라 웨이퍼를 생성한다. 에지 그라인딩 공정은 슬라이싱 공정에 의해 생성된 웨이퍼의 에지 부분에 발생된 표면 손상 및 거칠기를 향상시키기 위하여 웨이퍼의 에지 부분을 연마 가공하여 표면을 매끄럽게 한다. 랩핑 공정은 규격에 따라 소정의 두께로 절단된 웨이퍼의 프론트 사이드 및 백 사이드의 표면에 발생된 표면 손상을 제거하고 평탄도를 향상시키기 위해 웨이퍼의 프론트 사이드 및 백 사이드의 표면을 연마한다. 에칭 공정은 랩핑 공정에서 연마된 웨이퍼의 표면에 발생된 미세 균열이나 표면 결함이 여전히 남아 있기 때문에 이를 제거하기 위해 화학적 반응을 이용하여 웨이퍼 표면을 에칭한다. 백 사이드 폴리싱 공정은 에칭 공정에 의해 에칭된 웨이퍼의 백 사이드 표면 손상을 제거 하고 평탄도를 향상시키기 위해 웨이퍼의 백 사이드 표면을 연마한다. 프리 어닐 크린 공정은 에칭 공정에 의해 표면에 발생하는 불완전한 격자 결함 구조를 보완하기 위해 웨이퍼의 표면을 열처리 및 세정한다. 에지 폴리싱 공정은 에칭 공정에 의해 발생하는 웨이퍼의 에지 부분의 표면 손상을 제거하고 평탄도를 향상시키기 위해 웨이퍼의 에지 부분을 연마한다. 프론트 폴리싱 공정은 에칭 공정에 의해 발생하는 웨이퍼의 프론트 표면 손상을 제거하고 평탄도를 향상시키기 위하여 웨이퍼의 프론트 표면을 연마한다.
상기 에칭 공정은 이전 공정에서 랩핑된 웨이퍼를 로딩하는 배럴을 사용한다. 이 배럴은 웨이퍼를 로딩하여 회전시키는 지그(jig) 또는 컨테이너(container)이다. 이 배럴은 웨이퍼를 로딩하여 에칭하고, 이렇게 에칭된 웨이퍼를 언로딩하며, 다시 새로운 랩핑된 웨이퍼를 로딩하여 상기와 같은 에칭 공정을 거치게 된다. 이 배럴은 생산성을 높이기 위하여 얇은 웨이퍼를 수십 매씩 로딩하여 회전하면서 이에 로딩된 웨이퍼를 에칭할 수 있게 한다. 이 배럴은 다수의 웨이퍼를 로딩할 수 있도록 미세 간격으로 배치되는 웨이퍼 슬롯을 가진다. 에칭시 배럴 및 이에 형성된 웨이퍼 슬롯은 에칭액에 노출되므로 에칭 공정 후, 이 웨이퍼 슬롯 사이에는 케미컬(chemical)이 잔류하게 된다.
1회의 에칭 공정을 거친 배럴은 다시 랩핑된 웨이퍼를 로딩하여 에칭하는 에칭 공정에 사용된다. 즉 이 배럴에 랩핑된 웨이퍼를 다시 로딩하기 위하여, 배럴에서 웨이퍼 슬롯의 미세 공간에 잔류하는 케미컬은 제거되어야 한다. 따라서 작업자는 에어 건(air gun)을 사용하여 배럴의 웨이퍼 슬롯 사이에 잔류하는 케미컬을 제 거하게 된다. 이때, 배럴에 잔류하는 케미컬은 유독한 흄(fume)을 발생시킨다. 따라서 작업자는 상기한 배럴에 잔류하는 케미컬을 제거하면서 배럴을 건조시킬 때 열악한 작업 환경 하에 노출된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 랩핑된 웨이퍼를 배럴에 로딩하여 에칭한 후 이 웨이퍼를 언로딩한 상태의 배럴에 잔류하는 케미컬을 제거하면서 효과적으로 건조하는 배럴 건조 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 배럴 건조 장치는, 대상 배럴이 로딩되는 로딩 유닛, 상기 로딩 유닛으로부터 이송되어 안착된 배럴에 에어를 분사시켜 배럴에 부착되어 있는 이물질을 제거하는 에어 브러시 유닛, 상기 에어 브러시 유닛으로부터 이송되어 안착된 배럴을 건조하여 잔류하는 이물질을 제거하는 진공 유닛, 상기 진공 유닛으로부터 언로딩된 배럴을 안착시키는 언로딩 유닛, 및 상기 각 유닛으로 상기 배럴을 이송시키는 이송 유닛을 포함하고,
이때, 상기 진공 유닛은, 상기 배럴에 진공을 작용시키는 진공시스템에 연결될 수 있도록 진공챔버부가 상기 에어 브러시 유닛의 일측에 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.
삭제
상기에서, 로딩 유닛은 상기 배럴의 양 외측을 지지하는 외측 서포터, 상기 외측 서포터로부터 상기 배럴을 분리시키도록 상기 외측 서포터의 내측에 구비되는 내측 서포터, 상기 내측 서포터를 승강시키도록 내측 서포터의 하측에 구비되는 승강 실린더, 상기 승강 실린더를 지지하는 상측 플레이트를 이동시키도록 상측 플레이트와 이의 하측에 구비되는 프레임 사이에 구비되는 이동 실린더, 및 상기 상측 플레이트의 이동을 안내하도록 상측 플레이트와 이에 대응하는 프레임 사이게 구비되는 가이드를 포함한다.
