KR970028690A - 액정 표시 장치의 에칭 스톱퍼 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 표시 장치의 에칭 스톱퍼 제조방법의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정 표시 장치의 신호 지연에 따른 잔상을 방지할 수 있는 액정 표시 장치의 에칭 스톱퍼 제조방법에 관한 것으로, 본 발명은 투명성 절연기판상에 게이트 전극, 게이트 절연막, 및 제1반도체층을 형성하는 단계, 상기 제1반도체층 상부에 네가티브 포토레지스트를 형성하는 단계, 상기 네가티브 포토레지스트를 후면 노광 및 현상하여 네가티브 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 상기 결과물 상부에 에칭 스톱퍼 형성용 절연막을 형성하는 단계, 및 상기 네가티브 포토레지스트 패턴을 제거하여 에칭 스톱퍼를 형성하므로써, 에칭 스톱퍼를 네가티브 포토레지스트막을 이용하여 후면 노광을 실시하게 되면, 게이트 전극 배선 폭보다 적은 폭을 구비하는 에칭 스톱퍼를 형성할 수 있어, 채널의 길이가 감소하고, 이에 따라 채널 저항이 감소되어 화면의 신호 지연 및 잔상등의 문제를 해결할 수 있다.

Description

액정 표시 장치의 에칭 스톱퍼 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도의 (a) 내지 (d)는 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치의 에칭 스톱퍼 제조방법을 나타낸 단면도.

Claims (3)

  1. 투명성 절연기판상에 게이트 전극, 게이트 절연막, 및 제1반도체층을 형성하는 단계; 상기 제1반도체층 상부에 네가티브 포토레지스트를 형성하는 단계; 상기 네가티브 포토레지스트를 후면 노광 및 현상하여 네가티브 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 결과물 상부에 에칭 스톱퍼 형성용 절연막을 형성하는 단계; 및 상기 네가티브 포토레지스트 패턴을 제거하는 에칭 스톱퍼를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 에칭 스톱퍼 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 에칭 스톱퍼 형성용 절연막은 실리콘 질화막, 실리콘 산화막 중 선택되는 하나의 막인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 에칭 스톱퍼 제조방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 네가티브 포토레지스트 패턴의 제거 단계에서, 상기 네가티브 포토레지스트 패턴의 제거와 동시에 그 상부의 에칭 스톱퍼 형성용 절연막부분이 제거되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 에칭 스톱퍼 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100470890B1 (ko) * 2000-08-28 2005-03-08 샤프 가부시키가이샤 박막 트랜지스터, 액티브 매트릭스 기판 및 그 제조방법과 표시장치

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