KR970007512B1 - 진공밸브의 진공누설 검지방법 및 장치 - Google Patents

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Description

진공밸브의 진공누설 검지방법 및 장치

제 1 도는 본 발명의 제 1 실시예로서 진공밸브의 진공누설검지장치의 구성을 도시한 단면도.

제 2 도는 본 발명의 제 2 실시예로서 진공누설검지장치의 구성을 도시한 단면도.

제 3 도는 본 발명의 제 3 실시예로서 진공누설검지장치의 구성을 도시한 단면도.

제 4 도는 본 발명의 제 4 실시예로서 진공누설검지장치의 구성을 도시한 단면도.

제 5 도는 본 발명의 제 5 실시예로서 진공누설검지창치의 구성을 도시한 단면도.

제 6 도는 진공회로차단기의 구성을 도시한 측면도.

제 7 도는 제 6 도에 도시한 진공회로차단기의 요부단면도.

제 8 도는 진공절연에 있어서의 진공압력과 파괴전압 사이의 관계를 도시한 특성선도.

제 9 도는 진공밸브의 부분방전측정회로를 도시한 설명도.

제 10 도는 방전전류의 타임차트.

제 11 도는 제 1 도의 제 1 실시예에 있어서 부분방전 측정회로를 도시한 접속도.

제 12 도는 방전전류와 주파수스펙트럼을 도시한 특성선도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1,100 : 진공밸브 2 : 고정전극

3 : 가동전극 4,41 : 아크실드

5 : 절연용기 6A,6B : 덮개

7 : 고정리드 8 : 가동리드

9 : 벨로우즈 10,17 : 돌기

11 : 검출전극 12 : 절연볼트

13 : 프레임 14,140 : 전류센서

15,32,46,47 : 신호처리장치 33 : 비교기

15S,32S : 통보신호 16 : 접촉스프링

30,31 : 변류기 39,40 : 공진콘덴서

31A,31A : 1차권선 30B : 페라이트코어

30C,31C : 2차권선 52,48 : 부분방전

42 : 계통전원 43 : 접지

44 : 회로도체 50,51 : 전류파형

본 발명은 진공회로차단기 또는 진공접촉기에 사용되는 진공밸브의 진공누설을 검지하는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.

제 6 도는 진공회로차단기를 도시한 측면도로서, 이 회로차단기는 고정리드(7) 및 가동리드(8)를 갖는 진공밸브(1)를 구비하며, 가동리드(8)는 절연로드(20)을 통해 조작레버(21)의 일단에 접속되고, 그 타단은 절연프레임(13)에 수납된 조작부(도시하지 않음)에 접속된다. 가동리드(8)는 또한 가요성배선(22)을 통해 주회로단자(23)에 접속되고, 고정리드(7)는 다른 주회로단자(24)에 접속되며, 이들 주회로단자(23,24)는 절연애자(25,26)에 각각 접속된다. 진공회로차단기는 인출형이며, 절연프레임(13)의 하단부는 휠(27)을 통해 배전반의 프레임(28)상에 배치되어 있다. 이에 따라, 회로차단기가 제 1 도의 좌우방향으로 이동하는 경우, 주회로단자(23,24)의 단부에 접속된 클립(23A,24A)이 주회로모선(도시하지 않음)과 접속 또는 차단된다.

제 7 도는 제 6 도에 도시한 진공회로차단기의 요부단면도이다. 진공밸브(1)에 있어서 고정전극(2) 및 가동전극(3)는 접점을 형성하고, 아크실드(4)는 이 접점을 둘러싸고 있으며, 또한 접점 및 아크실드(4)는 원통형 절연용기(5)에 수납되어 있다. 절연용기(5)는 내부가 고진공으로 유지되고, 그 양단은 덮개(6A,6B)가 기밀부착되어 있다. 고정전극(2)은 하부덮개(6A)에 고정되고, 고정리드(7)를 통해 외부회로에 전기적으로 접속되며, 아크실드(4)는 덮개(6A)에 고정적으로 장착된다. 이 아크실드(4)는 차단시에 접점의 아크에 의해 발생하는 금속증기가 절연용기(5)의 내벽면에 부착되는 것을 방지하고 있다.

제 7 도에 도시한 진공밸브(1)에 있어서, 아크실드(4)는 덮개(6A)에 장착되지만 이와는 달리 덮개(6B)에 부착될 수도 있고, 절연용기(5)의 중간에 덮개(6A,6B)와 절연된 상태로 배치되어 있는 경우도 있다. 그리고 제 7 도는 접점이 파쇄된 상태를 도시한다.

진공밸브(1)는 그 절연용기(5)내의 진공압력이 10^-4토르(torr) 이하의 고진공이 되도록 기밀되어 있다. 절연용기(5)의 밀봉이 손상되면, 즉 절연용기(5)의 진공압력이 상승하면 진공밸브(1)의 차단특성 및 절연성능이 저하하여 사용을 더 이상 할 수 없게 된다. 따라서, 진공밸브(1)의 진공누설체크는 진공회로차단기의 메인테넌스에 있어 필수적인 것이 된다.

종래, 진공밸브(1)의 진공누성검지에는 개로(開路)상태의 접점간에 고압을 인가하고, 접점간의 내전압을 점검하는 방법이 이용되어 왔으며, 이 방법은 진공압력이 저하하면 접점간의 단락전압이 저하한다는 사실에 착안한 것이다.

그러나, 전술한 바와 같은 종래의 방법은 테스트를 위해 진공밸브를 주회로로부터 차단해야 하는 문제점이 있다. 즉, 진공밸브에 고전압을 인가하기 위해 진공밸브를 배전반으로부터 인출하여 주회로로부터 차단해야 한다. 이 때문에 메이테넌스에 많은 시간 및 노무가 소요되고, 또한 장시간 정전시간을 요하게 된다.

이에 대해 진공계를 진공밸브에 부착하여 진공누설을 측정할 수도 있으나, 이러한 방법은 다음과 같은 문제점이 있다. 즉, 전술한 바와 같이 진공도가 높은 상태로 유지될 필요가 있으므로, 진공밸브에 진공계를 부착하면 진공계의 접속점에서 진공밸브의 밀봉이 손상되는 것을 보다 적극적으로 방지해야만 하며, 최악의 경우 진공계의 접속으로 인해 진공밸브의 신뢰성이 저하되므로 일반적으로 진공계에 의한 방법은 사용되지 않는다.