상기 외측 서포터는 상기 이동 실린더의 이동 방향을 따라 배치되는 제1 외측 서포터와 제2 외측 서포터를 포함하고, 상기 배럴의 일측에 구비되는 얼라인 홀에 삽입되는 얼라인 핀을 구비하는 것이 바람직하다. 상기 승강 실린더는 상기 내측 서포터와 상측 플레이트 사이에서 상측 플레이트의 폭 방향 양측에 구비되고, 상기 가이드는 상기 상측 플레이트와 프레임 사이에서 상측 플레이트의 폭 방향 양측에 구비되는 것이 바람직하다. 상기 이동 실린더는 로드리스(rodless) 실린더로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 에어 브러시 유닛은, 상기 로딩 유닛의 일측에 형성되는 에어 챔버, 상기 에어 챔버 내에 구비되어 상기 로딩 유닛으로부터 이송되는 배럴의 양측을 회전 가능하게 지지하는 회전 서포터, 상기 회전 서포터에 안착된 배럴의 일측에 연결되어 회전 구동하는 링크, 상기 링크에 의하여 회전되는 배럴에 에어를 분사하는 분사 노즐, 및 상기 에어 챔버의 다른 일측에 구비되는 배출구를 포함한다.
삭제
상기 회전 서포터의 지지 중심과 링크의 회전 중심은 서로 어긋난 위치에 배치된다. 상기 에어 챔버는 그 상측을 개폐시키는 뚜껑을 구비하고, 상기 뚜껑을 상기 배럴의 길이 방향에 직교하는 방향으로 이동시키는 개폐 실린더를 포함한다.
상기 에어 챔버는 상기 배럴의 길이 방향에 직교하는 방향의 양측 외면에 후크를 구비하고, 상기 후크로 상기 뚜껑을 에어 챔버의 상측 개구에 밀착시키는 실린더를 포함한다. 상기 링크는 상기 배럴의 일측을 고정시키는 고정 핀을 구비한다.
또한, 상기 링크는, 상기 에어 챔버 외부로 인출된 선단에 구비되는 피동 풀리, 상기 피동 풀리의 대향측에 구비되는 구동 풀리 및 구동 모터, 및 상기 구동 풀리와 피동 풀리를 연결하는 벨트를 포함한 구성에 의해 회전된다.
상기 분사 노즐은 상기 배럴의 상측을 향하는 상부 분사 노즐과, 상기 배럴의 하측을 향하는 하부 분사 노즐을 포함하는 것이 바람직하다. 이 분사 노즐은 상기 배럴의 회전 방향의 접선 방향에 대향하는 분사 방향을 형성하여 배치되는 것이 바람직하다. 상기 분사 노즐로 에어를 공급하는 에어 라인에는 히터가 구비되는 것이 좋다.
또한, 상기 진공챔버부는, 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내에 구비되어 상기 에어 브러시 유닛으로부터 이송되는 배럴의 양측을 고정 지지하는 고정 서포터, 상기 진공 챔버의 상측을 개폐시키는 뚜껑, 상기 뚜껑을 상기 배럴의 길이 방향에 직교하는 방향으로 이동시키는 개폐 실린더, 상기 뚜껑과 진공 챔버 사이에 개재되는 실링, 및 상기 고정 서포터에 고정된 배럴에 진공을 작용시키는 진공구를 포함한다.
삭제
상기 진공 챔버는 그 하측이 상기 배럴의 외곽과 등간격을 형성하는 라운드로 형성된다. 이 진공 챔버는 그 외면에 히터를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 언로딩 유닛은 상기 배럴의 양 외측을 지지하는 외측 서포터, 상기 외측 서포터로부터 상기 배럴을 분리시키도록 상기 외측 서포터의 내측에 구비되는 내측 서포터, 상기 내측 서포터를 승강시키도록 내측 서포터의 하측에 구비되는 승강 실린더, 상기 승강 실린더를 지지하는 상측 플레이트를 이동시키도록 상측 플레이트의 하측에 구비되는 이동 실린더, 및 상기 상측 플레이트의 이동을 안내하도록 상측 플레이트와 이에 대응하는 프레임 사이게 구비되는 가이드를 포함한다.
또한, 상기 이송 유닛은 상기 로딩 유닛, 상기 에어 브러시 유닛, 및 상기 진공 유닛 상측에 구비되어 이 범위 내에서 배럴을 이송시키는 제1 이송 유닛과, 상기 제1 이송 유닛의 일측 및 상기 진공 유닛과 상기 언로딩 유닛의 상측에 구비되어 이 범위 내에서 배럴을 이송시키는 제2 이송 유닛으로 구성될 수 있다.
상기 이송 유닛은 상기 로딩 유닛, 상기 에어 브러시 유닛, 상기 진공 유닛, 및 상기 언로딩 유닛의 상측에 프레임에 구비되어 상기 배럴이 이송되는 방향 양측 에 구비되는 풀리, 상기 풀리의 일측에 구비되는 모터, 상기 풀리에 연결되는 벨트, 상기 벨트에 장착되는 이송 브래킷, 상기 이송 브래킷에 수직 방향으로 장착되는 승강 실린더, 및 상기 승강 실린더의 선단에 구비되어 상기 프레임의 하측에 배치되는 후크를 포함한다.
상기 후크는 상기 승강 실린더의 양측에 수직 방향으로 구비되어 상기 이송 브래킷에서 승강되는 가이드에 연결되고, 상기 배럴의 원형 일측과 각형 일측에 대응하는 원형의 일측과 각형 일측을 구비하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배럴 건조 장치를 개념적으로 도시한 개략도이다.
이 도면을 참조하면, 본 발명에 따른 배럴 건조 장치는 에칭 공정에 사용된 배럴(100)을 건조시키는 장치이다. 이 에칭 공정은 랩핑(lapping) 공정에서 연마된 웨이퍼의 표면에 발생된 미세 균열이나 표면 결함을 제거하는 공정으로서, 화학적 반응을 이용하여 웨이퍼의 표면을 에칭한다. 이 에칭 공정에 사용되는 배럴은 수십 매씩 로딩할 수 있는 웨이퍼 슬롯을 구비한다. 이 배럴의 구성에 대해서는 후술하는 필요 부분에서 설명하고 여기서는 그 상세 설명을 생략한다.
