KR970048916A - 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크 - Google Patents
액정디스플레이를 이용한 포토 마스크 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 노광장치를 이용하여 포토 마스크에 구비된 패턴 형상을 포토레지스트층으로 전사하는 반도체소자, 액정디스플레이(LCD), 박막트랜지스트 액정디스플레이(TFT LCD), 회로기판(PCB) 등의 제조 공정에 적용할 수 있는 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크에 관한 것으로 액정디스플레이에 원하는 패턴을 형성하기 위하여 원하는 지역에 있는 단위 화소를 활성화 시킬수 있도록 구비하고, 이 활성돠된 단위 화소는 광을 차단하는 기능을 갖도록 하여 포토 공정에 포토 마스크로 이용할 수 있도록 한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
재3도는 본 발명에 의해 포토 마스크를 제조하고, 이 포토 마스크를 이용하여 포토레지스트 해턴을 형성하는 것을 도시한 도면.
Claims (7)
- 포토 마스크에 있어서, 액정디스플레이에 원하는 패턴을 형성하기 위하여 원하는 지역에 있는 단위 화소를 활성화 시킬수 있도록 구비하고, 이 활성돠된 단위 화소는 광을 차단하는 기능을 갖도록 하여 포토 공정에 포토 마스크로 이용할 수 있도록 구비된 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기와 같이 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크는 반도체소자, 액정디스클레이, 박막 액정디스플레이, 또는 회로기판 제조시에 사용하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 액정디스플레이에서 액정 단위 화소(unit pixel)의 크기는 반도체소자 제조시는 0.1-100㎛인 것을 특징으로 하는 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 액정디스플레이에서 액정 단위 화소(unit pixel)의 크기는 액정디스플레이 제조시는 1-1000㎛인 것을 특징으로 하는 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 액정디스플레이에서 액정 단위 화소(unit pixel)의 크기는 회로기판 제조시는 10-1000㎛인 것을 특징으로 하는 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 포토 마스크를 액정디스플레이의 포토 마스크로 사용할때 액정 디스플레이 구동 파워라인은 노광 광 파장 이하의 크기인 서브 해상도 패턴으로 제조한 것을 특징으로 하는 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 포토 마스크를 액정디스플레이의 포토 마스크로 사용할때 액정 디스플레이 구동 파워라인은 구동 액정 디스플레이 직상부 또는 직하부의 디포커스(Defocus) 영역에 배선하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950050438A KR970048916A (ko) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950050438A KR970048916A (ko) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970048916A true KR970048916A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66594915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950050438A KR970048916A (ko) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 액정디스플레이를 이용한 포토 마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970048916A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100451663B1 (ko) * | 2002-05-15 | 2004-10-08 | 한국전자통신연구원 | 프로그래머블 마스크 및 이를 이용한 생체분자 어레이형성 방법 |
| KR100486720B1 (ko) * | 2001-05-24 | 2005-05-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 포토 마스크 |
-
1995
- 1995-12-15 KR KR1019950050438A patent/KR970048916A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100486720B1 (ko) * | 2001-05-24 | 2005-05-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 포토 마스크 |
| KR100451663B1 (ko) * | 2002-05-15 | 2004-10-08 | 한국전자통신연구원 | 프로그래머블 마스크 및 이를 이용한 생체분자 어레이형성 방법 |
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