본 발명의 목적은 진공밸브 자체의 신뢰성을 저하시키지 않고 진공밸브의 진공누설을 사용중에 검지할 수 있도록 하는 것이다.

즉, 본 발명의 목적은 진공밸브 자체의 신뢰성을 저하시키지 않고, 진공밸브의 진공누설을 사용중에 검지할 수 있는 방법 및 그 방법으로 실행하는 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 양태에 따른 진공밸브의 진공누설 검지방법은 진공의 절연용기와 ; 가동전극 및 고정전극으로 이루어진 접점과 ; 아크실드를 구비하고, 상기 접점 및 상기 아크실드는 상기 절연용기 내에서 상기 아크실드가 상기 접점을 둘러싸도록 배치되는 진공밸브의 진공누설 검지방법에 있어서, 상기 가동전극과 고정전극중 하나와 동전위로 상기 아크실드를 유지하고, 돌기를 상기 아크실드의 외주면 또는 상기 절연용기의 내면에 형성하고, 검출전극을 공기갭을 통해서 절연용기의 외측에 배치하는 동시에 전류센서를 통해서 접지시키며, 상기 진공밸브의 누설이 발생하는 경우, 상기 돌기를 통해 발생하는 방전전류를 상기 전류센서에 의해 검출하고, 이것에 의해 상기 진공밸브의 진공누설을 검출하는 스텝을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 양태에 따른 진공밸브의 진공투설검지장치는 진공의 절연용기와 ; 가동전극과 고정전극으로 이루어진 접점과 ; 그 외주벽에 돌기가 형성되고, 상기 접점을 둘러싸며, 상기 접점과 함께 상기 절연용기 내에 설치되는 동시에 가동전극 및 고정전극중 하나와 동전위가 되는 아크실드와 ; 공기갭을 통해서 상기 절연용기의 외주벽에 배치되는 검출전극과, 상기 진공밸브의 진공누설이 발생하면, 상기 돌기를 통해 발생하는 방전전류를 검출하여 검출신호를 출력하고, 상기 검출전극이 접지되도록 상기 검출전극과 접지사이에 개재되는 전류센서와 ; 상기 전류센서의 상기 검출신호에 따라서 상기 진공밸브의 진공누설을 표시하는 경고신호를 출력하는 신호처리장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 진공누설검지장치에 있어서, 상기 돌기는 상기 절연용기의 내면과 접하는금속성접촉스프링이다.

상기 진공누설검지장치에 있어서, 상기 전류센서는 입력측으로서의 일차권선과 출력측으로서의 이차권선을 각각 갖는 변류기를 구비하며, 상기 이차권선은 공진콘덴서에 접속되고, 상기 변류기는 방전전류에 있어 100KHz 내지 200KHz 사이의 주파수 범위중 특정 주파수 성분으로 동조된 신호를 출력한다.

또한, 상기 진공누설검지장치는 입력측으로서의 일차권선과 출력측으로서의 이차권선을 각각 갖는 제 1 변류기 및 제 2 변류기를 구비하고, 상기 제 1 변류기의 상기 일차권선의 일단자는 상기 검출전극에 접속되고, 그 타단자는 상기 제 2 변류기의 상기 일차권선에 접속되며, 상기 각 변류기의 상기 이차권선은 각각 공진콘덴서에 접속되고, 상기 제 1 변류기는 100KHz 내지 200KHz 사이의 주파수범위중 특정주파수성분으로 동조된 신호를 출력하는 한편, 상기 제 2 변류기는 1MHz 내지 10 MHz 사이의 주파수범위중 특정주파수성분으로 동조된 신호를 출력하며, 상기 제 1 변류기 및 제 2 변류기에 의해 출력된 상기 신호들이 레벨이 비교되고, 상기 진공밸브의 누설량을 표시하는 경고신호를 출력한다.

본 발명에 따르면, 돌기가 아크실드의 외주면 또는 절연용기의 내면에 형성되며 여기서 아크실드는 가동 전극 및 고정전극중 어느 하나와 동전위가 된다. 또한 검출전극이 공기갭을 통해 절연용기의 외면에 배치되므로, 적절한 값으로 공기캡을 설정하고, 진공밸브에 동작전압을 인가하면, 전자장이 돌기의 단부에서 크게 증대한다. 진공도의 감소, 즉 절연용기의 진공도가 감소하면 절연강도가 저하하지만, 진공튜브에 있어서 상기한 바와 같이 돌기의 단부에 높은 전자장이 지역적으로 존재하게 되며, 이에 따라 돌기의 단부에서 진공공간에서만 파괴가 발생하게 되어(진공밸브의 전체 공간에 걸쳐 이러한 파괴가 갑자기 발생하지는 않는다)부분방전이 일어나게 된다.

상기한 바와 같이, 진공밸브의 형성된 돌기에 의해 부분방전이 발생하면, 고주파성분을 포함하는 방전전류가 흐른다. 즉, 방저전류는 절연용기, 진공공간, 공기갭 등에 형성된 정전용량을 통해 검출전극으로 흐른다. 한편, 검출전극은 전류센서를 통해 접지되고, 그 출력은 신호처리장치에 접속되므로, 방지전류를 검출하면 센서를 신호처리장치에 검출신호를 인가한다. 이 검출신호에 따라서 신호처리장치를 진공신호의 진공도저하(이하 진공누설이라 함)를 표시하는 경고신호를 출력한다.

아크실드에 형성된 돌기는 절연용기의 내면과 접촉하며, 이 접촉영역에서 전자장이 극히 높은 상태로 되고, 부분방전이 발생하는 진공의 범위는 중대하므로 진공누설을 고감도로 검출할 수 있다.

또한, 금속성 접촉스프링 돌기로서 이용한다. 절연용기에 아크실드를 삽입하면 접촉스프링은 절연용기에 확고히 유지되고, 이것은 진공밸브의 진공도가 저하할 경우 방전의 발생을 안정되게 한다.

그리고, 본 발명에 따르면 변류기가 전류센서로 이용될 수 있으며, 이 경우 변류기의 1차 권선은 검출전극에 접속되고, 2차 권선은 100KHz 내지 200KHz의 범위중 특정주파수로 공진하는 공진콘덴서와 접촉되는 동시에 신호처리장치에도 접속된다.