이 배럴 건조 장치는 로딩 유닛(200, loading unit), 에어 브러시 유닛(300, air brush unit), 진공 유닛(400, vacuum unit), 언로딩 유닛(500, unloading unit), 및 이송 유닛(600, transfer unit)을 포함한다.
로딩 유닛(200)은 에칭 공정을 거쳐 이물질을 가지고 있는 대상 배럴(100)을 로딩할 수 있도록 구성된다. 이 로딩 유닛(20)에 배럴(100)을 로딩하는 것은 작업자에 의하여 진행될 수도 있고, 별도의 기계 장치에 의하여 장착될 수도 있다.
도 2는 도 1의 A-A선에 따른 로딩 유닛의 단면도이고, 도 1의 B-B선에 따른 언로딩 유닛의 단면도이고, 도 3은 도 2의 우측면도이다.
이 도면들을 참조하면, 로딩 유닛(200)은 외측 서포터(202), 내측 서포터(204), 승강 실린더(206), 이동 실린더(208), 및 가이드(210)를 포함하여 형성된다.
이 외측 서포터(202)는 로딩 유닛(200)에 로딩되는 배럴(100)의 양 외측을 지지하도록 형성된다. 이 외측 서포터(202)는 이동 실린더(208)의 이동 방향을 따라 배치되는 제1 외측 서포터(202A)와 제2 외측 서포터(202B)와 같이 2개로 형성될 수도 있다. 이와 같은 2개로 형성되는 외측 서포터(202)는 배럴(100)을 로딩하고 이송함에 있어서 버퍼(buffering) 기능을 더 가지게 한다.
이 외측 서포터(202)는 배럴(100)의 일측에 구비되는 얼라인 홀(102, align hole)에 삽입되는 얼라인 핀(212)을 구비한다. 이 얼라인 핀(212)은 이송 유닛(600)이 배럴(100)을 픽업할 때 배럴(100)이 정확한 픽업 위치에 유지되도록 배럴(100)을 정열시킨다. 이 얼라인 홀(102)과 얼라인 핀(212)은 배럴(100)의 무게 중심이 비대칭 위치에 형성됨에 따라 배럴(100) 이송시, 배럴(100)의 불필요한 선회를 방지한다.
내측 서포터(204)는 외측 서포터(202)에 로딩된 배럴(100)을 이동시키기 위 하여, 외측 서포터(302)로부터 분리시킬 수 있도록 이 외측 서포터(202)의 내측에 형성된다. 즉 외측 서포터(202)는 외부 요인(즉 작업자나 별도의 기계 장치)에 의하여 배럴(100)이 1차로 로딩되는 장소이고, 내측 서포터(204)는 이 외측 서포터(202)에 로딩된 배럴(100)을 외측 서포터(202)로부터 분리시켜 픽업 위치로 이송시키는 기구이다.
따라서, 내측 서포터(204)는 외측 서포터(202) 내에서 이 외측 서포터(202)로부터 승강 및 이송될 수 있는 구조를 형성하는 것이 바람직하다. 이를 위하여 상기 승강 실린더(206)와 이동 실린더(208) 및 가이드(210)가 구비된다.
상기 승강 실린더(206)는 이 내측 서포터(204)를 승강시키기 위하여 내측 서포터(204)의 하측에 승강 가능하게 구비된다. 이 승강 실린더(206)는 내측 서포터(204)와 이의 하측에 구비되는 상측 플레이트(214) 사이에 수직 방향으로 승강 가능하게 구비된다. 이 승강 실린더(206)는 내측 서포터(204)의 안정된 상태로의 승강을 위하여 상측 플레이트(214)와 내측 서포터(204) 사이에서 상측 플레이트(214)의 폭 방향 양측에 쌍으로 구비되는 것이 바람직하다. 이 승강 실린더(206)는 다양한 구성으로 구비될 수 있으며 반드시 이의 구성에 한정되지 않는다.
이동 실린더(208)는 상기 승강 실린더(206)를 지지하는 상측 플레이트(214)와 이의 하측에 구비되는 프레임(216) 사이에 구비된다. 외측 서포터(202)는 이 프레임(216)에 고정 설치되어 있다. 이 이동 실린더(208)는 제1 외측 서포터(202A)와 제2 외측 서포터(202B) 사이 또는 제1 외측 서포터(202A)에서 배럴(100)의 픽업 위치까지 배럴(100)이 장착된 상태로 내측 서포터(204)를 이동시킬 수 있도록 구성된 다. 이 이동 실린더(208)는 로드리스(rodless) 실린더로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 로딩 유닛(200)은 상측 플레이트(214)의 원활한 이송을 위하여 상기한 가이드(210)를 상측 플레이트(14)와 이에 대응하는 프레임(216) 사이에서, 상측 플레이트(214)의 폭 방향으로 그 양측에 구비되는 것이 바람직하다. 따라서 상측 플레이트(214)는 이송되면서 그 폭 방향으로 흔들림이 방지될 수 있다.
이 로딩 유닛(200)은 제1 외측 서포터(202A)에 배럴(100)이 로딩되면, 승강 실린더(206)가 상승 작동되어 제1 외측 서포터(202A)에 로딩된 배럴(100)을 내측 서포터(204)로 이동시키고, 이동 실린더(208)가 작동되어 내측 서포터(204)에 로딩된 배럴(100)을 제1 외측 서포터(202B) 측 또는 배럴(100)의 픽업 위치로 이동시킨다. 이와 같이 내측 서포터(204)에 배럴(100)이 장착되었을 때에도 배럴(100)이 비대칭 무게 중심에 의하여 선회되지 않도록 상기한 얼라인 핀(212)을 내측 서포터(204)의 일측에도 구비하여 배럴(100)의 선회를 고정시키는 것이 바람직하다.
