KR970030364A - 광로 조절장치의 제조방법 - Google Patents

광로 조절장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광로 조절 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 구동 기판상에 소정 형상으로 패터닝된 희생층, 멤브레인, 및 하부 전극을 순차적으로 형성시키는 제1단계와, 상기하부 전극상에 감광층을 형성시키고 패터닝시키는 제2단계와, 상기 감광층의 패턴을 통하여 노출된 상기 하부 전극상에 백금을 적층시켜서 도전층을 형성시키는 제3단계와, 상기 감광층을 제거하는 제4단계와, 상기 하부 전극 및 도전층상에 변형부 및 상부 전극을 순차적으로 형성시키는 제5단계와, 그리고 식각 공정에 의하여 상기 희생층을 제거하여 캔틸레버 형상의 액츄에이터를 형성시키는 제6단계로 이루어지며 이에 의해서 열처리에 의한 상기 변형부의 수축율을 저하시켜서 크랙 발생을 방지시킨다.

Description

광로 조절장치의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도(a) 내지 (d)는 본 발명에 따라서 광로 조절 장치를 제작하기 위한 방법을 순차적으로 도시한 공정도.
제4도는 본 발명에 따른 광로 조절 장치를 도시한 단면도.

Claims (6)

  1. 전기적 접점 단자로 작용하는 패드(320)가 매트릭스 구조로 복수개 형성된 구동 기판(310)상에 소정 형상으로 패터닝된 희생층(330), 멤브레인(342), 및 하부 전극(343)을 순차적으로 형성시키는 제1단계와, 상기 하부전극(343)상에 감광층(350)을 형성시키고 패터닝시키는 제2단계와, 상기 감광층(350)의 패턴을 통하여 노출된 상기 하부 전극(343)상에 백금을 적층시켜서 도전층(361)을 형성시키는 제2단계와, 상기 감광층(350)의 패턴을 통하여 노출된 상기 하부 전극(343)상에 백금을 적층시켜서 도전층(361)을 형성시키는 제3단계와; 상기 감광층(350)을 제거하는 제4단계와, 상기 하부 전극(343) 및 도전층(361)상에 변형부(344) 및 상부 전극(345)을 순차적으로 형성시키는 제5단계와, 그리고 식각 공정에 의하여 상기 희생층(330)을 제거하여 캔틸레버 형상의 액츄에이터(340)를 형성시키는 제6단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 메브레인(342)의 일부를 식각 공정에 의하여 제거하여서 형성된 콘택홀(H)을 통하여 상기 패드(320)를 노출시키는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 콘택홀(H)을 통하여 상기 하부 전극(343)은 상기 패드(320)와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 감광층(350)의 패턴을 통하여 상기 패드(320)와 전기적으로 연결된 상기 하부 전극(343)의 일부를 노출시키는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 도전층(361)은 상기 콘택홀(H)에 잔존하는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제4단계는 상기 패드(320)와 전기적으로 연결된 상기 하부 전극(343)을 화소 단위로 형성시키는 공정을 부가적으로 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 제조 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100349265B1 (ko) * 2000-04-19 2002-08-19 (주)해라시스템 정전 구동형 다단계 가동 구조체 및 그 제조방법

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