특정신호로 동조되는 변류기는 2차권선을 통해서 전류신호를 출력하며, 진공밸브의 진공도가 저하하거나 절연강도가 최소가 되도록 진공 압력이 변화하면, 방전전류의 고주파 성분이 저하하여 나머지 고주파 성분은 100KHz 내지 200KHz중에 존재한다.

따라서, 100KHz 내지 200KHz의 주파수 범위에서 특정 주파수 성분으로 전류센서를 동조함으로써 진공튜브의 진공누설은 진공튜브의 진공압력과 관계없이 용이하게 검출된다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 전류센서는 제 1 및 제 2 변류기로 구성되고, 제 1 변류기중 그 1차권선의 일단자는 검출전극에 접속되고, 타단자는 제 2 변류기의 1차권선에 접속되며, 변류기의 2차권선은 공진콘덴서에 접속되는 동시에 신호처리장치에 각각 접속된다. 콘덴서중 하나는 100KHz 내지 200KHz 사이의 주파수 범위중 특정주파수 성분으로 동조되고, 다른 하나는 1MHz 내지 10MHz의 주파수 범위중 특정 주파수 성분으로 동조되므로 변류기는 이들 특정주파수성분으로 동조된 전기신호를 각각 출력하며, 이후 이들 전기신호는 비교기에 인가된다. 비교기는 2개의 변류기에서의 출력신호 레벨을 비교하여, 진공밸브의 진공누설검지량을 표시하는 신호를 출력하게 되며, 이에 따라 진공밸브의 메인테넌스에 개선점을 부여한다.

본 발명의 원리, 특징 및 유용성은 첨부도면에 따른 다음의 상세한 설명으로 보다 명백해질 것이다.

다음에, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부도면에 따라 상세히 설명한다.

먼저, 제 1 도는 본 발명의 제 1 실시예로서 진공밸브의 진공도 저하검지장치(이하 진공누설검지장치라 함)를 도시하며, 이 장치는 제 7 도에 도시한 진공밸브(1)에 대한 진공누설검지장치로서 구성되어 있다. 그러나, 제 1 도에 도시한 바와 같이 진공밸브에 있어서 환형돌기(10)가 아크실드(4)의 외주면에 형성되고, 이 실드(4)는 덮개(6A)에 고착되는 동시에 고정전극(2)과는 동전위로 되어 있으며, 검출전극(11)은 절연프레임(13)에 부착되고, 절연용기(5)와는 공기갭 G을 사이에 두는 관계로 위치한다. 즉, 검출전극(11)은 절연볼트(12)을 통해서 주위의 절연프레임(13)에 고정되는 동시에 전류센서(14)를 통해서 접지되어 있다. 전류센선(14)이 출력은 신호처리장치(15)로 인가되고, 신호처리장치(15)는 통지신호(15S)를 출력한다.

제 1 도의 장치에 있어서, 진공누설의 검출원리를 설명하기 위해 먼저 진공절연특성 및 부분방전특성에 대해 설명한다.

제 8 도는 진공절연에 있어서의 진공압력과 파괴압력 사이의 관계를 도시하는 특성선도로서, 도면중 횡축은 진고압력(Torr), 종축은 파괴전압(kV)을 나타내고, 특성곡선 34는 갭 길이가 7mm인 경우로서 "파센곡선(Paschen Curve)"이라 칭하는 V자형으로 되어 있다. 파센곡선은 횡축을 진공압력과 갭 길이의 적으로 나타낼 경우 1개의 곡선이 되는 것으로 알려져 있다. 제 8 도에 있어서, 진공압력이 0.3Torr 부근에서 파괴전압이 최저치를 표시한다. 이 최저칠르 "파센미니멈(Paschen minmum)"이라 칭하고, 이때의 압력을 Pm으로 표시한다. 이 Pm은 진공중의 갭길이가 증대함에 따라서 고진공측으로 이행한다. 또한, 고진공압력은 일반적으로 그 압력치가 작을때 고진공도, 그 압력치가 클때 저진공도(진공누설측)임을 알 수 있다.

전술한 바와 같이, 진공밸브의 진공압력이 정상시에는 10^-4Torr 이하의 고진공으로 유지되고 있으므로 이조건은 제 8 도의 Pm보다는 좌측의 영역에 있고, 절연용기내의 절연내력은 상당히 높다. 진공누설이 발생하면 그 절연내력은 점차 저하하고, 최종적으로는 파센미니멈의 상태에 이른다.

일반적으로 진공밸브가 진공누설을 일으켜도 진공압력이 파센미니멈의 압력 Pm을 초월하여 수십 Torr이상이 될 경우는 거의 없다. 그 이유는 진공압력이 수십 Torr 이상이 되기 위해서는 진공밸브가 파괴되거나 덮개가 제거되어, 큰 구멍이 진공밸브에 형성되었을때에만 가능하며, 이러한 결함은 시각상의 외관검사를 통해서도 쉽게 발견할 수 있다.

전공밸브가 극히 미세한 손상이 있는 경우에는 진공도 저하가 극히 완만히 진행되므로, 진공밸브를 통해 진공누설이 발생하더라도 진공압력은 일반적으로 파센미니멈치 부근에서 유지된다. 따라서, 진공누설검지장치는 진공밸브가 파센미니멈의 조건에 이르기 전에 그 누설을 검지하는 것이 중요하다.

진공밸브에서 진공누설이 발생하면 진공중의 절연내력이 저하하지만, 진공밸브가 완전 파괴될 때까지는 먼저 전계가 높은 곳에서 부분파괴가 일어나고, 또한 부분방전을 수반한다. 그러나, 전계가 높아짐에 따라서 부분방전이 발생하는 압력범위가 증대되고, 그 결과보다 낮은 압력으로부터 부분방전이 발생하게 된다.

제 9 도는 진공밸브용의 종래 부분방전측정 회로를 도시하며, 도면중 진공밸브(100)는 편측 단면도로서, 절연용기(5)내에 수납된 고정전극(2)과 가동전극(3)이 상호결합되어 있다.