이렇게 로딩 유닛(200) 내에서 이송되는 배럴(100)은 이송 유닛(600)에 의하여 에어 브러시 유닛(300)으로 이송된다.
도 4는 도 1의 C-C선에 따른 에어 브러시 유닛의 단면도이고, 도 5는 도 4의 D-D선에 따른 단면도이며, 도 6은 도 4의 좌측면도이고, 도 7은 도 4의 우측면도이다.
이 에어 브러시 유닛(300)은 로딩 유닛(200)으로부터 이송되어 안착되는 배럴(100)에 에어를 분사시켜 배럴(100)에 부착되어 있는 큰 크기의 이물질을 작은 크기로 파쇄 및 제거하여 배럴(100)을 1차로 건조할 수 있도록 구성되어 있다. 이 이물질은 랩핑된 웨이퍼를 에칭할 때 사용된 에칭액, 즉 케미컬이나 물방울로 이루어진다.
이 에어 브러시 유닛(300)은 배럴(100)을 미리 가열시켜, 진공 유닛(400) 내에서 배럴(100)의 건조 속도보다 결빙 속도가 높아져 배럴(100)이 잘 건조되지 않는 것을 방지하고, 건조 속도를 향상시킬 수 있도록 구성된다.
이 에어 브러시 유닛(300)은 로딩 유닛(200)의 일측에 형성되며, 에어 챔버(302)를 포함한다. 이 에어 브러시 유닛(300)은 에어 챔버(302), 회전 서포터(304), 링크(306), 분사 노즐(308), 및 배출구(310)를 포함한다.
에어 챔버(302)는 로딩 유닛(200)으로부터 이송되어 오는 배럴(100)을 내장하여 배럴(100)에 에어를 분사하여 1차로 이물질을 제거하고, 큰 물방울 등을 잘게 파쇄시킬 수 있는 공간을 형성하며, 이때 케미컬 흄 및 케미컬이 밖으로 비산되는 것을 방지할 수 있는 구조로 형성된다.
이 에어 챔버(302)는 배럴(100)의 로딩 및 언로딩을 위하여 그 상측에 개구를 구비하고, 이 개구를 개폐시킬 수 있는 뚜껑(312)을 구비하며, 이 뚜껑(312)은 개폐 실린더(314)에 의하여 배럴(100)의 길이 방향에 직교하는 방향(도 5에서 좌우 방향)으로 이동 가능하도록 구비된다. 이 실린더(314)는 뚜껑(312)을 개방 상태로 유지시키고 있다가 이송 유닛(600)에 의하여 배럴(100)이 이송되어 회전 서포터(304)에 안착되면 뚜껑(312)을 폐쇄시키게 된다.
이 에어 챔버(302)는 후크(316)와 실린더(318)를 더 구비한다. 이 후크(316) 는 배럴(100)의 길이 방향에 직교하는 방향의 양측 에어 챔버(302)의 외면에 구비된다(도 6 참조). 실린더(318)는 이 후크(316)를 조작할 수 있도록 에어 챔버(302)의 외측에 구비된다. 즉, 이 실린더(318)의 작동에 따라 후크(316)가 작동되어 에어 챔버(302)의 개구 상측에 뚜껑(312)을 밀착시켜, 에어 분사에 따른 이물질의 비산이 방지된다. 이 후크(316)와 실린더(318)는 다양한 구동 구조로 뚜껑(312)을 에어 챔버(302)의 개구에 폐쇄된 상태를 유지시킬 수 있는 일례이므로 다양한 구조로 변형 가능하다.
회전 서포터(304)는 이 에어 챔버(302)에 내장되어 있다. 이 회전 서포터(204)는 상기 로딩 유닛(200)에서 이송 유닛(600)에 의하여 이송되어 오는 배럴(100)을 회전시킬 수 있도록 배럴(100)의 양측을 회전 가능 구조로 지지한다.
또한, 링크(306)는 회전 서포터(304)에 안착된 배럴(100)의 일측에 연결되어, 이 배럴(100)을 회전시킬 수 있도록 구성된다. 따라서 이 링크(306) 회전시, 배럴(100)과 링크(306)를 상호 연결 상태로 유지시키도록 링크(306)는 고정 핀(320)을 구비한다. 이 고정 핀(320)은 회전 서포터(304)에 안착되는 배럴(100)의 일측을 링크(306)에 고정시킴에 따라 링크(306) 회전시 배럴(100)은 양측 회전 서포터(304)에서 회전하는 상태를 유지하게 된다.
이 링크(306)는 다양한 구성에 의하여 선회 가능하다. 이 링크(306)를 회전시키는 일례를 들면, 도시된 바와 같이, 피동 풀리(322), 구동 풀리(324), 구동 모터(326), 및 벨트(328)를 포함하는 구성이 있을 수 있다. 이 피동 풀리(322)는 링크(306)의 에어 챔버(302) 외부로 인출된 선단에 구비된다. 구동 풀리(324)는 이 피동 풀리(322)의 대향측에 구비되며, 구동 모터(326)는 이 구동 풀리(322)를 구동시키도록 연결된다. 벨트(328)는 구동 풀리(324)와 피동 풀리(322)에 동력 전달 가능하게 연결된다. 따라서 이 구동 모터(306)의 구동에 의하여 구동 풀리(324), 벨트(328), 및 피동 풀리(322)를 통하여 링크(306)가 회전되면서, 배럴(100)은 회전 서포터(304)의 지지를 받으면서 도 5에 도시된 방향으로 회전된다.
분사노즐(308)은 상기와 같이 회전 구동되는 배럴(100) 및 웨이퍼 슬롯(104)에 에어를 분사하여 배럴(100) 및 이 슬롯(104)에 잔류하는 이물질을 효과적으로 제거하여 건조시킬 수 있도록 구성 및 배치된다.
