KR970049010A - 셀 내 패턴크기의 균일도를 향상시킬 수 있는 패턴 형성방법 - Google Patents
셀 내 패턴크기의 균일도를 향상시킬 수 있는 패턴 형성방법 Download PDFInfo
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- KR970049010A KR970049010A KR1019950066983A KR19950066983A KR970049010A KR 970049010 A KR970049010 A KR 970049010A KR 1019950066983 A KR1019950066983 A KR 1019950066983A KR 19950066983 A KR19950066983 A KR 19950066983A KR 970049010 A KR970049010 A KR 970049010A
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Abstract
셀 내 패턴의 균일도를 향상시킬 수 있는 패턴 형성방법에 대해 기재되어 있다.
셀 영역내에서 중심부와 가장자리 부위의 패턴의 크기를 다르게 설계하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 부위별 PR의 두께 차이로 인한 패턴의 불균일성을 개선할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 셀 중심부와 가장자리를 비교한 보정된 마스크의 모양 및 그에 따른 패턴의 모양을 도시한 도면이다.
Claims (2)
- 셀 영역내에서 중심부와 가장자리 부위의 패턴의 크기를 다르게 설계하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 셀 중심부의 패턴의 크기를 셀 가장자리 부위의 패턴의 크기보다 작게 설계하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950066983A KR970049010A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 셀 내 패턴크기의 균일도를 향상시킬 수 있는 패턴 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950066983A KR970049010A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 셀 내 패턴크기의 균일도를 향상시킬 수 있는 패턴 형성방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970049010A true KR970049010A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66637389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950066983A KR970049010A (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 셀 내 패턴크기의 균일도를 향상시킬 수 있는 패턴 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970049010A (ko) |
-
1995
- 1995-12-29 KR KR1019950066983A patent/KR970049010A/ko not_active Application Discontinuation
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