즉, 2개의 전극(2,3)으로 구성된 접점이 턴온되고, 아크실드(41)는 이들 전극(2,3)으로부터 절연된 중간전극으로 구성되어 있다. 이 진공밸브(100)에 계통전원(42)이 회로도체(44)를 통해서 접속되어 있고, 부분방전을 위해 진공밸브(100)에 대향하여 검출전극(11)이 배치되며, 전류센서(14)를 통해 접지(43)에 접속되어 있다. 한편, 회로도체(44)에도 결합콘덴서(45)가 접속되고, 전류센서(140)를 통해서 접지(43)에 접속되어 있다. 또한 전류센서(14,140)의 출력측에는 각각 부분방전측정기(46,47)가 접속되어 있다.

이와같은 회로에 있어서는 점선으로 표시한 정전용량이 이미 존재한다. 즉 제 9 도에 있어서, 정전용량 C₀,C₁은 진공밸브(100)의 주회로단자에 접속된 주회로도체(44)와 접지(43) 사이의 모든 정전용량으로서, 부하나 케이블, 그밖의 전력기기의 대지정전용량을 대표하는 것이다. 또한, C₁, C₂, C₃는 아크필드(41)와 절연용기(5)의 내주면 사이, 절연용기(5)의 외주면과 내주면 사이, 절연용기(5)의 외주면과 검출저극(11) 사이의 정전용량을 나타낸다. 그밖에도 고정리드(7) 및 가동리드(8)와 접지(43) 사이에도 정전용량이 존재하며, 이와같은 정전용량은 상기 정전용량 C₀및 C₁에 모두 포함된다.

제 9 도에 있어서, 진공밸브(100)가 진공누설을 일으키고, 아크실드(41)와 고정전극(2) 사이에 부분방전(48)이 발생했다고 하면, 이 부분방전에 의해 그 사이의 전위가 급격히 변동하므로 이 전위변동에 따라서 고주파 변위전류(즉, 방전전류)가 정전용량 C₅, C₆, C₇을 통해서 접지측으로 흐른다. 또한, 이 방전전류는 Ⅰ는 I₀와 I₁으로 분류되고, 전류 I₀는 정전용량 C₀을 통해서 고정전극(2)으로 흐르고, 전류 I₁은 정전용량 C₁및 결합콘덴서(45)를 통해서 고정전극(2)으로 흐른다. 부분방전(48)이 발생할 때마다, 분류된 방전전류는 전류센서(14,140)를 통해 흐르고, 부분방전측정기(46,47)가 그 방전전류를 증폭하고 그 크기를 계측한다. 그러나, 방전전류의 계측에는 2개 전류센서 중 하나만으로도 족하며, 전류센서(14)만으로 계측을 할 경우는 계합콘덴서(45)를 제거할 수 있고, 전류센서(140)를 사용할 경우 검출전극을 제거할 수 있다. 이 경우 정전용량 C₇은 절연용기(5)의 외주면과 접지(43) 사이의 정전용량이 된다. 상기와 같은 경우에는 진공밸브(1)의 접점이 폐쇄된다. 그러나, 접점이 개방되어 있는 경우에도 부분방전회로는 정전용량이 고정전극(2)과 가동전극(3)사이에서 형성되는 것 외에는 동일한 형태로 유지된다. 즉, 방전전류 I₀는 이 접점 사이의 정전용량을 통과하여 고정전극(2)측으로 흐른다.

전류센서(14,140)로는 여러 종류가 있지만, 그 실시예로서는 다음 문헌에 개시된 것을 들수 있다.

일본국 전기학회 전기규격조사회 표준규격 「부분방전 측정일반(JEC-195(1980))」제 10 도는 제 9 도의 전류센서에 의해 검출된 방전전류의 타임차트를 도시한다. 전류센서(14)에는 계통전원(42)으로부터의 상용주파수 전압에 의한 충전전류가 중첩하여 입력된다. 제 10 도에 있어서, 상단의 파형(50)은 충전전류에 방전전류가 중첩하는 것을 도시하며, 하단파형(51)은 방전전류막을 도시한다. 하단파형(51) 중에는 반사이클마다 방전전류에 상당하는 고주파 성분이 돌출부분으로 형성되어 있다. 부분방전은 펄스모드로 발생하고, 파형(51)은 저주파성분으로부터 수십 MHz에 걸쳐 주파수 성분을 갖고 있다.

또한, 제 9 도의 센서(140)에 의해 검출된 방전전류의 파형은 방전전류가 충전전류에 대하여 역극성인 경우에만 상이하며, 그 경향은 모두 동일하다.

또한 부분방전은 고정전극(2)과 아크실드(41) 사이 이외에도, 진공밸브가 개방된 경우의 접점사이, 아크실드(41)와 가동전극(3) 사이 등 어느곳에서도 발생할 수 있으며, 제 9 도의 회로에 있어서 전류센서(14) 또는 전류센서(140)로 검출할 수 있다.

제 11 도는 제 1 도의 제 1 실시예의 있어서 그 부분방전 측정회로를 도시한 접속도록서 제 9 도와 상이한 점은 고정전극(2)측에 도전접속된 아크실드(4)가 돌기(10)를 구비하고, 절연용기(5)에 공기갭 G을 통해 배치된 검출전극(11)만을 통해서 방전전류를 검출하도록 구성되어 있다.

돌기(10)의 전계가 가능한한 높아지도록 공기갭 G를 설정하면(갭은 7kV 진공밸브의 경우 수십 mm가 된다), 계통전원(42)의 접속에 의해 진공밸브(1)는 고진공의 경우 부분방전이 발생하지 않지만, 진공이 누설되면 돌기(10) 선단의 진공부분이 부분파괴되어 부분방전(52)이 발생한다. 이 방전(52)에 의해 그 사이의 전위가 급히 변동하므로 제 9 도에 설명한 것과 동일하게 방전전류 I가 정전용량 C₆, C₇을 통해서 접지측으로 흐른다. 이 방전전류 I는 I₀, I₁으로 분류되어 다시 진공밸브(1)측으로 흐른다. 이 경우의 방전전류파형도 제 10 도와 대략 같은 형태이므로 부분방전측정기인 신호처리장치(15)가 이 방전전류의 신호를 수신하여 진공누설이 있음을 통보한다.

제 11 도에 있어서, 검출전극(11)에는 운전중의 사용주파전류도 흐르고 있으므로, 신호처리장치(15)는 상용주파수 성분을 제거하는 회로를 내부에 구비한다.

한편, 방전전류는 펄스파형이므로 신호처리장치(15)가 그 펄스파형만 검출하고, 통보신호(15S)로 변환한다. 따라서, 진공밸브(1)의 운전중에 있어서, 방전이 발생하지 않는 한 신호처리장치(15)는 그 통보신호 S를 출력하지 않는다.