이 분사 노즐(308)은 배럴(100)의 상측을 향하여 에어를 분사하는 상부 분사 노즐(308A)과, 이의 하측에 구비되어 배럴(100)의 하측을 향하여 에어를 분사하는 하부 분사 노즐(308B)을 포함하는 것이 바람직하다. 이 분사 노즐(308)은 배럴(100)의 형상에 및 이 배럴(100)의 길이 방향을 따라 이에 상응하는 간격 및 방향으로 다양하게 배치될 수 있다. 이 경우, 상부 분사 노즐(308A)은 배럴(100)의 일측에서 다른 일측으로 순차 분사하여 회전되는 배럴(100)의 슬롯 바아(106) 지지 플레이트(108) 및 기어부(110)에 부착된 이물질을 제거한다. 하부 분사 노즐(308B)은 에어를 순차 분사하여 배럴(100)의 슬롯 바아(106) 및 슬롯(104)에 부착된 이물질을 제거한다(도 4 참조).
한편, 이 분사 노즐(308)은 회전하는 배럴(100)에 에어를 분사하므로 배럴(100)의 회전 방향(a)의 접선 방향에 대하여 이에 대향하는 분사 방향(b)을 유지하는 것이 배럴(100)로부터 이물질을 제거하는 데 보다 유리하다(도 5 참조).
또한, 이 분사 노즐(308)은 에어 라인(340)에 연결되며, 이 에어 라인(340)에는 히터(342)가 구비된다. 이 히터(342)는 에어 라인(340)으로 공급되는 에어를 가열시켜, 에어 분사 유닛(300)에 이어지는 진공 유닛(400)에서 건조 속보보다 결빙 속도가 높아짐에 따라 배럴(100)에 결빙이 생기는 것을 방지하게 된다.
한편, 배출구(310)는 분사 노즐(308)로 분사되는 에어가 배럴(100)의 표면에 효과적으로 작용할 수 있도록 에어 챔버(302)의 일측에 구비되어 에어 분사량과 배출량의 균형을 이루게 한다. 이로 인하여, 배럴(100)로부터 분리된 케미컬 및 물방울은 에어 챔버(302)의 하측에 떨어져 이 배출구(310) 또는 별도로 구비되는 드레인(미도시)을 통하여 배출될 수 있다.
이렇게 1차로 이물질이 제거 및 건조된 배럴(100)은 이송 유닛(600)에 의하여 진공 유닛(400)으로 이송된다.
도 8은 도 1의 E-E선에 따른 진공 유닛의 정면도이고, 도 9는 도 8의 F-F선에 따른 단면도이다.
이 진공 유닛(400)은 에어 브러시 유닛(300)으로부터 이송되어 안착된 배럴(100)을 2차로 건조시켜 이에 잔류하는 이물질을 제거할 수 있도록 구성된다. 이 진공 유닛(400)은 에어 브러시 유닛(300)의 일측에 형성되며, 진공 챔버(4002)를 포함한다. 이 진공 유닛(400)은 배럴(100)에 진공을 작용시켜 포화증기압 온도를 낮추어 줌으로써 배럴(100)의 건조 효율을 향상시킬 수 있도록 구성된다.
통상적으로 배럴(100)은 수지재로 형성되므로 열변형에 약하다. 따라서 배럴(100)은 통상의 대기압 하에서의 히팅 방식을 그대로 적용하기에는 상당히 무리가 있다. 따라서 이 진공 유닛(400)은 수지재의 배럴(100)을 안전하게 가열 건조시킬 수 있도록 포화수증기압을 낮추고, 이 상태, 즉 저온에서 이물질을 증발시킬 수 있는 환경을 조성하도록 형성된다.
대기압 하에서 포화수증기가 발생되는 온도는 100℃이다. 그리고 PVC로 형성되는 배럴(100)의 열 변형 온도는 50∼60℃이므로 이 배럴(100)이 변형을 일으키지 않는 약 40℃이하에서 포화수증기를 발생시킬 수 있는 진공압을 형성하는 것이 바람직하다. 진공 유닛(400)은 이 진공압을 형성한다. 따라서 배럴(100)의 열 변형 온도에 따라 진공 유닛(400)은 이에 적절한 진공압을 형성하는 것이 바람직하다.
이 진공 유닛(400)은 진공 챔버(402), 고정 서포터(404), 뚜껑(406), 개폐 실린더(408), 실링(410), 및 진공구(412)를 포함한다.
진공 챔버(402)는 배럴(100)의 로딩 및 언로딩을 위하여 그 상측에 개구를 구비하고, 상기 뚜껑(406)에 의하여 개폐되는 구조를 형성한다. 이 진공 챔버(402)는 그 하측을 이에 내장되는 배럴(100)의 대체적인 외곽 형상과 등간격을 유지하도록 라운드로 형성되고, 그 외면에 히터(424)를 구비하는 것이 바람직하다. 이 히터(424)는 다양하게 형성될 수 있으나, 배럴(100)의 가상적인 외관 형상이 대체로 원통 형상이고, 이 배럴(100)에 대응하도록 진공 챔버(402)를 형성함에 따라 이 라운드 형상에 적절하게 설치되어, 진공 챔버(402)에 균일한 온도 분포를 형성할 수 있도록 실리콘 러버 히터(silicon rubber heater)로 형성되는 것이 바람직하다. 이 히터(424)는 진공 챔버(402) 내의 온도를 높여, 진공 작용에 의한 이물질의 동결을 방지하고 이물질의 포화수증기압을 낮추어 건조 효율을 향상시키게 한다.
고정 서포터(404)는 진공 챔버(402) 내에 구비되어, 에어 브러시 유닛(200)으로부터 이송되는 배럴(100)의 양측을 고정 지지할 수 있도록 구성된다.
