KR970022558A - 포토마스크의 패턴 노광방법 - Google Patents
포토마스크의 패턴 노광방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 노광빔이 크기를 조절하여 중첩노광함으로써, 빠른 시간에 패턴을 형성할 수 있는 포토마스크의 패턴 노광방법에 관한 것으로서, 그 방법은 노광하는 빔의 직경을 인접한 빔과의 중심점간의 거리보다 크게하여 중첩시켜 노광하는 공정을 포함한다. 본 발명에 의한 포토마스크의 패턴 노광방법은 종래 MPP노광방법의 장점을 모두 가지면서도 노광시간에 손실이 없어 생산성이 높아 양산에 적용할 수 있으며, 더 높은 도우즈를 얻을 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 실시예에 따른 노광방법에 의한 노광패턴을 보여주는 도면.
Claims (3)
- 포토마스크의 패턴 노광방법에 있어서, 노광하는 빔의 직경을 인접한 빔과의 중심점간의 거리보다 크게하여 중첩시켜 노광하는 것을 특징으로 하는 포토마스크의 패턴 노광방법.
- 제1항에 있어서, 상기 빔의 직경은 인접한 빔과의 중심점간의 거리에 비해 두배의 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 포토마스크의 패턴 노광방법.
- 제1항에 있어서, 상기 노광패턴은 컨택패턴인 것을 특징으로 하는 포토마스크의 패턴 노광방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034197A KR970022558A (ko) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | 포토마스크의 패턴 노광방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034197A KR970022558A (ko) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | 포토마스크의 패턴 노광방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022558A true KR970022558A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66582471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950034197A KR970022558A (ko) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | 포토마스크의 패턴 노광방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022558A (ko) |
-
1995
- 1995-10-06 KR KR1019950034197A patent/KR970022558A/ko not_active Application Discontinuation
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