전류센서(14)로서는 예를들면 고주파 특성이 뛰어난 변류기, 그리고 신호처리장치로서는 일반의 부분 방전 측정기가 각각 사용될 수 있으며, 통보신호(15S)는 경보시스템을 동작하는데 이용될 수도 있고, 부분방전의 주파수, 또는 그 크기를 디스플레이 장치에 표시하는데 이용될 수도 있다.

제 1 도에 있어서, 제 11 도에 설명한 바와 같이 돌기(10)의 선단에서 발생하는 부분방전을 검출전극(11)을 통해서 전류센서(14)가 검지한다. 아크실드(4)에 돌기(10)를 형성하는 방법은 본 발명자에 의해 최초로 제안된 것이다. 공기갭 G의 크기를 적절한 값으로 설정함으로써 돌기(10)로부터의 부분방전이 발생하는 압력범위를 확대하여 진공누설의 검출감도를 높게 할 수 있다. 즉, 공기갭 G을 감소시킴에 따라, 돌기(10)의 선단전계가 증대하므로 부분방전이 발생하기 시작하는 최저의 진공압력도 감소한다. 따라서, 고진공인 진공 밸브가 진공누설을 일으킬 경우에 진공압력은 점차 낮아진다. 즉, 진공압력이 크게 저하하기 전에 본 발명의 장치는 결함을 검지할 수 있는 이점이 있다.

일본국 특개소 64(1989)-76630호 공보 및 특개평 2(1990)-114413호 공보에는 진공밸브의 외측에 검출전극을 배치하고, 이 검출전극과 접지사이에 삽입된 저항으로 이루어진 전류센서로부터 부분방전을 검출하는 진공누설검지장치가 기재되어 있다. 이들 공보에는 아크실드에 돌기가 없이 통상의 진공밸브 그대로에서 부분방전을 검출하고 있다. 즉, 제 9 도에 설명한 아크실드와 고정전극 사이의 부분방전을 검출하고 있다. 이 장치에 있어서는 진공밸브 내부의 구성을 변경하지 않는한 부분방전 발생의 압력영역을 조정할 수 없다. 또한, 제 1 도의 구성과 같이 아크실드(4)와 고정전극(2)이 동전위의 경우는 그 사이에서 부분방전이 발생하지 않으므로 아크실드(4)와 가동전극(3)사이, 또는 고정전극(2)과 가동전극(3) 사이의 부분방전을 검출하게 된다. 가동전극(3)으로부터의 부분방전 특성은 접점의 개폐상태에 의해 그 특성이 상이하므로 진공누설의 상시 감시는 곤란하다.

제 1 도의 장치에 있어서, 진공밸브(1)에 대하여 제조시에 미리 돌기(10)를 형성하므로, 진공밸브(1) 자체의 진공누설에 대한 신뢰성에는 영향을 주지않는다. 또한, 제 1 도에 있어서, 공기갭 G의 사이에 진공밸브(1)를 지지하기 위해 별도의 절연물이 설치되어 있어도, 진공누설의 감지에는 아무런 지장이 없다.

제 2 도는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 진공밸브의 진공누설검지장치에 있어 그 구성을 도시한 단면도로서 아크실드(4)의 외주면에 돌기 대신에 금속성의 접촉스프링(16)이 절연용기(5)의 내벽면에 접촉하도록 하여 장차되어 있으며, 그밖의 구성은 제 1 실시예(제 1 도)의 구성과 동일하다. 제 2 실시예에 있어서는 접촉스프링(16)이 제 1 실시예와 같은 환형이 아니라 판형상의 스프링을 아크실드(4)의 외주면에 분산시켜 복수개로 장착하고 있다. 예를 들면 제 2 도와 같이, 아크실드(4)의 양측에 2개의 판형상 스프링이 접촉스프링(16)으로서 리벳에 의해 고정되어 있다.

일반적으로 금속전극이 절연물에 접촉하면 그 접촉부분의 전계가 극단적으로 증대한다는 것이 알려져 있다(예를들면, 문헌 「타쿠마(Takuma)의 : 전기학회 제 9 회 절연재료 심포지움 자료 Ⅲ-1, 109-112면, 1976년, 일본국」참조). 이러한 이유로 절연용기(5) 내의 진공압력이 제 1 실시예에 보다 낮은 경우에 부분방전이 발생하며, 이에 따라 진공누설의 검출감도가 향상된다.

제 2 실시예에 있어서, 부분방전은 접촉스프링(16)의 선단으로부터 절연용기(5)의 내벽면을 따라서 신장하는 연면(沿面)방전이므로, 금속전극과 절연물의 접촉이 확실해야만 방전의 크기가 안정된 상태가 된다. 제 2 도에 도시한 접촉스프링(16)은 절연용기(5)와 확실히 접촉된다.

진공밸브(1)의 제조시 접촉스프링(16)은 미리 리벳에 의해 아크실드(4)에 고정되고, 접촉스프링(16)에 접촉된 아크실드(4)는 절연용기(5)에 삽입되는 반면, 접촉스프링(16)은 절연용기의 내면에서 미끄러지는 구성이다. 따라서, 진공밸브가 용이하게 조립된다.

제 3 도는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 진공밸브의 진공누설검지장치의 구성을 도시한 단면도이다. 환형돌기(17)가 절연용기(5)의 내벽면에 형성된 것 외에는 제 1 도의 제 1 실시예와 비슷하다. 돌기(17)는 금속성의 재질로 구성될 수도 있지만 제 3 도와 같이 절연용기(5)와 동일한 재질로 이루어진 절연성의 돌기(17)도 사용가능하다. 절연용기(5)는 통상 유전율이 큰 자기(磁器)재료료 형성되어 있으므로 돌기(17)의 선단전계가 높고, 금속의 경우와 동일하게 절연용기(5)내의 진공압력이 상승하면, 돌기(17)로부터 아크실드(4)로 진행함에 따라 부분방전이 발생한다. 고주파수인 방전전류는 갭 G을 통해서 검출전극(11)으로 흐르므로 진공누설을 검지할 수 있다. 돌기(17)와 절연용기(15)는 제작시에 일체로 성형할 수 있으므로, 진공밸브(1)의 제작상 비용상승이 없고, 제 1 및 제 2 실시예와 동일하게 진공누설에 대한 진공밸브의 신뢰성 저하가 없다.