뚜껑(406)은 상기 진공 챔버(402)의 상측 개구를 배럴(100)의 길이에 대하여 직교하는 방향(도 9의 좌우 방향)으로 개폐시킬 수 있도록 구성된다. 이 개폐 실린더(408)는 이 뚜껑(406)의 양측에 구비된다. 이 실링(410)은 이 진공 챔버(402)와 뚜껑(406) 사이에 개재되어, 이 진공 챔버(42)에 작용되는 진공에 대하여 기밀 상태를 구현한다. 진공구(412)는 고정 서포터(404)에 고정된 배럴(100)에 진공을 작용시킬 수 있도록 별도로 구비되는 진공 시스템(미도시)에 연결된다. 이 뚜껑(406)은 필요에 따라 배럴(100)의 길이 방향으로 개폐될 수도 있다. 이 진공 시스템에 사용되는 진공 펌프는 케미컬 환경 하에서 사용되는 것을 감안하여 저가인 수봉식 펌프로 구성되는 것이 바람직하다. 이 수봉식 펌프는 건조식 펌프에 비하여 가격이 저렴하고, 오일 펌프에 비하여 오일 미스트(oil mist)의 역류로 인하여 배럴(100)의 오염을 방지하며, 유지보수가 간단하며, 케미컬 환경 하에서 진공 건조 시스템을 구축하는 장점을 가진다.
이 진공 유닛(400)은 이송 유닛(600)에 의하여 배럴(100)이 이송되어 진공 챔버(402) 내에 로딩되면, 뚜껑(406)을 닫고, 히터(424)를 작동시켜 열전달 매질이 존재하는 상태에서 내부 온도를 먼저 가열시키며, 가열된 상태에서 진공구(412)를 통하여 진공압을 서서히 작용시키게 되면 배럴(100)에 잔류하는 미세 수분은 낮아지는 포화수증기압에 의하여 증발되어 진공구(412)로 배출된다. 급격한 진공은 진공챔버(402) 내의 배럴(100)에 수분 동결을 가져오게 되므로, 요구 시간 내에 배럴 (100)을 건조하기 위하여 진공인가 속도를 적절히 조절하는 것이 바람직하다.
이 진공 유닛(400)에서 2차로 이물질이 제거 및 건조된 배럴(100)은 이송 유닛(600)에 의하여 언로딩 유닛(500)으로 이송된다.
이 언로딩 유닛(500)은 진공 유닛(400)으로부터 언로딩된 배럴(100)을 안착시켜, 작업자나 별도의 기계장치에 의하여 배럴(100)을 언로딩할 수 있도록 구성된다. 이 언로딩 유닛(500)은 상기한 로딩 유닛(200)과 동일한 구성으로 형성될 수 있으므로 이에 대한 구체적인 설명을 생략한다. 다만, 언로딩 유닛(500)은 로딩 유닛(200)에 비하여 반대 방향으로 형성되어, 로딩 유닛(200)에서는 배럴(100)의 로딩을 용이하게 하고, 언로딩 유닛(500)에서는 배럴(100)의 언로딩을 용이하게 하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 이송 유닛(600)은 상기한 배럴(100)을 로딩 유닛(200), 에어 브러시 유닛(300), 진공 유닛(400), 및 언로딩 유닛(500)으로 이송할 수 있도록 구성된다.
이 이송 유닛(600)은 하나의 유닛으로 형성될 수도 있으나, 도시된 바와 같이 제1, 제2 이송 유닛(600A, 600B) 또는 각 유닛에 일대 일로 대응하는 개수로 구분 형성될 수도 있다. 이 이송 유닛(600)이 하나로 형성되면 그 작동 범위가 길어지고, 이송 유닛(600)이 2개 또는 그 이상의 개수로 형성되면 그 작동 범위를 적절하게 구획하여 사용할 수 있게 되어 각 이송 유닛(600)의 작동 범위가 짧아진다. 도면에서는 이송 유닛(600)이 2개로 구비된 것을 도시하면서, 제1, 제2 이송 유닛(600a, 600b)이 동일하게 구성되므로 이하에서 하나의 이송 유닛(600)으로 설명한 다.
도 10은 도 1의 G-G선에서 본 제1 이송 유닛의 정면도이고, 도 1의 H-H선에서 본 제2 이송 유닛의 배면도이고, 도 11은 도 10의 좌측면도이다.
이 이송 유닛(600)은 제1 이송 유닛(600A)과 제2 이송 유닛(600B)을 포함한다. 이 경우, 이 제1 이송 유닛(600A)은 상기 로딩 유닛(200), 에어 브러시 유닛(300), 및 진공 유닛(400)의 상측에 구비되어, 이 범위(L1) 내에서 배럴(100)을 이송하도록 구성된다. 제2 이송 유닛(600B)은 상기 제1 이송 유닛(600A)의 일측에서 진공 유닛(400)과 언로딩 유닛(500) 상측에 구비되어 이 범위(L2) 내에서 배럴(100)을 이송하도록 구성된다. 즉 이 제1 이송 유닛(600A)은 대체로 많은 수분이 잔류하는 배럴(100)을 이송시키는 데 사용되고, 제2 이송 유닛(600B)은 건조 완료된 배럴(100)을 이송시키는 데 사용된다. 이로 인하여 이송 유닛(600)에 부착된 이물질 및 물방울이 진공 유닛(400)으로 불필요하게 투입되는 것을 방지하여 건조 효율을 향상시킨다.
이 이송 유닛(600)은 로딩 유닛(200), 에어 브러시 유닛(300), 진공 유닛(400), 및 언로딩 유닛(500)의 상측에 구비된다. 이를 위하여 이들 상측에 상기한 프레임(602)이 구비된다. 이 이송 유닛(600)은 각 유닛 내부가 협소한 공간으로 형성되므로 배럴(100)의 픽업이 유리하도록 후크 방식을 적용하는 것이 바람직하며, 척(chuck) 방식도 가능하다.