제 1, 제 2 및 제 3 실시예에 있어서, 아크실드는 고정전극(2)과 동전위이지만 아크실스(4)가 고정전극(2) 및 가동전극(3)으로부터 절연된 중간전극이더라도 아크실드(4)의 외주면의 진공부 또는 절연용기(5) 내주면에 돌기를 설치함으로써 동일한 효과를 얻을 수 있다.

또한, 3상 3개의 진공밸브(1)가 병설된 진공차단기의 경우 검출전극(11)을 각각의 진공밸브에 대향하여 설치하는 동시에 전류센서(14)로의 접속선을 일괄하고, 1개의 전류센서(14)및 신호처리장치(15)와 접속할 수도 있으며, 이것에 의해 3개의 진공밸브(1)중 진공누설을 동시에 감시할 수 있다. 어느 진공밸브가 불량인가를 판정할 수는 없지만, 3상차단기의 경우 1상에도 진공밸브(1)가 불량이 되면 그 차단기 전체가 사용불능이 되므로 차단기의 운전을 정지한 후 각 상마다 진공누설을 체크하면 충분하다.

제 4 도는 본 발명의 제 4 실시예로서의 진공누설장치를 도시한 것이다.

진공밸브(1)에 공기갭 G으로 된 정전용량(점선)을 통해서 검출전극(11)이 배치되고, 이 검출전극(11)에 변류기(30)로 된 전류센서가 접속되어 있다. 변류기(30)는 고주파특성이 양호한 페라이트코어(ferrite core)(30B)에 1차권선(30A)과 2차권선(30C)이 권회되어 있고, 1차권선(30A)의 일단이 검출전극(11)에 접속되는 반면 그 타단은 접지되어 있으며, 2차권선(30C)에 병렬로 공진콘덴서(39)가 접속되어 있다. 공진콘덴서(39)의 용량은 변류기(30)의 1차 권선(30A)에 흐르는 방전전류 중 100KHz 내지 200KHz 사이의 특정주파수 f₁(예를 들면 150KHz)의 전류성분에 동조하도록 그 값이 선택된다.

제 4 도와 같이 회로를 구성함으로써, 진공밸브(1)의 진공누설에 의해 발생한 방전전류중 주파수 f₁부근의 전류성 분만이 신호처리장치(15)에 입력되고, 통보신호(15S)를 출력하게 된다. 다음에, 공진콘덴서의 용량치를 특정 주파수 f₁에 동조시킨 이유를 설명한다.

제 12 도는 제 2 실시예(제 2 도)의 구성에 있어서 방진전류의 주파수 스펙트럼을 구한 결과를 도시하는 특성 선도로서, 횡축에 주파수를 로그치로 표시하고, 종축에 주파수성분의 레벨을 dB단위(0dB는 주파수가 100KHz인 경우에 해당함)로 표시한다. 특성곡선(35)은 진공밸브(1)의 진공압력이 0.3Torr (Pm 부근)일때의 특성이고, 특성곡선(36)은 진공압력 0.05Torr일 때의 특성이다. 특성곡선(35)은 주파수가 300KHz보다 높은 영역이 되면 급격히 그 레벨이 감소한다. 그러나, 특성곡선(36)은 주파수가 10KHz 부근에 이를 때까지 레벨이 대략 일정하며, 이러한 특성의 경향은 본 발명자에 의해 최초로 발견된 현상이다. 진공압력이 파센미니멈 전후(예를들면 0.1Torr 내지 10Torr)에서는 특성곡선(35)과 같이 되고, 진공압력이 그 이외의 양측 범위에서는 특성곡선(36)과 같이 된다. 따라서, 제 12 도에 도시한 주파수의 범위 △f₁(100KHz 내지 200KHz)의 성분은 어느 압력범위의 방전전류에도 존재하지만, 주파수 범위 △f₂(1MHz 내지 10MHz)의 성분은 파센미니멈의 압력 Pm 전후인 경우, 그 방전전류에는 거의 존재하지 않는다.

제 4 도에 있어서, 변류기(30)의 동조주파수를 제 12 도의 △f₁범위의 특성주파수 f₁(예를들면, 150KHz)로 설정하면, 진공밸브(1)가 진공누설을 하여 어떠한 진공압력으로 상승하여도 확실히 그 진공누설을 검출할 수 있다. 제 4 실시예(제 4 도)에 있어서 전류센서로서 변류기(30)가 이용되고 있으며, 이 변류기(30)는 협대역 동조방법(상기 문헌에 기재된 부분방전측정법중 1가지)에 따라 동작하는 센서로서 우수하며, 여기서 특정 주파수는 부분방전의 검출을 위해 동조된다. 즉 상용주파수(50Hz 또는 60Hz)의 충전전류가 변류기에 유입되어도 그 2차측에는 출력하지 않으므로 저항센서에 필요한 고역필터를 신호처리장치(15)에 설치할 필요가 없고, 저역 동조가 이용되므로 증폭기 대역폭이 작으며, 이에 따라 증폭기의 이득을 용이하게 얻는 동시에 검지장치가 간단하게 된다. 또한, 변류기(30)의 1차권선과 2차권선을 상호에 대해 절연할 수 있으므로 전력계통과 본 감지장치와의 접지를 분리할 수 있다. 이에 따라, 전력 계통의 서지 등이 장치에 침입할 수가 없게 되어 검지장치를 보호할 수 있는 이점이 있다.

일본국 특개소 59(1984)-46725호 공보, 동 특개소 59(1984)-46726호 공보, 동 특개소 59(1984)-175524호 공보에는 제 9 도와 같이 결합콘덴서(45)측으로부터 전류센서(140)에 의해 방전전류를 검출하고, 2KHz로부터 20KHz, 또는 2KHz로부터 400KHz까지의 주파수 성분을 통과시킨 대역필터를 통해서 부분방전을 검출하는 진공누설검지장치가 기재되어 있다. 이들 종래의 장치와 본 발명의 검지 장치는 다음과 같은 차이점이 있다.

(1) 종래의 장치는 아크실드에 돌기를 형성하지 않고, 통상의 진공밸브 그대로로부터 부분방전을 검출한다.

(2) 종래의 장치는 결합콘덴서를 통해 방전전류를 검출하며, 이러한 결합콘덴서로는 주회로도체에 접속되어 있는 검출기 또는 절연조작로드가 이용된다.

(3) 종래 장치는 대력필터로 특정주파수 범위의 방전전류성분을 검출한다. 특정주파수 범위는 결정되는 이유는 진공밸브의 진공압력을 5×10^-3Torr로부터 300Torr까지 변화시켜 부분 방전에 포함된 주파수를 측정하고, 2KHz로부터 20KHz의 주파수 성분을 얻는다. 본 발명자는 실험을 통해서 제 12 도에 도시한 바와 같이 파센미니멈의 압력 영역에 있어서도 방전전류는 저주파로부터 200KHz 정도의 고주파수 성분까지 확대되어 있음을 발견하였다. 대역필터로 넓은 범위의 주파수를 통과시키는 경우는 증폭기의 이들을 간단히 얻을 수 없다. 따라서, 검지장치의 구성을 단순화하기 위해 특정범위의 주파수를 갖는 방전전류성분만을 검출해야 한다.

상기 문헌에는 협대역 동조법에 의한 부분방전측정기로서, 전류센서인 저항에 병렬로 접속된 동조용 변성기가 기재되고, 그 동조주파수를 200KHz로부터 수 MHz까지의 범위로 두고 있다. 이 문헌이 간행된 시기는 진공 절연에 있어서의 파센미니멈의 현상이 아직 공지되지 않은 상태였다. 따라서, 동조주파수가 200KHz보다 낮은측의 측정기는 그 예가 없었다.

제 5 도는 본 발명의 제 5 실시예로서의 진공누설검지장치를 도시한다.

간략히 설명하면 제 5 실시예는 변류기(31), 신호처리장치(32) 및 비교기(33)를 추가로 하여 형성되어 있으며, 이들 각 장치는 제 4 실시예(제 4 도)의 변류기(30), 신호처리장치(15), 및 비교기(33)와 유사하다. 변류기(31)의 1차권선(31A)은 변류기(30)의 1차권선(30A)에 직렬로 접속되고, 변류기(31)의 2차권선(31C)은 공진콘덴서(40)에 접속되는 동시에 신호처리장치(32)의 입력측에 접속되어 있다. 또한, 변류기(30,31)의 2차권선측은 비교기(33)의 입력측에 접속되며, 이 비교기(33)에서 변류기(30,31)의 출력신호레벨이 비교된다. 변류기(30)의 출력신호레벨이 변류기(31)의 것보다 높을 경우, 비교기(33)는 신호(33S)를 출력한다. 그밖의 구성은 제 4 도에 도시한 제 4 실시예와 동일하다.

공진콘덴서(40)의 용량은 변류기(31)의 1차권선(31A)에서 흐르는 방전전류중 1MHz 내지 10MHz 사이의 특정주파수 f₂(예를들면 3MHz)에서 그 전류성분에 동조하는 값으로 선택된다. 비교기(33)가 신호(3S)를 출력하면 이것은 진공밸브(1)가 파센미니멈의 압력 Pm 부근까지 진공누설(진공도의 저하)이 진행했다는 것을 의미한다. 한편, 신호처리장치(15,32)가 통보신호(15S,32S)를 출력하여도, 비교기(33)가 신호(33A)를 출력하지 않을 경우는 진공밸브(1)의 압력이 또한 파센미니멈의 압력 Pm 부근까지 도달하지 않는다.

상기한 바와 같이, 본 발명은 진공밸브 내부의 아크실드 외주면, 또한 절연용기 내주면에 돌기를 인위적으로 설치하여 절연용기의 외측으로 공기갭을 통해서 검출전극을 배치한다. 이와같은 구성에 의해, 진공밸브의 사용중에 그 진공누설을 감시할 수 있고, 더욱이 진공밸브 자체의 신뢰성을 전혀 저하시키지 않는다. 또한, 절연용기 내의 돌기는 미리 제작된 것이므로 비용상승이 전혀 없고, 공기갭의 길이를 조정함으로써 부분 방전을 발생시키는 압력범위를 증대시킬 수 있으며, 진공누설의 검출감도를 높일 수 있다.

또한, 아크실드 표면의 돌기가 절연용기의 내벽면에 접촉하도록 배치된다. 그리고 접촉부는 전계가 극단적으로 높기 때문에 진공누설의 검출감도가 보다 향상된다.

그리고, 상기 돌기를 금속성의 스프링으로 형성하고, 이것에 의해 아크실드를 진공밸브 중에 삽입할 때 접촉스프링이 아크실드에 확실히 접촉하므로, 진공밸브의 진공누설이 발생할시에(즉, 진공도가 저하할시에) 안정된 방전전류가 얻어진다.

상기 구성에 있어서, 전류센서를 2차권선에서 공진콘덴서가 병렬 접속된 변류기로 한다. 공진콘덴서의 용량은 변류기가 100KHz 내지 200KHz 사이의 특정주파수 성분으로 동조하도록 선택되며, 이와같은 구성에 따라 파센미니멈의 방전도 검출할 수 있으므로 어느 압력영역에도 진공밸브의 진공누설을 검지할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 전류센서는 공진콘덴서에 2차권선이 접속된 제 1 및 제 2 변류기로 구성되며, 제 1 변류기에 있어 그 1차권선의 일단자는 검출전극에 접속되고, 그 타단자 제 2 전류기의 1차권선에 접속된다. 제 1 변류기는 100KHz 내지 200KHz의 주파수범위에서 특정주파수 성분으로 동조되고, 제 2 변류기는 1MHz 내지 10MHz의 주파수범위에서 특정주파수 성분으로 동조된다. 비교기는 2개의 변류기로부터의 출력신호레벨을 비교하여 제 1 변류기의 출력신호가 제 2 변류기보다 클 경우 출력신호를 공급한다. 그러므로, 이 비교기 신호의 유뮤에 따라 진공밸브의 진공누설상태를 판정할 수 있다. 즉, 파센미니멈의 압력까지 진공압력이 현저히 저하했는지의 여부를 즉시 알 수 있으므로 진공밸브의 메인테넌스에 있어 한층 개선된 효과를 가져온다.

이상과 같이, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나 그 범위는 이것에 한정되지 않으며, 다음의 특허청구의 범위 및 그 기술적사상을 이탈하지 않고 이 분야의 통상의 기술자에 의해 여러가지 변경 및 변형이 가능함을 물론이다.