이 이송 유닛(600)은 각 유닛에서 배럴(100)을 이송시킬 수 있도록 풀리(604, 605), 모터(606), 벨트(608), 이송 브래킷(610), 승강 실린더(612), 및 후크 (614, 615)를 포함한다.
풀리(604, 605)는 배럴(100)이 이송되는 방향 양측에 구비된다. 이 풀리(604, 605)의 간격은 이송 유닛(600)의 개수에 따라 적절한 간격으로 설정될 수 있다. 모터(606)는 일측 풀리(605)를 회전시킬 수 있도록 이 풀리(605) 측에 구비되어 프레임(602)에 장착된다. 벨트(608)는 이 양측 풀리(604, 605)에 연결되어 있다. 따라서, 이 모터(606)의 구동으로 풀리(605, 604)가 작동되어 이에 연결된 벨트(608)가 작동된다. 이 모터(606)는 정지 위치의 정밀 제어를 위하여 서보 모터(servo motor)로 형성되고, 벨트(608)는 타이밍 벨트로 형성되는 것이 바람직하다.
이송 브래킷(610)은 이 벨트(608)에 고정 장착되어, 벨트(608)의 구동에 따라 이송된다. 승강 실린더(612)는 이 이송 브래킷(610)에 수직 방향으로 장착되어 수직 방향으로 신축 작동하도록 형성된다. 상기 후크(614, 615)는 이 승강 실린더(612)의 선단에 구비되어 프레임(602)의 하측에 배치된다. 따라서 상기 승강 실린더(612)의 승강 작동에 따라 후크(614, 615)가 승강 작동된다.
이 승강 실린더(612) 및 후크(614, 615)의 수직 승강 작동의 원활화를 위하여, 상기 이송 브래킷(610)에는 가이드(616, 617)가 구비되는 것이 좋다. 이 가이드(616, 617)는 상기 승강 실린더(612)의 양측에 수직 방향으로 구비되어 후크(614, 615)에 그 일측이 연결된다. 이 가이드(616, 617)는 승강 실린더(612)의 작동 하한을 설정하는 리미트 가이드(limit guide)로 형성되는 것이 바람직하다. 따라서 승강 실린더(612) 신축 작동시 후크(614, 615)와 일체로 이송 브래킷(610)에서 승강 작동되면서 수직 승강 작동을 안내한다.
상기 후크(614, 615)는 배럴(100)의 원형 일측과 각형 일측에 대응하여 배럴(100)을 픽업하도록 원형(614a)의 일측과 각형(615a) 일측을 구비한다. 이 각형(615a) 일측은 후크(614, 615)에 픽업된 배럴(100)이 회전하지 않은 상태를 유지시킨다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
이와 같이 본 발명에 따른 배럴 건조 장치에 의하면, 랩핑된 웨이퍼를 에칭하는 데 사용된 배럴을 로딩 유닛에 로딩하였다가, 에어 브러시 유닛으로 이송시켜 배럴에 잔류하는 케미컬 및 물방울 같은 이물질을 분사되는 에어에 의하여 1차로 제거 및 잘게 부수고, 이 배럴을 다시 진공 유닛으로 이송하여 가온하여 진공을 가하면서 이물질을 2차로 제거하여, 언로딩 유닛으로 이송시키는 일련의 공정을 통하여 배럴에 잔류하는 이물질을 효과적으로 제거하여 배럴을 건조하고, 이 에칭에 사용되었던 배럴을 건조시키는 공정에 투입되는 작업자를 열악한 작업 환경으로부터 보호하는 효과가 있다.

Claims (29)

  1. 대상 배럴이 로딩되는 로딩 유닛;
    상기 로딩 유닛으로부터 이송되어 안착된 배럴에 에어를 분사시켜 배럴에 부착되어 있는 이물질을 제거하는 에어 브러시 유닛;
    상기 에어 브러시 유닛으로부터 이송되어 안착된 배럴을 건조하여 잔류하는 이물질을 제거하는 진공 유닛;
    상기 진공 유닛으로부터 언로딩된 배럴을 안착시키는 언로딩 유닛; 및
    상기 각 유닛으로 상기 배럴을 이송시키는 이송 유닛을 포함하고,
    이때, 상기 진공 유닛은,
    상기 배럴에 진공을 작용시키는 진공시스템에 연결될 수 있도록 진공챔버부가 상기 에어 브러시 유닛의 일측에 구비되며,
    상기 이송 유닛은 상기 로딩 유닛, 상기 에어 브러시 유닛, 및 상기 진공 유닛 상측에 구비되어 이 범위 내에서 배럴을 이송시키는 제1 이송 유닛과;
    상기 제1 이송 유닛의 일측 및 상기 진공 유닛과 상기 언로딩 유닛의 상측에 구비되어 이 범위 내에서 배럴을 이송시키는 제2 이송 유닛을 포함하는 배럴 건조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 로딩 유닛은 상기 배럴의 양 외측을 지지하는 외측 서포터;
    상기 외측 서포터로부터 상기 배럴을 분리시키도록 상기 외측 서포터의 내측에 구비되는 내측 서포터;
    상기 내측 서포터를 승강시키도록 내측 서포터의 하측에 구비되는 승강 실린더;
    상기 승강 실린더를 지지하는 상측 플레이트를 이동시키도록 상측 플레이트의 하측에 구비되는 이동 실린더; 및
    상기 상측 플레이트의 이동을 안내하도록 상측 플레이트와 이에 대응하는 프 레임 사이에 구비되는 가이드를 포함하는 배럴 건조 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 외측 서포터는 상기 이동 실린더의 이동 방향을 따라 배치되는 제1 외측 서포터와 제2 외측 서포터를 포함하는 배럴 건조 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 외측 서포터는 상기 배럴의 일측에 구비되는 얼라인 홀에 삽입되는 얼라인 핀을 구비하는 배럴 건조 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 승강 실린더는 상기 내측 서포터와 상측 플레이트 사이에서 상측 플레이트의 폭 방향 양측에 구비되는 배럴 건조 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 가이드는 상기 상측 플레이트와 프레임 사이에서 상측 플레이트의 폭 방향 양측에 구비되는 배럴 건조 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 이동 실린더는 로드리스(rodless) 실린더로 형성되는 배럴 건조 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어 브러시 유닛은,
    상기 로딩 유닛의 일측에 형성되는 에어 챔버;
    상기 에어 챔버 내에 구비되어 상기 로딩 유닛으로부터 이송되는 배럴의 양측을 회전 가능하게 지지하는 회전 서포터;
    상기 회전 서포터에 안착된 배럴의 일측에 연결되어 회전 구동하는 링크;
    상기 링크에 의하여 회전되는 배럴에 에어를 분사하는 분사 노즐; 및
    상기 에어 챔버의 다른 일측에 구비되는 배출구를 포함하는 배럴 건조 장치.