Claims (12)

1. 진공의 절연용기(5)와, 가동전극(3) 및 고정전극(2)으로 이루어진 접점과, 아크실드(4)와, 아크실드(4)의 외주면 또는 상기 절연용기(5)의 내면에 형성된 돌기와, 공기갭을 통해서 절연용기의 외측에 배치되는 동시에 전류센서(14)를 통해서 접지되는 검출전극(11)을 구비하고, 상기 접점 및 상기 아크실드(4)는 상기 절연용기(5) 내에서 상기 아크실드(4)가 상기 접점을 둘러싸도록 배치되는 진공밸브의 진공누설 검지방법에 있어서, 상기 가동전극(3)과 고정전극(2)중 하나와 동전위로 상기 아크실드(4)를 유지하고, 상기 진공밸브의 누설이 발생하는 경우, 상기 돌기를 통해 발생하는 방전전류를 상기 전류센서(14)에 의해 검출하고, 이것에 의해 상기 진동밸브의 진공누설을 검출하는 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 진공누설의 검지에 따라서 경고신호를 발생하는 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지방법.
3. 진공의 절연용기(5)와, 가동전극(3)과 고정전극(2)으로 이루어진 접점과, 그 외주벽에 돌기(10)가 형성되고, 상기 접점을 둘러싸며, 상기 접점과 함께 상기 절연용기 내에 설치되는 아크실드(4)와, 공기갭을 통해서 상기 절연용기(5)의 외주벽에 배치되는 검출전극(11)가, 상기 진공밸브의 진공누설이 발생하면, 상기 돌기(10)를 통해 발생하는 방전전류를 검출하여 검출신호를 출력하고, 상기 검출 전극(11)이 접지되도록 상기 검출전극(11)과 접지사이에 개재되는 전류센서(14)를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 전류센서(14)의 상기 검출신호에 따라서 상기 진공밸브의 진공누설을 지시하는 경고신호를 출력하는 신호처리장치(15)를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지장치.
5. 제 3 항에 있어서, 상기 아크실드(4)는 상기 가공전극(3)과 고정전극(2)중 하나와 동전위인 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지장치.
6. 제 3 항에 있어서, 상기 돌기(10)는 상기 절연용기(5)의 내면과 접하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 돌기(10)는 금속성의 접촉 스프링(16)을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지장치.
8. 내면에 돌기(17)가 형성된 진공의 절연용기(5)와, 가동전극(3) 및 고정전극(2)으로 이루어진 접점과, 상기 접점을 둘러싸고, 이 접점과 함께 상기 절연용기 내에 배치된 아크실드(4)와, 공기캡을 통해 상기 절연용기(5)의 외면에 배치된 검출전극(11)가, 상기 진공밸브의 진공누설이 발생하면, 상기 돌기(17)를 통해 발생하는 방전전류를 검출하여 검출신호를 출력하고, 상기 검출전극(11)이 접지되도록 상기 검출전극(11)과 접지 사이에 개재되는 전류센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지장치.
9. 제 3 항에 있어서, 상기 전류센서는 입력측으로서의 1차권선(30A)과, 출력측으로서의 2차권선(30C)을 갖는 변류기(30)를 구비하며, 상기 2차권선(30C)은 공진콘덴서(39)에 접속되고, 상기 변류기(30)는 방전전류에 있어 100KHz 내지 200KHz 사이의 주파수 범위중 특정주파수 성분으로 동조된 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지장치.
10. 제 8 항에 있어서, 상기 전류센서는 입력측으로서의 1차권선(30A)과, 출력측으로서의 2차권선(30C)을 갖는 변류기(30)를 구비하며, 상기 2차권선(30C)은 공진콘덴서(39)에 접속되고, 상기 변류기(30)는 방전전류에 있어 100KHz 내지 200KHz 사이의 주파수범위중 특정주파수 성분으로 동조된 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지장치.
11. 제 3 항에 있어서, 입력측으로서의 1차권선(30A,31A)과 출력측으로서의 2차권선(30C, 31C)을 각각 갖는 제 1 변류기(30) 및 제 2 변류기(31)을 구비하고 ; 상기 제 1 변류기(30)의 상기 1차권선(30A)의 일 단자는 상기 검출전극(11)에 접속되고, 그 타단자는 상기 제 2 변류기(31)의 상기 1차권선(31A)에 접속되며 ; 상기 각 변류기(30,31)의 상기 2차권선(30C,31C)은 각각 공진콘덴서(39,40)에 접속되고 ; 상기 제 1 변류기(30)는 100KHz 내지 200KHz 사이의 주파수 범위중 특정주파수 성분으로 동조된 신호를 출력하는 한편, 상기 제 2 변류기(31)는 1MHz 내지 10MHz 사이의 주파수 범위중 특정주파수 성분으로 동조된 신호를 출력하며 ; 상기 제 1 변류기(30) 및 제 2 변류기(31)에 의해 출력된 상기 신호들의 레벨을 비교하는 비교기(38)를 구비하고 ; 상기 비교기(33)는 상기 진공밸브의 누설량을 표시하는 경고신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지장치.
12. 제 8 항에 있어서, 입력측으로서의 1차권선(30A,31A)과 출력측으로서의 2차권선(30C,31C)을 각각 갖는 제 1 변류기(30) 및 제 2 변류기(31)를 구비하고 ; 상기 제 1 변류기(30)의 상기 1차권선(30A)의 일단자는 상기 검출전극(11)에 접속되고 그 타단자는 상기 제 2 변류기(31)의 상기 1차권선(31A)에 접속되며, 상기 각 변류기(30,31)의 상기 2차권선(30C,31C)은 각각 공진콘덴서(39,40)에 접속되고 ; 상기 제 1 변류기(30)는 100KHz 내지 200KHz 사이의 주파수 범위중 특정주파수 성분으로 동조된 신호를 출력하는 한편, 상기 제 2 변류기(31)는 1MHz 내지 10MHz 사이의 주파수 범위중 특정주파수 성분으로 동조된 신호를 출력하며 ; 상기 제 1 변류기(30) 및 제 2 변류기(31)에 의해 출력된 상기 신호들이 레벨을 비교하는 비교기(33)를 구비하고 ; 상기 비교기(33)는 상기 진공밸브의 누설량을 표시하는 경고신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 진공밸브의 진공누설 검지장치.