  9. 삭제
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 회전 서포터의 지지 중심과 링크의 회전 중심은 서로 어긋난 위치에 배치되는 배럴 건조 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 에어 챔버는 그 상측을 개폐시키는 뚜껑을 구비하고,
    상기 뚜껑을 상기 배럴의 길이 방향에 직교하는 방향으로 이동시키는 개폐 실린더를 포함하는 배럴 건조 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 에어 챔버는 상기 배럴의 길이 방향에 직교하는 방향의 양측 외면에 후크를 구비하고,
    상기 후크로 상기 뚜껑을 에어 챔버의 상측 개구에 밀착시키는 실린더를 포함하는 배럴 건조 장치.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 링크는 상기 배럴의 일측을 고정시키는 고정 핀을 구비하는 배럴 건조 장치.
  14. 제 8 항에 있어서,
    상기 링크는,
    상기 에어 챔버 외부로 인출된 선단에 구비되는 피동 풀리;
    상기 피동 풀리의 대향측에 구비되는 구동 풀리 및 구동 모터; 및
    상기 구동 풀리와 피동 풀리를 연결하는 벨트;를 포함하는 구성에 의해 회전되는 배럴 건조 장치.
  15. 제 8 항에 있어서,
    상기 분사 노즐은 상기 배럴의 상측을 향하는 상부 분사 노즐과, 상기 배럴의 하측을 향하는 하부 분사 노즐을 포함하는 배럴 건조 장치.
  16. 제 8 항에 있어서,
    상기 분사 노즐은 상기 배럴의 회전 방향의 접선 방향에 대향하는 분사 방향을 형성하여 배치되는 배럴 건조 장치.
  17. 제 8 항에 있어서,
    상기 분사 노즐로 에어를 공급하는 에어 라인에는 히터가 구비되는 배럴 건조 장치.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공챔버부는,
    진공 챔버;
    상기 진공 챔버 내에 구비되어 상기 에어 브러시 유닛으로부터 이송되는 배럴의 양측을 고정 지지하는 고정 서포터;
    상기 진공 챔버의 상측을 개폐시키는 뚜껑;
    상기 뚜껑을 상기 배럴의 길이 방향에 직교하는 방향으로 이동시키는 개폐 실린더;
    상기 뚜껑과 상기 진공 챔버 사이에 개재되는 실링; 및
    상기 고정 서포터에 고정된 배럴에 진공을 작용시키는 진공구를 포함하여 된 배럴 건조 장치.
  19. 삭제
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 진공 챔버는 그 하측이 상기 배럴의 외곽과 등간격을 형성하는 라운드로 형성되는 배럴 건조 장치.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 진공 챔버는 그 외면에 히터를 구비하는 배럴 건조 장치.
  22. 제 1 항에 있어서,
    상기 언로딩 유닛은 상기 배럴의 양 외측을 지지하는 외측 서포터;
    상기 외측 서포터로부터 상기 배럴을 분리시키도록 상기 외측 서포터의 내측에 구비되는 내측 서포터;
    상기 내측 서포터를 승강시키도록 내측 서포터의 하측에 구비되는 승강 실린더;
    상기 승강 실린더를 지지하는 상측 플레이트를 이동시키도록 상측 플레이트의 하측에 구비되는 이동 실린더; 및
    상기 상측 플레이트의 이동을 안내하도록 상측 플레이트와 이에 대응하는 프 레임 사이게 구비되는 가이드를 포함하는 배럴 건조 장치.
  23. 삭제
  24. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송 유닛은 상기 로딩 유닛, 상기 에어 브러시 유닛, 상기 진공 유닛, 및 상기 언로딩 유닛의 상측에 프레임에 구비되어 상기 배럴이 이송되는 방향 양측에 구비되는 풀리;
    상기 풀리의 일측에 구비되는 모터;
    상기 풀리에 연결되는 벨트;
    상기 벨트에 장착되는 이송 브래킷;
    상기 이송 브래킷에 수직 방향으로 장착되는 승강 실린더; 및
    상기 승강 실린더의 선단에 구비되어 상기 프레임의 하측에 배치되는 후크를 포함하는 배럴 건조 장치.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 후크는 상기 승강 실린더의 양측에 수직 방향으로 구비되어 상기 이송 브래킷에서 승강되는 가이드에 연결되는 배럴 건조 장치.
  26. 제 24 항에 있어서,
    상기 후크는 상기 배럴의 원형 일측과 각형 일측에 대응하는 원형의 일측과 각형 일측을 구비하는 배럴 건조 장치.
  27. 삭제
  28. 삭제
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